7/21/2019 Kegiatan Pla

http://slidepdf.com/reader/full/kegiatan-pla 1/1

hitung mundur hari:

1. rabu, 4 maret 2015:a. proses fring substrat yang telah ditumbuhi konduktor Agpd dan active

layer u!2, tapi ada sebagian hasil fring yang kurang sesuai dengan

bentuk yang diinginkan, dikarenakan active layer yang seharusnyaterpisah dengan konduktor yang disamping ternyata menempel pada

konduktor tersebut, sehingga dikha"atirkan ter#adi short$cutb. proses penumbuhan kembali konduktor Ag%d pada substrat

dikarenakan pada hari sebelumnya, ter#adi ketidaksesuaian pada saat

proses penumbuhan akti& layer u!2, karena akti& layer u!2 yang

seharusnya terpisah dengan bagian kanan dan kiri dari konduktor,

malah menempel sehingga dikha"atirkan ter#adi short$cut.2.