Sintesis Nano Struktur ZnO:Al Menggunakan Metode

Spray Pyrolysis Untuk Aplikasi Sensor Gas

Ahmad Ridwan Sidiq* dan Bebeh Wahid Nuryadin

Jurusan Fisika, Fakultas Sains dan Teknologi

Universitas Islam Negeri Sunan Gunung Djati Bandung

Jl. A.H Nasution No. 105 Bandung 40614

* Email: ahmad.physic22@gmail.com

Abstrak. Lapisan tipis ZnO:Al telah berhasil disintesis pada substrat kaca. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk

membuat sensor gas alkohol dengan menggunakan lapisan tipis ZnO:Al yang dibuat dengan menggunakan metode

Spray pyrolysis. Material yang digunakan adalah Zn(CH3COO)2 0.01 M sebagai material sumber dan Al(NO3)2 1%

sebagai material dopan yang dilarutkan dengan aquades 50ml. Lapisan tipis yang telah berhasil dibuat, dilakukan

pengujian sensitivitas terhadap gas alkohol dengan menempatkan lapisan tipis ZnO:Al dalam ruang kedap udara. Setelah

alkohol diteteskan dalam ruang kedap udara dan telah menguap, maka akan terlihat kenaikan resistansi dari lapisan tipis

ZnO:Al. besar kecilnya perubahan resistansi akan menentukan tingkat sensitivitas lapisan tipis ZnO:Al terhadap gas

alkohol.

Kata kunci: Lapisan tipis, spray pyrolysis, resistansi, sensitivitas, sensor gas.