eri prasetyo w.eri.staff.gunadarma.ac.id/downloads/files/9351/workshopmentor.pdfradio pemancar...

45
Proses : Dari Rangkaian (bentuk)Transistor (CMOS) ke CHIP Eri Prasetyo W. Pusat Studi Mikroelektronika & Pengolahan Citra Universitas Gunadarma http://pusatstudi.gunadarma.ac.id/pscitra

Upload: hathien

Post on 12-May-2019

224 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Proses : Dari Rangkaian (bentuk)Transistor (CMOS) ke CHIP

Eri Prasetyo W.Pusat Studi Mikroelektronika & Pengolahan Citra

Universitas Gunadarmahttp://pusatstudi.gunadarma.ac.id/pscitra

Page 2: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Pendahuluan

Mikroelektronika adalah realisasi dari fungsi fungsi elektronika yang kompleks ke dalam satu bentuk tunggal (umumnya terbuat dari germanium).

Tujuan bisa mereduksi berat dan volume

Page 3: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Gambaran Umum

1057 km2Pemakaian bahan silikon :

Page 4: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Gambaran Umum (2)

Composants actifs Composants passifs

Cartes à puces Semi conducteursTubes cathodiques

Optoélectronique (AsGa) Composants discrets

Microcontrôleurs

Microprocesseurs

Mémoires Asic

Analogiques

Composants électroniques

Non volatilesVolatiles

DRAM SRAM

CI Silicium

169 G$

15 G$ 8 G$

35 G$

29 G$

28 G$

27 G$

17 G$

7 G$

23 G$ Marché(pasar) en 1999

Page 5: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Gambaran Umum (3)

3.27286JapanHitachi

3.47678USAMotorola

4.710643JapanNec

4.710585KoreaSamsung

4.19202USATI

3.57890EuropeST

4.810864JapanToshiba

13.430298USAIntel

Prosentase pasar %CA en M$AsalPerusahaan

Dominasi pasar

Page 6: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Gambaran Umum (5)

169 G$Pasar semi conductors pada tahun 1999 :

226 G$Pasar semi conductors tahun 2000 :

300 G$Pasar semi conductors tahun 2002 :

1000 G$Pasar semi conductors tahun 2010 :

Comparaison : Marché de l’automobile en 2000 (800 G$)

Page 7: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Gambaran Umum (6)

Perkembangan yang pesat sejak ditemukan transistor tahun 1947

+15%/anPertumbuhan sejak 1970 :

Industri ini sangat menguntungkan !!!!!

Page 8: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Sejarah …

~ 1642: Penemuan Pascaline

Mesin otomasi penambahan dan pengurangan.

~ 1833: Machine analytique dari C. Babbage

Mesin ini bisa beroperasi dengan rantai aritmetika .Raja Ada Augusta menulis algorithma pertama dalam sejarah informatikaSebagai pengghargaan diberi nama bahasa pemrograman ADA.

Page 9: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Kronologi dari abad XXème

1900 2000

Transistor (1947)Tabung (1906)

Komputer (1945)

Circuitsintégrés (1958)

Microprocessor (1971)

ASIC (1983)

Page 10: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Lee de Forest menemukan tabung elektronik

gate anodakatoda

Filamen pemanas

Filamen memanaskan katoda yang menyebarkan electrons : termo emission

Polarisasi gate menarik elektron

6,3v

Elektronika Tabung

1906

Lee de Forest

Penguatan signal

Page 11: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Elektronika tabung

Masalah Utama :Tegangan besarMudah panas

Ukuran komponen ≈300 V

≈50 VGrille

Plaque

Cathode

6,3v

Page 12: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Audio Amplifier

Radio Pemancar

Aplikasi Pertama

Radio penerima

Page 13: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Makan tempat

Luas 1500 m2

30 tonnes

Jumlah 17000 tabung

Daya 140 KW

5000 penambahan setiap detik

1945 Mesin hitung tabung I bernama (ENIAC) Electronic Numerical Integrator And Computer

Mesin Hitung tabung Pertama

Page 14: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Semi konduktor ????1874

K. F. Braun

Braun peletak dasar semi-conducteur

besi

selenium

Page 15: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

1940 Schottky menemukan contact métal/semi-conducteur.

W. Schottky

1942 Produksi pertama dioda dengan bahan germanium berhasil untuk teknologi micromave dan radar

Ge

Pointe métallique

Masih digunakan sampai sekarang untuk HF

Dioda Pertama

Page 16: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Group dari Shockley mempunyai ide membuat dua dioda dari bahan yang sama (germanium).

Base

Emetor Collector

1947

Transistor bipolar

W. Schockley

Page 17: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Fenomena nama baru transistor = transfer + resistor

Transistor bipolar (2)

Page 18: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Sebuah awal fabrikasi (sangat berjasa )

InIn

Ge

Type n Type p

Base

Emetteur CollecteurKesulitan utama :

Reproduksi,ketebalan.

Transistor bipolar (3)

Temuan hasil penelitian lebih lanjut untuk bahan(Silikon atau Germanium).

Page 19: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Si amorphe

Purification Tirage

Si polycristallin Si monocristallin

Bell Labs memperkenalkan metode untuk merealisasiakn printing Silikon monocristallin dengan une kemurnian 99,7%.

1952

Pemakaian pertama Silikon sebagai pengganti germanium1954

Transistor bipolar silikon

Page 20: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

processeur 48 bits, cycle mémoire : 5 micro detik.

Seymour Cray menciptakan CDC 1604, komputer pertama secara komersial

1957

Komputer transistor pertama

Page 21: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

1958 Jack Kilby dari Texas Instruments menciptakan rangkaian terpadu pertama dengan 5 komponen pasif.

Penemuan rangkaian terpadu ( IC)

Page 22: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

R.N. Noyce

1960 Lab. Fairchild semiconductor menyempurnakan dengan teknik planar

Rangkaian terpadu pertama dengan teknik planar

Kemajuan Transistor

Page 23: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Di dalam transistor Planar, semua koneksi ada di permukaan dan pada sisi yang sama.

BaseEmetteur Collecteur

N

NP

Daya tarik transistors planar

Page 24: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Atalla dan Kahng dari Fairchild semiconductor peletak dasar transistor pertama MOS

Penemuan Transistor MOS

Source gate Drain

1960

Hofstein et Heiman dari RCA membuat pertama IC dengan transistors MOS (8 paires de NMOS)

1963

1.5 m

m

Page 25: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Le MOS est parfaitement symétrique et on appelle SOURCE (d'électrons) le coté le plus négatif

Structure MOS

Au début (1962) la grille était en Aluminium d'où le nom MOS: Métal/Oxyde/Semiconducteur

Substrat à la masse (à Vdd pour les PMos) P

N+ N+

Grille

Source Drain

Isolant

Page 26: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Conditions normales de fonctionnement :

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 et Vds > 0

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

Page 27: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Accumulation de charges positives sur la grille

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

Page 28: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Création d’un champ électrique E sur la capacité MOS

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

E

Page 29: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Trous majoritaires du substrat repoussés

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

E

Page 30: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Electrons minoritaires du substrat attirés vers la grille

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

E

Page 31: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Création d’un canal de type N sous l’isolant (couche d’inversion)

P

Fonctionnement d’un NMOS

N+ N+

Isolant

Vgs > 0 Vds > 0GrilleSource Drain

EId

Page 32: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Caractéristiques

Caractéristiques similaires à celle d’un transistor JFET

Vds (V)

Id (mA)Vgs = 8 V La valeur de Vgs > 0 influence

directement la densité de porteurs minoritaires attirés sous la capacité MOS

Vgs = 6 V

Vgs = 2 V

La valeur de Vds > 0 influencedirectement la valeur du champ Eet donc de la saturation de Id

Page 33: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Cas du MOS à appauvrissement

Pour Vgs = 0, existence du canal N entre la source et le drain

Vds (V)

Id (mA)Vgs = 4 V

L’existence du canal garantit une conduction du transistor pour des valeurs négatives et positives de Vgs

Vgs = 2 VVgs = 0 VVgs = -2 VVgs = -4 V

Page 34: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Caractéristiques

Caractéristiques similaires à celle d’un transistor JFET

Vds (V)

Id (mA)Vgs = 8 V

Vgs = 6 V

Vgs = 2 V

3 zones de fonctionnement : Zone ohmique, Pincement, Saturation.

Page 35: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

kelebihan :

Tempat ringkas

Syst

ème

élec

tron

ique

Circuitélectronique

Composant:Circuit intégré

Mengapa terpadu ?

Hemat energi

modular

Lebih Aman

Page 36: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Agenda

• Software Tools Design• CHIP Fabrication • Cost• How to design the transistor circuits(CMOS)

into the CHIP

Page 37: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Software Tools Design

• LASI,MAGIC,DREAI• MAX,MyCAD LAYED• Cadence

• Mentor Graphics• Etc

Page 38: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

CHIP Fabrication

• CMP-TIMA, France• TSMC, Taiwan• NEC, Japan• Mosis, USA• Mimos,Malaysia ?• Etc

Page 39: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Cost

• Austria Micro Systems– 0.6 CMOS CUP 390 Euro/mm2

– 0.35 CMOS C35B4C3 650 Euro/mm2

• STMicroelectronics– 0.18 CMOS HCMOS8D 990 Euro/mm2

– 0.12 CMOS HCMOS9GP 2500 Euro/mm2

– 90 nm CMOS CMOS090 5000 Euro/mm2

Page 40: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW
Page 41: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

+Vdds

d

s

d

Entrée Sortie

Structures Complementary MOS

CMOS = NMOS + PMOSLa structure CMOS permet de construire l’élément de base de la logique à effet de champ : l’inverseur

Page 42: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

+Vdds

d

s

d

Entrée Sortie

Comment ça marche ?

Un inverseur CMOS peut être vu comme un double interrupteur en série

ENTREE = 0PMOS : Conducteur / BloquéNMOS : Conducteur / BloquéSORTIE = 1

ENTREE = 1PMOS : Conducteur / BloquéNMOS : Conducteur / BloquéSORTIE = 0

QUIZZ

Page 43: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Process Visual

Disain skema

Hasil Simulasi

Page 44: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Process Visual

Disain skema

Hasil Simulasi

Disain Layout

Page 45: Eri Prasetyo W.eri.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/9351/workshopmentor.pdfRadio Pemancar Aplikasi Pertama Radio penerima. Makan tempat Luas 1500 m2 30 tonnes ... Daya 140 KW

Layout Siap Untuk Difabrikasi