tim penyusunrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/downloads/files/... · inverter. untuk membangun...

106
MODUL KURSUS DESAIN CHIP “Desain Layout Analog” Di Susun Oleh : TIM PENYUSUN PUSAT STUDI MIKROELEKTRONIKA DAN PENGOLAHAN CITRA UNIVERSITAS GUNADARMA 2018

Upload: others

Post on 03-Dec-2020

17 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

MODUL KURSUS DESAIN CHIP

“Desain Layout Analog”

Di Susun Oleh :

TIM PENYUSUN

PUSAT STUDI MIKROELEKTRONIKA DAN PENGOLAHAN CITRA

UNIVERSITAS GUNADARMA

2018

Page 2: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

ii

Kata Pengantar

Dengan memuji dan mengucap syukur kepada Allah SWT, yang telah memberikan karunia

kekuatan dan kesabaran kepada Penulis untuk menyelesaikan salah satu seri pembuatan modul

yaitu Pelatihan Desain Chip “Layout Analog”. Modul ini merupakan panduan dalam pelaksanaan

kursus, yang disusun sebagai materi persiapan bagi mahasiswa peserta kursus sebelum setiap

pertemuan akan dimulai. Modul Pelatihan Desain Chip “Layout Analog” terdiri dari 8 bab dengan

materi:

1. Pendahuluan

2. Pengenalan Software Mentor Graphics

3. Desain Layout Analog

4. Dasar Aturan Desain Layout

5. Desain Layout Lanjut

6. Verifikasi IC

7. Finishing

8. Pabrikasi

Secara umum, materi pada setiap pertemuan akan menerangkan konsep atau teori

mengenai topik yang akan dibahas, dan menjelaskan secara garis besar langkah yang diperlukan

untuk mendisain sebuah chip untuk sirkuit analog menggunakan perangkat lunak mentor graphics

yang mendukung pembahasan topik dalam materi tersebut.

Setiap peserta kursus sangat diharapkan untuk mempelajari dengan seksama modul ini,

mengingat pemahaman yang baik atas materi ini akan sangat membantu pada waktu proses belajar

selama kegiatan kursus berlangsung.

Modul ini merupakan pengembangan dari modul sebelumnya yang berjudul Disain

Skematik, Layout dan Simulasi dengan Menggunakan Perangkat Lunak Mentor Graphics edisi 1

dan modul kursus “Skematik Analog”. Untuk itu, dalam mengikuti perkembangan teknologi

dimasa mendatang, maka modul ini akan direvisi terus menerus apabila diperlukan. Modul ini

disusun oleh Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra Universitas Gunadarma dengan

bantuan tim yang bekerja secara penuh, yaitu: Robby Kurniawan Harahap, SKom.,MT, Dr. Eri

Prasetyo Wibowo, Dr. Atit Pertiwi, dan Veronica Ernita Kristianti, ST.,MT.

Jakarta, 16 Februari 2018

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra

Universitas Gunadarma

Page 3: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

iii

Daftar Isi Kata Pengantar .............................................................................................................................................. ii

Daftar Isi ....................................................................................................................................................... iii

Bab 1. Pendahuluan ...................................................................................................................................... 6

1.1 Konsep Kerja CMOS ............................................................................................................................ 6

1.1.1 Struktur MOS ............................................................................................................................... 6

1.1.2 Complementary ........................................................................................................................... 7

1.2. Proses Disain IC CMOS ....................................................................................................................... 8

1.3. Metode Desain IC ............................................................................................................................. 10

1.4. Perangkat Lunak Desain IC CMOS .................................................................................................... 11

1.5. Library Teknologi / Proccess Design Kits ....................................................................................... 12

1.6. Pabrikasi IC CMOS ............................................................................................................................ 13

Bab 2. Pengenalan Mentor Graphics Software ........................................................................................... 16

2.1. Sistem Operasi Linux ........................................................................................................................ 16

2.2. Menjalankan software Mentor Graphics ......................................................................................... 19

D. Kegiatan .......................................................................................................................................... 19

D.1. Ekplorasi Opensuse ...................................................................................................................... 19

D.2. Menjalankan ICStudio .................................................................................................................. 21

D.3. Menjalankan Design Architech-IC................................................................................................ 22

D.4. Menjalankan ICStation ................................................................................................................ 23

Bab 3. Desain Layout Analog ....................................................................................................................... 25

3.1. Pengenalan ICStation Desain Layout ............................................................................................... 25

D.1. Bagian-Bagian ICStation ............................................................................................................... 25

D.2. Grid .............................................................................................................................................. 29

D.3. Select dan Unselect ..................................................................................................................... 29

D.5. Menu Object ................................................................................................................................ 30

3.2. Pengenalan Lapisan CMOS 0,35 ....................................................................................................... 30

3.3 Lapisan Penghubung / Penyambungan Lapisan ............................................................................... 34

D1. Latihan Pengenalan Metal ............................................................................................................ 37

D2. Latihan Menghubungkan Lapisan ................................................................................................. 38

3.4. Desain Layout CMOS ........................................................................................................................ 39

Page 4: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

iv

3.4.1.CMOS ......................................................................................................................................... 39

3.4.1. Teknik Pembuatan Komponen .................................................................................................. 40

3.4.3. Teknik Penyambungan Jalur ..................................................................................................... 49

3.4.4. Langkah-langkah Pembuatan layout CMOS .............................................................................. 50

D.1. Latihan CMOS .............................................................................................................................. 52

D.2. Latihan Teknik pembuatan komponen ........................................................................................ 53

Bab 4. Dasar Aturan Desain Layout ............................................................................................................. 55

4.1. Pengenalan Aturan (Rules) Desain Teknologi CMOS 0,35 ............................................................... 55

D.1 Latihan dasar Rules ....................................................................................................................... 59

4.2. Simulasi Layout ................................................................................................................................ 60

D.1. Simulasi Layout ............................................................................................................................ 60

8.3. Pembuatan Skema Rangkaian Uji ................................................................................................ 66

Bab 5. Desain Layout Lanjut ........................................................................................................................ 68

5.1. Desain Layout Gerbang Logika ......................................................................................................... 68

D.1. Layout Gerbang Logika ................................................................................................................ 70

5.2. Desain Layout Counter ..................................................................................................................... 71

D.1. Studi kasus Desain Counter ......................................................................................................... 71

D.2. Variasi rancangan layout untuk D Flip-Flop!................................................................................ 76

D.3. Variasi rangcangan layout untuk Latch! ...................................................................................... 77

5.3. Desain Layout Op-Amp .................................................................................................................... 77

D.1. Desain Layout Op-Amp ................................................................................................................ 78

5.4. Desain Layout Komparator .............................................................................................................. 79

D.1. Desain Layout Komparator .......................................................................................................... 79

Bab 6. Verifikasi IC....................................................................................................................................... 87

6.1. Pengenalan Verifikasi IC ................................................................................................................... 87

D.1. Tahap-tahap LVS .......................................................................................................................... 91

D2. Latihan Verifikasi IC ...................................................................................................................... 93

Bab 7. Finishing ........................................................................................................................................... 95

7.1 Pengenalan Finisihing IC ................................................................................................................... 95

D.1.Tahap-Tahap Floorplan ................................................................................................................. 95

D.2.Komponen PADS ........................................................................................................................... 96

D.3. latihan soc .................................................................................................................................... 99

Page 5: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

v

Bab 8. Pabrikasi ......................................................................................................................................... 100

8.1. Proses Pabrikasi ............................................................................................................................. 100

D. Langkah-langkah Pabrikasi ........................................................................................................... 100

D.2. Latihan proses pabrikasi ............................................................................................................ 105

Page 6: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 6

Bab 1. Pendahuluan

1.1 Konsep Kerja CMOS

1.1.1 Struktur MOS

Awal tahun 1962 gate semikonduktor terbuat dari aluminium dimana dikenal dengan nama

MOS (Metal Oxyde Semiconductor). Setiap MOS terdiri dari Source, Gate dan Drain. Struktur ini

bisa dilihat pada gambar 1.1. Untuk MOS tipe-P, source akan terhubung dengan sumber tegangan

positip atau Vcc dan drain akan terhubung dengan sumber tegangan 0 V atau ground. Sedangkan

untuk MOS tipe-N, source akan terhubung dengan sumber tegangan 0 V dan drain terhubung

dengan sumber tegangan positip atau Vcc [1] [2]. Gate berfungsi sebagai pengendali aliran

tegangan atau dengan kata lain sebagai pengendali switch.

Gambar 1. 1 Struktur MOS[1] [2].

Transistor MOS terdiri dari 2 jenis, pertama transistor MOS dengan tipe kanal-N disebut dengan

NMOS dan tipe kanal-P disebut dengan PMOS. Transistor MOS memiliki 4 pin atau terminal, diantaranya

adalah D sebagai drain, G sebagai gate, S sebagai source dan B sebagai bulk. Simbol Transistor Mos

dapat dilihat pada gambar 1.2.

Gambar 1. 2 Simbol Transistor MOS [1] [2].

Page 7: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 7

1.1.2 Complementary

Transistor MOS atau CMOS dapat bekerja karena merupakan kombinasi dari transistor tipe-P

(PMOS) dan tipe-N(NMOS) yang masing-masing memiliki fungsi kerja yang berlawanan. Oleh

karena itu dapat dikatakan CMOS karena merupakan penggabungan atau kombinasi dari dua atau

lebih jenis transistor MOS yang disebut juga dengan komplementer. Gambar 1.5 mengilustrasikan

cara kerja Transistor MOS dengan gabungan dua jenis transistor MOS. Prinsip dasar dari

Transistor adalah saklar dan. Untuk transistor MOS dengan jenis PMOS akan aktif atau kondisi

ON ketika jaringan transistor PMOS tidak aktif, begitupula sebaliknya untuk NMOS. Maka

gambar 1.5 merupakan gambaran untuk jaringan CMOS [1] [2].

Gambar 1. 3 Jaringan CMOS [1] [2].

Bentuk rangkaian sederhana yang dapat menjelaskan cara kerja CMOS adalah rangakaian

Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut

dengan gerbang NOT menjadi rangakaian CMOS, maka terdiri dari dua transistor MOS PMOS

dan NMOS. Pola kerja dari rangakaian inverter dalam dua kondisi yaitu terbuka dan tertutup

seperti pada gambar 1.4. Berikut ini penjelasan dari dua kondisi tersebut:

1. Kondisi Tertutup, kondisi ini akan terjadi apabila logika teganggan masukkan (input) diberi

nilai 1, maka transistor NMOS akan tertutup dan transistor PMOS akan terbuka. Sehingga

nilai keluaran akan bernilai 0.

2. Kondisi Terbuka, kondisi ini akan terjadi apabila logika teganggan masukkan (input)

diberi nilai 0, maka transistor NMOS akan terbuka dan transistor PMOS akan tertutup.

Sehingga nilai keluaran akan bernilai 1.

Page 8: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 8

Gambar 1.4. Rangkaian inverter dari CMOS[1] [2].

1.2. Proses Disain IC CMOS

Dalam mendesain IC CMOS terdapat 3 komponen utama pada proses desain. Ketiga

komponen tersebut adalah (1) Desain, (2) Perangkat Lunak Desain (Software EDA), (3) Library

Teknologi / Process Design Kits (PDK) dan (4) Metode. Gambar 1.5 akan memvisualisasikan

ketiga komponen ini dalam desain.

Gambar 1. 5 Empat Komponen Desain IC [1]

Terdapat beberapa tahap dalam mendesain IC CMOS, secara umum terdiri dari 5 tahapan

seperti pada gambar 1.6 merupakan hirarki dari desain VLSI untuk IC CMOS. Kelima tahap

tersebut adalah dimulai dari (1) ide desain yang akan dibuat, kemudian proses (2) menuangkan

kedalam software desain IC berupa skematik atau disebut desain front-end. Tahap selanjutnya

dilanjutkan dengan (3) membuat layout dan melakukan (4) verifikasi terhadap layout tersebut.

Terakhir merupakan tahap yang tidak dilakukan oleh pendesain atau user yaitu proses pabrikasi

untuk mencetak IC.

Page 9: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 9

Gambar 1.6 Hirarki Alur Konsep Desain CMOS [1] [2].

Pertama diawali dari sebuah ide atau rencana dapat dituangkan ke dalam bentuk gambar pada

kertas atau pun gambar secara elektronik seperti menggunakan perangkat lunak untuk membuat

blok diagram.

Kedua, tahap Front-End Design, tahap ini ide kemudian diimplementasikan kedalam perangkat

lunak desain elektrorik atau CAD / EDA, seperti Mentor Graphics, Cadence, Synopsis dan lainnya.

Tahap ini terdiri dari pembuatan logika / skematik, simulasi dan uji generasi vector.

Ketiga, tahap physical layout, tahap ini membuat layout untuk bentuk fisik yang nantinya akan

menjadi gambar berupa layout untuk ditanamkan pada sebuah IC. Pada tahap pembuatan layout

berdasarkan material atau bahan yang disesuaikan dengan teknologi CMOS. Pada layout

Implementasi logika berupa skematik ke bentuk fisik disesuaikan dengan ukuran teknologi CMOS.

Ukuran teknologi CMOS sangatlah kecil mikrometer-nanometer (μm-nm). Pembahsan lebih lanjut

mengenai Layout akan dibahas pada bab 3 buku ini.

Keempat, tahap verifikasi yang merupakan proses untuk menguji layout yang telah dibuat. Proses

pengujian dilakukan dengan menguji layout dengan design rule teknologi CMOS, pengujian ini

disebut dengan Design Rules Check (DRC). Selain DRC pengujian layout dilakukan dengan

membandingkan layout dengan skematik disebut Layout Versus Schematic (LVS). Penjelasan

lebih lanjut menegenai verifikasi IC dapat dilihat pada bab 4 buku ini

Kelima, tahap pabrikasi untuk memperoses layout menjadi bentuk IC /CHIP. Tahap ini menjadi

tahap terakhir dari desain IC CMOS. Layout yang telah diverifikasi akan dikonversi menjadi file

database yang siap untuk dipabrikasi dengan format GDSII.

Page 10: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 10

Secara Khusus tahap dalam Desain VLSI / IC CMOS merupakan tahap yang terdiri dari pembuatan

skematik dan layout. Gambar 1.7 akan menjelaskan secara detail tahap-tahap yang dilalui ketika

mendesain IC CMOS. Dari penjelasan di atas telah dijelaskan konsep desain IC CMOS. Pada

prakteknya terdapat beberapa perbedaan tahap dari konsep yang telah dijelaskan di atas. Perbedaan

tersebut dikarenakan beberapa faktor atau kendala-kendala seperti keterbatasan layout dan

penggunaan teknologi.

Gambar 1. 7 Alur Desain IC Lengkap[1] [4].

1.3. Metode Desain IC

Metode desain IC didasarkan dari dua jenis desain elektronika, yaitu desain analog dan desain

digital. Desain analog IC pada implementasinya, desainer langsung menggunakan transistor untuk

mendesain rangakaian. Istilah desain langsung menggunakan transistor MOS disebut dengan

“primitive Design”. Sedangkan desain digital pada implementasinya, desainer tidak langsung

menggunakan transistor MOS dalam mendesain, melainkan menggunakan “standart Cell ” yang

telah disediakan oleh vendor teknologi cmos. Standart cell merupakan file-file yang berisi

gerbang-gerbang logika dan blok-blok rangkaian digital. Dalam Standart cell sudah berisi

Page 11: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 11

skematik, simbol dan layout. Gambar 1.8 akan menjelaskan perbedaan dari desain IC analog dan

desain Digital.

Selain desain analog dan digital, desain IC juga dapat dilakukan dengan metode penggabungan

desain. Penggabungan desain analog dan digital merupakan desain penggabungan sinyal diantara

kedua jenis desain tersebut. Metode penggabungan ini disebut dengan “Analog Digital Mixed-

Signal ” (ADMS). Pada modul ini hanya menjelaskan desain IC CMOS dengan metode desain

analog.

Gambar 1.8 Alur Desain IC Lengkap[1]

1.4. Perangkat Lunak Desain IC CMOS

Software desain IC CMOS dalam beberapa sumber mengkategorikan ke dalam perangkat lunak

Computer Aided Design (CAD) dan ada pula yang mengkategorikan kedalam perangakat luna

Electronic Design Automation (EDA). Dalam dunia akademik Software Desain IC CMOS dikenal

dengan Perancangan Elektronika Berbantuan Komputer.

Perkembangan saat ini software desain IC CMOS proses desain skematik dan layout dapat

dilakukan oleh user. Sehingga user dapat dengan sendirinya membuat layout yang diinginkan

dengan menggunakan software desain IC CMOS. Kemudian proses mencetak kebentuk fisik

adalah proses yang dilakukan oleh pihak pabrik. Penggunaan Software desain IC dilakukan

Page 12: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 12

dengan menggunakan library teknologi. Kedua unsur ini selalu berkaitan antara teknologi dan

software. Suatu software desain IC dapat menggunakan beberapa library teknologi.

Software desain IC CMOS dapat dibedakan menjadi 2 kategori berdasarkan tujuan tertentu untuk

mendesain yaitu komersil (commercial) dan non komersial. Software desain IC CMOS komersial

digunakan untuk tujuan menghasilkan produk untuk dijual dalam jumlah besar. Software ini

digunakan oleh perusahaan-perusahaan yang bisnisnya di perangkat elektronik, dari sisi harga

Software desain IC CMOS komersial ini sangatlah mahal. Sedangakan Software desain IC CMOS

non-komersial digunakan untuk tujuan edukasi, pengembangan dan penelitian.

Gambar 1.9 Logo Mentor Graphics

Mentor graphics adalah salah satu penyedia Software Desain CHIP. Vendor dengan Slogan “The

EDA Technology Leader”. Perusahaan yang bergerak di bidang pengembangan perangkat

elektronik dan penyedia software Desain VLSI. Beberapa produk software untuk desain

diantaranya “ICFLow & Pyxis” untuk desain IC dan “Calibre” untuk Verifikasi IC. Dapat

berjalan di sistem operasi windows dan linux. Untuk informasi lebih lengkap mengenai Mentor

Graphics anda dapat mengunjungi situs https://www.mentor.com/.

1.5. Library Teknologi / Proccess Design Kits

Diperlukan library teknologi untuk menunjang proses desain IC. Teknologi pada library yang

dimaksud adalah ukuran dari transistor yang digunakan untuk mendesain. Ukuran teknologi saat

ini mencapai ukuran nanometer(nm) dan akan terus semakin mengecil. Selain ukuran teknologi

CMOS juga diharapkan pada penggunaan atau konsumsi daya (power) yang semakin hemat.

Beberapa vendor atau perusahaan yang menyerdiakan library teknologi berlomba-lomba dalam

mengembangkan teknologi salah satu dari sisi ukuran dan konsumsi daya. Library teknologi yang

dikeluarkan atau produk dari vendor disebut juga dengan Process Design Kit (PDK). Masing-

masing vendor yang besar menyediakan beberapa versi untuk satu pdk. Sebagai contoh suatu

vendor mengeluarkan pdk ukuran 0,35μm dan dapat digunakan dibeberapa software desain IC.

FoundryPDK yang akan digunakan pada modul ini adalah Austria MicroSystem (AMS)

Page 13: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 13

Gambar 1. 10 Logo AMS

Foundry yang menyediakan proses design kits (PDK) dengan nama HitKit (HK). AMS

mendukung desain IC menggunakan software Mentor Graphics dan Cadence. HitKit AMS saat ini

hadir dengan versi V.4 dengan beberapa variasi.

hitkit v4.14 untuk ukuran 0.18µm dengan code proses (aC18).

hitkit v4.11 untuk ukuran 0.18µm dengan code proses (C18,H18)

hitkit v4.10 untuk ukuran 0.35µm dengan code proses (C35,H35,S35)

Untuk susunan MOS yang digunakan pada teknologi AMS 0.35 μm adalah tampak seperti pada gambar

1.11. Terlihat bahwa susunan MOS mempunyai 4 metal, yaitu metal 1, metal 2, metal 3 dan metal 4 dan 2

polysilicon (poly), yaitu poly 1 dan poly 2. Untuk menghubungkan antara poly-metal,metalmetal dan poly-

poly digunakan via dan contact.

Gambar 1.11 Susunan MOS pada teknologi AMS 0.35 μm

1.6. Pabrikasi IC CMOS

Terdapat beberapa pabrik yang memproduksi IC CMOS untuk produksi skala kecil maupun skala

besar atau industry.

Page 14: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 14

Gambar 1. 12 Logo CMP

Pabrik IC yang terletak di negara perancis, berdiri sejak 1981. Jenis yang dapat diproduksi antara

lain IC, Photonic IC, dan MEMS. Teknologi yang dapat diproduksi antara lain CMOS, SiGe,

BiCMOS, HV-CMOS, SOI, MEMS, dan 3D-IC. Selain itu cmp menyediakan layanan penghubung

dengan vendor library teknologi bagi pengguna yang ingin menggunakan library teknology

(design kits). CMP bekerja sama dengan vendor-vendor teknologi atau foundry diantaranya AMS,

STMicroelectronics, dan MEMSCAP. Untuk Tekbologi CMOS dengan ukuran 0,35μm harga yang

ditawarkan 650€/m2. Informasi lebih lengkap dapat mengunjungi situs http://cmp.imag.fr/.

Silicon merupakan bahan utama untuk membuat IC. Silicon akan dibentuk menjadi lapisan

berbentuk “wafer”. Rangkaian IC CMOS yang diproduksi akan diletakkan pada lingkaran disebut

dengan “thin film”. Satu wafer terdiri dari banyak desain yang akan diproduksi, metode ini disebut

juga dengan “Shared Wafer cost”. Shared Wafer cost digunakan untuk produksi untuk prototipe

atau produksi skala kecil bukan untuk produksi masal. Gambar 1.13 akan memvisualisasikan

bentuk wafer dari CMP perancis

Gambar 1. 13 Pabrikasi dalam Wafer (cmp)

Page 15: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 15

Gambar 1. 14 Packaging Layout Ke CHIP model DIL.

Page 16: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 16

Bab 2. Pengenalan Mentor Graphics Software

2.1. Sistem Operasi Linux

A. Tujuan : Untuk mempelajari, memahami dan mengeksplorasi sistem operasi linux

Opensuse 11.4.

B. Kemampuan : - Mampu mengoprasikan sistem operasi Opensuse 11.4

- Mampu mengenal organisasi file di sistem operasi Opensuse 11.4

C. Dasar Teori :

Organisasi File

Sistem file pada OpenSuse sama dengan sistem file distribusi Linux lainnya. Sistem file

dibentuk secara hirarki atau menyerupai pepohonan (tree). Dimulai dari direktori root yang

biasanya disimbolkan dengan “/”, kemudian dilanjutkan dengan sub direktori lainnya seperti

pada gambar 2.1.

Gambar 2.1 Hirarki Sistem File Linux

D. Kegiatan :

1. Masuk ke desktop dengan username dan password

2. Tampilan desktop Opensuse 11. 4 Versi KDE

Page 17: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 17

3. Panel (Taskbar) desktop Opensuse 11. 4 Versi KDE

4. StartMenu desktop Opensuse 11. 4 Versi KDE

5. Terminal (Shell) desktop Opensuse 11. 4 Versi KDE

Page 18: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 18

6. Dolphin (explorer) Opensuse 11. 4 Versi KDE

7. Okular (PDF) Opensuse 11. 4 Versi KDE

Page 19: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 19

2.2. Menjalankan software Mentor Graphics

A. Tujuan : - Mempelajari dan memahami Perintah dasar Linux (CLI).

- Mempelajari dan memahami langkah-langkah menjalankan Mentor

Graphics.

B. Kemampuan : - Mampu Menjalankan perintah dasar CLI.

- Mampu menjalankan mentor graphics.

C. Teori :

Menjalankan software Mentor Graphics pada sistem operasi linux disesuaikan dengan

dasar sistem sistem operasi linux yaitu Command Line Interface (CLI) atau menjalankan

aktivitas sistem dengan perintah/instruksi seperti pada Command Prompt (CMD) pada

sistem operasi windows namun berbeda sintak perintah. Beberapa perintah dasar linux

diantaranya “ls”, “cd”, “exit”, “su”, dan “pwd”. Desain IC menggunakan software Mentor

Graphics yang disebut ICFlow, dimana terdiri dari tiga bagian utama software yaitu

ICStudio untuk manajemen desain, Design Architect-IC untuk mendesain Skematik dan

ICStation untuk desain Layout.

D. Kegiatan

D.1. Ekplorasi Opensuse

1. Akses OpenSuse menu.

2. Klik / buka icon Terminal.

Page 20: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 20

3. Ketikan perintah “ls” untuk menampilkan list file dan direktori.

4. Ketikan perintah “cd” untuk masuk ke dalam direktori dan ketikan “cd..” untuk keluar

direktori.

5. Ketikan perintah “su” untuk masuk ke dalam direktori root dan ketikan “exit” untuk keluar

direktori root.

6. Ketikan perintah “pwd” untuk mengetahui posisi direktori yang sedang diakses

Page 21: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 21

D.2. Menjalankan ICStudio

1. Akses OpenSuse menu

2. Klik / buka icon Terminal

3. Ketikan perintah “su –l” untuk mengakses root

4. Ketikan perintah “./mg-source/ganti-mac-addr.sh”

5. Ketikan perintah “exit”

6. Ketikan perintah “lmgrd” untuk mengaktifkan lisensi

7. Memulai proyek dengan perintah “ams_icstudio –project nama_project –tech c35b4c3”

8. Akan tampil layar ICStudio.

Page 22: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 22

D.3. Menjalankan Design Architech-IC

1. Membuat library dengan klik “file>New>Library” atau klik kanan pada layar. Isikan

nama library “GerbangLogika”. Kemudian tekan tombol OK

2. Membuat Cell dengan klik “file>New>CellView”. Isikan Cell Name = Inverter dan

View Type = Schematic. Kemudian tekan tombol finish

Page 23: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 23

3. Tampilan Layar skematik

D.4. Menjalankan ICStation

1. Membuat Cell dengan klik “file>New>CellView”. Isikan Cell Name = Inverter dan

View Type = Layout. Kemudian tekan tombol finish.

2. Akan tampil Layar layout

Page 24: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 24

Page 25: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 25

Bab 3. Desain Layout Analog

3.1. Pengenalan ICStation Desain Layout

A. Tujuan : Mempelajari dan mengeksplorasi ICStation

B. Kemampuan : Mampu mengoperasikan ICStation

C. Teori :

ICStation terdiri dari beberapa fungsi yaitu Full Custom, Automated, Verification, dan

Interfaces. Fungsi-fungsi tersebut terdapat dalam lingkuangan yang disebut dengan

Framework.Framework dari ICStation dapat dilihat pada gambar4 dan Tampilan ICStation

tampak seperti pada gambar 7.1.

Gambar 7.1. Framework IC Station

D. Kegiatan :

D.1. Bagian-Bagian ICStation

ICStation terdiri dari 7 bagian yang ditunjukan oleh gambar 7.2.

Page 26: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 26

Gambar 7.2. Bagian-Bagian ICStation

Untuk memahami bagian-bagian dari ICStation tersebut maka penjelasan dari gambar diatas

adalah sebagai berikut:

1. Menu bar

Menu bar terdiri dari beberapa menu-menu seperti pada gambar 6. Menu yang berbeda

hanyalah Hit-kit Utilities dan Show LP

a. Hit-kit Utilities

Hit-kit utilities merupakan fitur khusus yang dihadirkan oleh teknologi, khususnya

yang dipakai saat ini adalah AMS.

b. Layar Lapisan (Show LP)

layar atau jendela show lp berguna untuk membantu pendesain dalam mengenal

lapisan-lapisan CMOS (Penjelasan mengenai Lapisan-lapisan CMOS dapat dilihat pada

subbab lapisan CMOS). Selain itu fungsi layar ini adalah untuk menampilkan dan

menyembunyikan lapisan CMOS, karena

2. Shortcut Menu

Page 27: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 27

Merupakan menu-menu rutin digunakan dan direpresentasikan dalam bentuk icon-icon

3. Information

Merupakan informasi dari aktifitas selama mouse aktif.

4. Ic Palettes

Kumpulan menu yang disediakan oleh teknologi yang digunakan untuk membantu

pendesain agar tidak susah mengakses menu-menu.

5. Layar kerja (Active Window)

Layar yang berfungsi sebagai tempat utama meletakkan bahan-bahan CMOS yang

membentuk sebuah layout.Layar kerja atau Active Window merupakan layar utama diamana

tempat membuat layout.Layar atau jendela ini erat kaitannya dengan grid.Penjelasan

mengenai grid dapat dilihat pada point grid.

6. Toolbox

Tool yang berkaitan dengan tools yang rutin digunakan untuk mendesain. Tool atau alat

bantu dalam mentor graphics terdapat pada sisi sebelah kiri dari layar ICStation.Toolbox

Toolbox dilihat pada gambar 7.3

Gambar 7.3 Bagian-Bagian ICStation

Beberapa tools yang rutin digunakan adalah sebagi berikut:

a. Select Area

Select area merupakan tool yang digunakan untuk memilih area atau objek yang diinginkan

Page 28: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 28

pada layar kerja.

b. Delete

Delete merupakan tool yang digunakan untuk menghapus objek pada layar kerja. Selain

menekan icon delete dapat juga menggunakn tombol delete pada keyboard

c. Copy & Paste

Copy dan paste berfungsi untuk menggandakan objek pada layar keja.

d. Copy Clipboard

Copy Clipboard berfungsi untuk menggandakan objek pada layar kerja dan memindahkan

ke layar kerja yang lain.

e. Move

Move berfungsi untuk memindahkan posisi objek dari satu koordinat ke koordinat yang

lain dalam satu layar kerja

f. Undo&Redo

Undo dan redo berfungsi untuk mengembalikan kondisi sebelum dan sesudah aktifitas

g. Rectangle

Rectangle berfungsi untuk membuat bentuk objek dalam bentuk persegi

h. Shape

Shape berfungsi untuk membuat bentuk objek dalam koordinat tertentu. Shape dapat

digunakan dengan posisi horizontal, vertikal dan diagonal.

i. Path

Shape berfungsi untuk membuat bentuk objek dalam koordinat tertentu khususnya untuk

membuat jalur. Shape dapat digunakan dengan posisi horizontal dan vertikal .

j. Text

Text berfungsi untuk membuat teks atau label pada layar kerja

k. Via

Via berfungsi untuk sebagai penyambung atau penghubung antar bahan.

l. Rules

Rules berfungsi sebagai alat bantu untuk mengukur luas area, jarak, pangjang dan lebar.

m. Change Object Attribut

Change Object Attribut berfungsi untuk mengubah nilai dari objek pada layar kerja.

Selain toolbox ada beberapa tool lainnya yang rutin digunakan. Beberapa diantaranya

Page 29: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 29

7. Message Area

Layar yang menampilkan pesan dan juga informasi aktifitas yang sedang dikerjakan oleh

pendesain. Selain itu juga memberikan informasi hasil dari pengecekan dari prose DRC

(Design Rules Check).

D.2. Grid

Grid merupakan tool berupa titik-titik yang berfungsi untuk membantu pendesain dalam

meletakkan objek pada layar kerja sehingga tampak rapi. Grid layaknya bidang koordinat kartesius

seperti pada gambar8.Satuan dalam koordinat ini adalah mikro.Secara default ukuran grid adalah

0.05 µm.

Gambar 7.4. Bidang Koordinat Kartesius.

D.3. Select dan Unselect

Select dan unselect merupakan tool yang selalu digunakan karena tool ini berguna untuk

mengaktifkan dan menon-aktifkan objek yang ingin dieksekusi. Setiap aktifitas harus

menggunakan tool ini. Seperti untuk memindahkan objek tertentu, maka harus diselect terlebih

dahulu sebelum memindahkan dan di unselect setelah dipindahkan. Hal ini bertujuan agar tidak

terjadi salah mengeksekusi objek.

D.4. Menu Edit

Beberapa submenu yang sering digunakan dalam menu edit ini adalah

1. Copy, berfungsi untuk menyalin atau menggandakan objek.

2. Delete, berfungsi untuk menghapus objek.

3. Flatten, berfungsi untuk membuka atau meratakan lapisan, sehingga lapisan yang berada

Page 30: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 30

didalam objek / komponen dapat terlihat.

4. Flip, berfungsi untuk membalik objek.

5. Merger, berfungsi untuk menggabungkan 2 objek atau lebih menjadi 1 objek

6. Move, berfungsi untuk memindahkan 1 objek atau lebih dari koordinat tertentu menuju

koordinat yang diinginkan.

7. Rotate, berfungsi untuk memutar 1 atau lebih objek.

8. Slice, berfungsi untuk memotong bagian tertetntu dari suatu objek. Slice terdiri dari 2 cara

yaitu dengan Polygon dan dengan Line. Untuk polygon, memotong objek dengan atau

bedasarkan posisi persegi sedangkan untuk line memotong berdasarkan garis baik

horizontal maupun vertikal.

D.5. Menu Object

Beberapa submenu yang sering digunakan dalam menu Object ini adalah

1. Add, SubMenu Add terdiri dari beberapa sub sub menu. Sub sub menu yang sering

digunakan adalah Path, Shape, Cell dan Make. Make Port digunakan untuk memberikan

nama input dan output.

2. Delete, berfungsi untuk menghapus objek

3.2. Pengenalan Lapisan CMOS 0,35

A. Tujuan : Mempelajari dan Memahami lapisan-lapisan Teknologi CMOS AMS

0,35 µm

B. Kemampuan : - Mampu memahami lapisan-lapisan Teknologi CMOS AMS 0,35 µm

-Mampu membedakan lapisan-lapisan Teknologi CMOS AMS 0,35µm

C. Teori :

Tahap setelah skematik adalah tahap layout. Memasuki tahap layout diperlukan pemahaman

mengenai lapisan-lapisan (layers) yang membentuk CMOS menjadi satu kesatuan yang utuh. Pada

tahap pengenalan CMOS di awal telah dijelaskan struktur bagian dari CMOS. Tujuan dari

pengenalan lapisan-lapisan (layers) adalah untuk memudahkan desainer atau perancang layout

agar dapat mengetahui dan membedakan perbedaan bentuk-bentuk lapisan. Lapisan-lapisan pada

CMOS layaknya sebuah lantai yang bertingkat dimana setiap lapisan mempunyai pembeda yaitu

nomor lapisan seperti pada gambar 7.5. Lapisan-lapisan pada CMOS terdiri dari dua yaitu lapisan

pembentuk atau pembungkus dan penghubung lapisan.

Page 31: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 31

Gambar 7.5. Nomor Lapisan-Lapisan CMOS

1. Mask Layer

Mask Layer merupakan layer pembentuk atau yang membungkus CMOS. Lapisan-lapisan

(layers) dan penjelasan dari lapisan yang termasuk dalam Mask Layer dapat dilihat pada gambar

10.

Gambar 7.6 Mask Layer

Page 32: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 32

2. Lapisan Bahan

A. Metal

Metal pada teknologi 0.35 µm (C35) terdiri dari 4 buah lapisan metal. Masing-masing metal

dapat dibedakan dari sisi warna seperti pada gambar 7.7. Lapisan metal tersebut adalah

a. Metal 1 (M1 / MET1), digunakan sebagai lapisan jalur.

b. Metal 2 (M2 / MET2), digunakan sebagai lapisan jalur.

c. Metal 3 (M3 / MET3), digunakan sebagai lapisan jalur.

d. Metal 4 (M4 / MET4), digunakan sebagai lapisan pembungkus.

Gambar 7.7 Lapisan Metal 1 sampai dengan Metal 4

B. Poly

Poly pada teknologi 0.35 terdiri dari 2 lapisan Poly. Lapisan poly tersebut adalah

a. Poly 1 (P1)

b. Poly 2 (P2)

Hal yang membedakan antara poly 1 dan poly 2 adalah warna dan struktur seperti pada

gambar Gambar 7.8

Gambar 7.8 Poly 1 dan Poly 2

Page 33: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 33

C. NTUB

NTUB merupakan lapisan yang disebut juga N-Well.NTUB juga merupakan Bulk pada

transistor MOS. Gambar 7.9 merupakan bentuk dari NTUB.

Gambar 7.9 NTUB

D. FIMP

FIMP merupakan lapisan yang digunakan untuk menutup PMOS.Sifat penggunaannya

adalah wajib digunakan, jika terdapat NTUB maka diperlukan FIMP untuk menutupi

NTUB.Gambar 7.10 merupakan bentuk dari FIMP.

Gambar 7.10 FIMP

E. NPLUS

Drain dan source dari transistor membutuhkan N+Implant. Maka NPLUS merupakan lapisan

yang digunakan untuk menutupi N+Implant pada NMOS.Gambar 7.11 merupakan bentuk dari

NPLUS.

Gambar 7.11 NPLUS

F. PPLUS

Drain dan source dari transistor membutuhkan P+Implant. Maka NPLUS merupakan lapisan

yang digunakan untuk menutupi P+Implant pada NMOS. Gambar 7.12 merupakan bentuk dari

PPLUS

Gambar 7.12. PPLUS

Page 34: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 34

G. CONT

Contact merupakan penghubung antara metal dengan diff dan metal dengan Poly. Gambar

7.13 merupakan bentuk dari CONT

Gambar 7.13. CONT

H. DIFF

Merupakan layer difusi yang terdapat pada NMOS dan PMOS. Gambar 7.14 merupakan

bentuk dari NTUB

Gambar 7.14. DIFF

3.3 Lapisan Penghubung / Penyambungan Lapisan

A. VIA

Dalam hal penyambungan antar lapisan diperlukan lapisan penghubung.Lapisan penghubung

tersbut disebut dengan VIA. VIA terdiri dari dua jenis lapisan yaitu menggunkan VIA dan CONT.

Berikut ini adalah penjelasan dari kedua jenis tersebut

a. VIA, merupakan lapisan penghubung yang digunakan untuk menghubungkan antar

Metal. Tediri dari VIA1 untuk menghubungkan Metal 1 dengan metal 2, VIA2 untuk

menghubungkan Metal 2 dengan metal 3, dan VIA3 untuk menghubungkan Metal 3

dengan metal 4. Gambar 7.15 merupakan bentuk VIA

Gambar 7.15 Bentuk VIA

b. Cont, Merupakan lapisan penghubung yang digunakan untuk menghubungkan khusus

Page 35: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 35

Metal 1 dengan Poly, Metal 1 dengan Nplus, dan Metal 1 dengan Pplus. Bentuk CONT

seperti pada gambar 7.15

Dari penjelasan di atas berikut ini adalah aturan penyambungan menggunakan VIA.

1. M1P1, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Metal 1 dengan Poly 1

Gambar 7.16. Bentuk dan Penggunaan M1P1

2. M1P2, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Metal 1 dengan

Poly 2

Gambar 7.17 Bentuk dan Penggunaan M1P2

3. M1M2, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Metal 1 dengan

Metal 2

Gambar 7.18 Bentuk dan Penggunaan M1M2

4. M2M3, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Metal 2 dengan

Metal 3

Page 36: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 36

Gambar 7.19 Bentuk dan Penggunaan M2M3

5. M3M4, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Metal 3 dengan

Metal 4

Gambar 7.20 Bentuk dan Penggunaan M3M4

6. NDM1, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Nplus dengan

Metal 1

Gambar 7.21 Bentuk dan Penggunaan NDM1

7. PDM1, yaitu Penyambuangan menggunakan VIA untuk menghubungkan Pplus dengan

Metal 1

Gambar 7.22 Bentuk dan Penggunaan PDM1

Page 37: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 37

D. Kegiatan :

D1. Latihan Pengenalan Metal

A. Buatlah Metal 1 dan Metal 2 secara Horizontal!

Metal1 Metal2

Bentuk:

Warna :

Bentuk:

Warna:

B. Buatlah Metal 3 dan Metal 4 secara Vertikal!

Metal 3 Metal 4

Bentuk:

Warna :

Bentuk:

Warna:

C. Buatlah Poly 1 dan Poly 2 secara Horizontal dan Vertikal!

Poly 1 Poly 2

Bentuk:

Warna :

Bentuk:

Warna:

D. Buatlah NPLUS dan PPLUS secara Horizontal dan Vertikal!

Poly 1 Poly 2

Bentuk:

Warna :

Bentuk:

Warna:

Page 38: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 38

D2. Latihan Menghubungkan Lapisan

A. Buatlah Via 1, Via 2 dan Via 3 secara Horizontal dan Vertikal!

Via 1 Via 2 Via 3

Bentuk:

Warna :

Bentuk:

Warna

Bentuk:

Warna

B. Isi tabel berikut dan Buatlah layout dari tabel tersebut!

M1 M2 M3 M4

M4

M3

M2

M1

Gambar Layout:

Page 39: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 39

3.4. Desain Layout CMOS

A. Tujuan : Mempelajari langkah-langkah pembuatan CMOS gerbang logika Inverter

B. Kemampuan : Mampu membuat layout CMOS dasar berupa gerbang inverter

C. Teori :

3.4.1.CMOS

CMOS adalah gabungan dari Transistor NMOS dan PMOS.Untuk layout transistor tersebut

dibagi menjadi 2 jenis yaitu.Transistor dengan tanpa Midox yaitu Nmos dan Pmos dan dengan

Midox yaitu Nmosm dan Pmosm. Penjeasan masing-masing dari jenis tersebut dapat dilihat pada

gambar 7.23 dan gambar 7.24.

A. Tanpa Midox

Gambar 7.23 Layout MOS Tanpa Midox

B. Dengan Midox

Gambar 7.24 Layout MOS dengan Midox

Page 40: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 40

3.4.1. Teknik Pembuatan Komponen

Pada bagian ini menjelaskan teknik yang digunakan untuk mendesain layout.Teknik

tersebut adalah Teknik Pararel transistor, teknik pembuatan kapasitor, teknik pembuatan

resistor, teknik penghubung jalur.

A. Teknik pararel transistor

Teknik pararel transistor merupakan solusi dari masalah luas area yang akan digunakan

dikarenakan besaran dari W dan L. Seperti contoh pada gambar 7.25 sebuah transistor NMOS

dengan W bernilai = 40 µm dan L bernilai = 0,35 µm. Jika menggunakan W dan L tersebut maka

bentuk dari layout NMOStersebut, maka akan menghasilkan NMOS yang panjang.

Gambar. 7.25. Layout NMOS W= 40 µm, L = 0,35 µm

Dengan menggunakan teknik pararel maka nmos tersebut dapat dipecah menjadi beberapa

NMOS. Misalkan ukuran 40 dipecah menjadi 4 buah NMOS dengan masing-masing NMOS

bernilai W 10 dan L 0,35. Seperti pada gambar 7.26 merupakan hasil pararel.

Page 41: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 41

Gambar 7.26 Pararel Transistor

Cara menghasilkan pararel adalah dengan menggabungkan ke 4 NMOS tersebut secara pararel /

sejajar. Tempelkan posisi metal drain dari NMOS satu dengan source dari NMOS lainnya atau jika

tidak tahu posisi drain dan source dapat menggabungkan secara langsung. Hasilnya adalah seperti

pada gambar 31 NMOS yang digabungkan akan menghasilkan posisi source, source drain,drain

Gambar 7.27 Hasil Pararel Transistor NMOS

B. Teknik Pembuatan kapasitor

Pada prinsipnya, kapasitor tidak lain hanyalah dua keping konduktor yang berdekatan yang

dipisahkan dielektrik diantara kedua keping tersebut. Kapasitansi dihitung berdasarkan rumus

berikut:

𝐾𝑎𝑝𝑎𝑠𝑖𝑡𝑎𝑛𝑠 (𝐶) = 𝐴𝑟𝑒𝑎 (𝑠) ∗ 𝐾𝑜𝑛𝑠𝑡𝑎𝑛𝑡𝑎 𝑑𝑖𝑒𝑙𝑒𝑘𝑡𝑟𝑖𝑘 (𝜀)

𝐽𝑎𝑟𝑎𝑘 𝑎𝑛𝑡𝑎𝑟𝑎 𝑘𝑒𝑝𝑖𝑛𝑔 (𝑑)

Apabila d dan ε adalah konstan, maka area (s) berbentuk persegi, sehingga dapat

diturunkan persamaan :

𝐾𝑎𝑝𝑎𝑠𝑖𝑡𝑎𝑛𝑠 (𝐶) = 𝑊𝑖𝑑𝑡ℎ (𝑊) ∗ 𝐿𝑒𝑛𝑔ℎ𝑡 (𝐿) ∗ 𝐾𝑎𝑝𝑎𝑠𝑖𝑡𝑎𝑛𝑠 𝑝𝑒𝑟 𝑢𝑛𝑖𝑡 𝑎𝑟𝑒𝑎 (𝑐)

Untuk hal tersebut, sebelum membuat desain layout, harus diketahui terlebih dahulu nilai

W dan L. Untuk mendesain kapasitor secara praktis dan cepat, dapat digunakan desain skematik

pada mentor graphic. Caranya adalah :

a. Buka mentor graphic dan masuk ke desain skematik

b. Pada desain skematik, pilih AMS Device dan klik Capacitor. Masukkan nilai kapasitor

dengan cara klik Change Capacitance. Misalkan nilai kapasitor 1 pf (0.999982).

Page 42: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 42

Gambar 7.28 Menu Kapasitor

c. Catat nilai W dan L. Selanjutnya masuk ke desain layout.

d. Pada desain layout, klik kanan mouse, pilih add shape. Klik option dan pilih poly2, selanjutnya

klik OK.

e. Pada area layout, klik ruler, buat ukuran untuk nilai W dan L. Ruler dibuat untuk memastikan

ukuran nilai panjang (W) dan lebar (L).

f. Masih di area layout, klik mouse dan tahan, selanjutnya buat area rectangular dengan ukuran

W/L = 33.950 (lihat nilai yang dicatat pada langkah b dan c).

Gambar 7.29 Pengukuran

Page 43: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 43

g. Gambar layout poly2 diperlihatkan seperti pada gambar dibawah :

Gambar 7.30 Layer poly2

h. Selanjutnya, klik kanan maouse pada area layout, pilih add shape. Pada menu option, pilih Poly1.

Gambar 7.31 Menu Layer

i. Masih di area layout, klik mouse dan tahan, selanjutnya buat area rectangular dengan ukuran W/L =

36.950 (lihat ukuran poly2 pada point f, yaitu ukuran poly1 ditambah 3µ. Nilai 3µ setara dengan 3λ).

Page 44: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 44

j. Letakkan layout poly1 menumpuk tepat diatas poly2. Selanjutnya klik Via Shape, dan pilih P1M1

sebagai konektor Poly1 dengan Metal1.

Gambar 7.32 Menu konektor

k. Via Shape P1M1 diletakkan pada poly1.

Gambar 7.32 Penempatan Konektor

l. Buat kaki kapasitor dengan cara klik kanan mouse di area layout dan pilih add path. Pada menu option,

pilih MET1 dengan Width 0.5.

Gambar 7.33 Menu Ukuran layer

Page 45: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 45

m. Klik OK, selanjutnya buat jalur Metal 1 dari Via P1M1 hingga keluar area kapasitor

Gambar 7.33 Penempatan konektor dan metal 1

n. Lakukan cara yang sama dimulai dari point j untuk poly2. Via Shape yang dipakai adalah P2M1,

sehingga hasil akhir kapasitor terlihat seperti pada gambar dibawah :

Gambar 7.34 Layout Kapasitor

2.3. Teknik Pembuatan Resistor

Rumus dasar resistor adalah :

𝑅𝑒𝑠𝑖𝑠𝑡𝑎𝑛𝑐𝑒 (𝑟) =𝑃𝑎𝑛𝑗𝑎𝑛𝑔 (𝑙) ∗ 𝑅𝑒𝑠𝑖𝑠𝑡𝑎𝑛𝑠𝑖 (𝜌)

𝐿𝑢𝑎𝑠 𝑃𝑒𝑛𝑎𝑚𝑝𝑎𝑛𝑔 (𝑤)

karena ketebalan setiap lapisan yang diberikan adalah tetap, rumus ini dapat diubah sebagai

berikut :

𝑟 = 𝜌′ ∗𝑙

𝑤= 𝜌′ ∗ 𝑁

Page 46: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 46

dimana w adalah lebar resistor, ρ 'adalah resistensi per square (resistensi lembar), dan N adalah

jumlah kotak.

Pada prinsipnya, setiap lapisan dapat digunakan untuk membangun resistor. Namun secara

praktis, hanya lapisan yang memiliki konduktivitas paling kecil yang tepat untuk mendesain

layout resistor.

Dalam mendesain layout resistor, dapat digunakan dua buah lapisan poly, yaitu poly1 dan

poly2. Poly1 memiliki resistansi 25Ω/square yang cocok digunakan untuk mendesain resistor di

bawah 3kΩ. Untuk resistor lebih 3kΩ, poly2 lebih tepat digunakan, karena poly2 memiliki

resistansi 1.2kΩ/square. Untuk efektifitas layout, nilai lebar minimum poly2 adalah 0,6 µ.

Contoh :

1. Desain Layout Ressistor 200 Ohm

𝑁 = 𝑟

𝜌

𝑁 = 200

25= 8

Didapatkan nilai N adalah 8. Untuk l = 0,6 µ, maka w = 4,8 µ.

Langkah selanjutnya adalah menggambar layout tersebut.

a. Masuk ke desain layout dengan cara pilih new cell view pada model layout

b. Klik kanan mouse dan pilih add path. Pada menu option, pilih poly2 dengan memasukkan

nilai width = 0,6 seperti tampak pada gambar dibawah :

Gambar 7.35. Menu Layer

Page 47: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 47

c. Klik mouse disembarang tempat dan tahan, selanjutnya dengan masih menahan, tarik

mouse dengan panjang 4,8 seperti terlihat pada gambar dibawah :

Gambar 7.36 Poly 2

d. Tambahkan HRES dengan cara klik kanan mouse disembarang tempat, selanjutnya pilih

add path dan klik menu option. Pilih HRES dengan width 0,6.

Gambar 7. 37. Menu Layer Hres

e. Klik dan tahan mouse tepat pada ujung kanan atas layout poly2 dan tarik hingga seluruh

poly2 tertutup HRES (Poly2 dan HRES ukurannya sama, sehingga poly2 ditimpa dengan

HRES)

f. Selanjutnya membuat konektor yang digunakan sebagai kaki resistor. Layout kaki

resistor (konektor) dibuat dengan menggunakan METAL 1 (MET1). Untuk

menghubungkan MET1 dengan Layout resistor, digunakan viashape. Buat konektor

dengan cara klik Via Shape seperti terlihat pada gambar dibawah.

Page 48: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 48

Gambar 7.38. Menu Konektor

g. Pilih P2M1 (Poly2-Metal1) dan klik OK. Berikan nilai 0,6 untuk W/L. Copy layout P2M1

tersebut dan selanjutnya letakkan pada posisi kedua ujung resistor.

Gambar 7. 39. Poly 2 dengan Konektor

Contoh lain untuk mendesain Resistor dengan nilai 100KOhm. Untuk mendesain, dapat dilakukan dengan

dua cara. Cara pertama adalah seperti pada cara mendesain layout 200 Ohm seperti yang sudah dibahas

diatas. Cara kedua adalah dengan menggunakan desain skematik mentor graphic.

a. Masuk mentor graphic pada menu desain skemati

b. Pilih AMS Device dan pilih Resistor. Pilih rpoly2. Selanjutnya masukkan parameter nilai R =

200000 (2KOhm) dengan cara klik Change Resistance

Page 49: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 49

Gambar 7.40. Menu Resistor

c. Catat nilai W dan L yang dihasilkan. Nilai W dan L bisa dimodifikasi dengan cara mengisi

nilai parameter masing masing.

d. Selanjutnya lakukan langkah c seperti pada contoh pertama. Terlihat bahwa Width sangat

panjang. Hal ini tidak efektif untuk layout, karena akan memakan banyak area, sehingga

untuk lebih mengoptimalkan layout, maka dapat dibuat desain dengan cara membuat panjang

layout berbentuk spiral.

Gambar 7.41. Layout Resistor

e. Lakukan kembali langkah d seperti pada contoh pertama, yaitu dengan menambahkan Via

Shape (P2M1) dan HRES.

3.4.3. Teknik Penyambungan Jalur

Teknik ini digunakan apabila terdapat jalur yang saling berpotongan dan tidak saling

Page 50: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 50

terhubung.Sebagai contoh pada gambar 7.30 terdapat 2 jalur metal 1 yang tidak saling

terhubung.Dimana terdapat Metal 1 (VDD) dan Metal 1 (GND). Jika metal 1(VDD) tidak ada

jalan lain selain melintas metal 1 (GND). Maka diperlukan metal 2 sebagai penyambung, karena

lapisan metal 2 dan metal 1 berdeda tingkatan lapisan. Selain metal 2, diperlukan VIA (M1M2)

sebagai konektor penghubung antara metal 2 sebagai jalur penghubung.

Gambar 7.42. Penyambungan jalur (Jumper)

3.4.4. Langkah-langkah Pembuatan layout CMOS

Gambar 7.43. Desain Layout Inverter

Tahap-tahap tersebut adalah sebagai berikut:

1. Mengaktifkan ICStation dari cell yang telah aktif

2. Melakukan proses SDL.

3. Membuat koneksi antar komponen, Jika tidak Menggunakan proses SDL, gunakan langkah

berikut :

a. Membuat transistor secara manual

Pada tahap manual untuk menempatkan Pmos dan Nmos dapat mengunakan menu Hit-kit

Page 51: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 51

utilities kemudian menekan tombol AMS Devices.Setelah itu menekan tombol MOS pada

IC Palette.Kemudian Isikan ukuran W dan L masing -masing Pmos dan Nmos.Untuk

ukurannya dapat dilihat pada tabel 1.

Tabel 1. Nilai W dan L untuk PMOS dan NMOS pada Gerbang Inverter

Ukuran Tipe MOS

Nmos Pmos

W (Width) 0.4 0.4

L (Legth) 0.35 0.35

b. Meletakkan komponen Pmos dan Nmos Sesuai gambar

c. Menghubungkan kaki-kaki Pmos dan Nmos sesuai dengan skema rangkaian Inverter.

Untuk lebih jelasnya dapat melihat tabel 2 dan gambar 8.

Tabel 2. Koneksi untuk PMOS dan NMOS pada Gerbang Inverter

Kaki Pmos Nmos Bahan Penghubung

Drain (D) Drain Nmos Drain Pmos M1 -

Source (S) Vdd Ground M1 -

Gate (G) Gate Nmos Gate Pmos M1 dan P1 M1P1

d. Memberikan Nama masukan (input)dan keluaran (output) menggunakan menu make

port.

e. Melakukan Simulasi Layout dengan cara merubah Layout ke dalam bentuk file .cir.

f. Melakukan Verifikasi IC (IC Verification)

o Mengecek Layout dengan DRC

Jika terdapat Kesalahan maka harus dilakukan perbaikan namun jika terdapat warning maka

dapat diabaikan dahulu. Untuk lebih jelasnya dapat dibaca pada bab Verifikasi IC

o Pengecekan Layout dengan LVS

Pengecekan layout dilakukan dengan menggunakan LVS (Layout Versus Schematik) yaitu

pencocokan jalur antara Layout dengan Skematik. Untuk pembahasan ini dapat dibaca pada

bab Verifikasi IC

g. Membuat Floorplan

Setelah tahap LVS maka membuat Floorplan yang bertujuan untuk membuat tata letak

layout yang telah dibuat untuk di dalam IC. Pembahasan mengenai floorplan dapat dibaca pada

bab Floorplan.

Page 52: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 52

h. Konversi layout menjadi GDSII

Proses terakhir dari pembuatan layout adalah konversi menjadi GDSII. Pembahasan

lebih lanjut dapat dibaca pada bab persiapan pabrikasi.

i. Pengisian dan pengiriman Formulir pabrikasi beserta File GDSII.

D. Kegiatan :

D.1. Latihan CMOS

A. Buatlah NMOS dan PMOS dengan ukuran lebar 0,4µm dan Panjang 0,35µm!

NMOS PMOS

B. Buatlah NMOS dan PMOS dengan ukuran lebar 12 µm dan Panjang 0,35 µm!

NMOS PMOS

C. Buatlah NMOS dan PMOS dengan ukuran lebar 0,4 µm dan Panjang 12 µm

NMOS PMOS

Page 53: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 53

D.2. Latihan Teknik pembuatan komponen

A. Buatlah layout PMOS dengan ukuran W = 70 µm dan L = 4µm, Susunlah secara pararel.!

Gambar PMOS :

B. Buatlah Resistor dengan nilai 3,3kΩ !

Gambar Resistor :

C. Buatlah kapasitor dengan nilai 5pF !

Gambar Kapasitor :

Page 54: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 54

Page 55: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 55

Bab 4. Dasar Aturan Desain Layout

4.1. Pengenalan Aturan (Rules) Desain Teknologi CMOS 0,35 A. Tujuan : Mempelajari dan memahami aturan Desain Teknologi CMOS 0,35

B. Kemampuan : Mampu memperbaiki kesalahan desain layout

C. Teori :

1. Pengenalan Rules (Aturan)

Aturan atau rules pada layout mengacu pada teknologi yang digunakan. Pada saat ini yang

digunakan adalah teknologi 0,35 dengan kode teknologi c35b4 dengan library c35b4c3. Pada

dasarnya aturan yang digunakan adalah aturan umum yaitu c35b4.Di dalam aturan c35b4 berisi

kumpulan aturan untuk beberapa library yaitu c35b4c3 dan c35b4c4.

1.1. Realsi Geometri (Geometric relations)

Gambar 8.1. Aturan Geometri C35

Gambar 8.2.Penjelasn Aturan Geometri C35.

Page 56: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 56

Geometri Relation merupakan aturan mengenai jarak antar bahan dan ukuran bahan. Pada

gambar 1dan gambar 2 menjelaskan bahwa :

a. Width adalah bahan memiliki ukuran lebar minimum (width).

b. Spacing adalah jarak antar bahan yang sama dan juga antar bahan yang berbeda.

c. Notch adalah Jarak antara bahan yang sama membentuk sudut tertentu.

d. Enclosure adalah jarak antara 2 bahan yang berada dalam satu tempat. Dalam gambar 1 bahan B

diletakkan di tengah bahan A

e. Extension adalah jarak antar 2 bahan yang saling memotong

f. Overlap adalah Kondisi jaraka antar 2 bahan yang tumpang tindih

Aturan atau rules sangatlah banyak. Oleh karena itu pada modul ini dibuatkan aturan(rules)

yang sangat ringkas. Seperti pada gambar 8.3, gambar 8.4, dan gambar 8.5 menjelaskan aturan

yang wajib diketahui dari sekian banyak aturan oleh pendesain.

Gambar 8.3. Aturan jarak dengan jenis lapisan yang sama pada C35B4C3

Pada gambar 3 terdiri dari bahan-bahan pembentuk cmos seperti metal1, metal2, metal3,

metal4, poly dan diff. Dalam gambar tersebut telihat bahwa aturan antar bahan sejenis (warna tidak

sesuai dengan asli pada ICstation). Jarak minimal Metal 4 dengan metal 4 secara aturan geometri

adalah 0,6 µm dengan lebar bahan minimal 0,6 µm. Perlu diingat bahwa nilai tersebut adalah nilai

minimal, jadi nilai diatas 0,6 µm (Untuk metal4) diperbolehkan dan nilai dibawah batas tersebut

tidak diperbolehkan. Hal tersebut juga berlaku bagi bahan-bahan yang lain.

Page 57: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 57

Gambar 8.4 Aturan jarak antara Diff dan Poly pada C35B4C3

Penerapan geometri seperti pada gambar 8.4. 0,5 µm adalah nilai minimum lebar jarak Diff

horizontal terhadap Poly vertikal. 0,4µm adalah nilai minimum tinggi dari Poly vertikal terhadap

Diff horizontal. 0,2 µm adalah jarak antara Poly horizontal terhadap Diff horizontal atau

sebaliknya.

Untuk aturan (rules) yang berkaitan dengan lapisan penghubung dapat dilihat pada gambar 8.5.

Masing-masing penghubung memiliki aturan tersendiri.Sebagai contoh Poly_con, jika kontak

(cont) berada diantara metal1 dan Poly. Maka jarak poly dengan kontak adalah minimum 0.2 µm,

jarak antara metal1 dengan kontak adalah minimum 0.15 µm serta nilai lebar dari kontak sendiri

minimum 0.4µm. Untuk penerapan kontak dan via dengan lapisan bahan lainnya dapat dilihat pada

gambar 8.5.

Gambar 8.5. Aturan penempatan VIA dan CONT

1.2. Peringatan (Warning)

Selain kesalahan geometri, pada aturan (rules) terdapat kondisi peringatan. Berikut ini

adalah pesan peringatan tersebut yang sering muncul pada prose layout:

A. Jika terdapat kategori pesan ”Warning” atau ”ERC Warning”. ERC Waning adalah

Electrical Rules Check dimana aturan yang berkaitan dengan sistem kelistrikan.untuk

Page 58: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 58

sementara ini dibiarkan tanpa perbaikan dahulu.

B. Pesan NWELL HOT.Pesan ini terjadi dikarenakan PMOS tidak terhubung ke Vdd.

C. Pesan Minimum density of POLY1 area, untuk sementara ini dibiarkan saja seperti apa

adanya.

D. Pesan Minimum PPLUS spacing diperbaiki dengan penambahan PPLUS pada posisi yang

ditunjukkan pada area kerja Layout. Aturan PPLUS ini dapat dilihat pada lampiran.

E. Pesan Missing FIMP layer diperbaiki dengan penambahan FIMP pada posisi yang ditunjukkan

pada area kerja Layout. Aturan FIMP ini dapat dilihat pada lampiran.

F. Pesan Missing NLDD layer diperbaiki dengan penambahan NLDD pada posisi yang

ditunjukkan pada area kerja Layout. Aturan NLDD ini dapat dilihat pada lampiran.

1.3. Tool DRC Rules (Disign Rules Check)

Tool ini merupakan tool khusus yang disediakan oleh mentor graphics. Tool ini bekerja

berdasarkan aturan (rules) teknologi yang digunakan. Fungsi dari pengecekan ini adalah untuk

mengetahui kesalahan dan peringatan yang ditunjukan oleh Icstation bersumber dari file rules

teknologi. Terdapat 2 cara untuk menggunakan DRC, yaitu:

1. Menggunakan DRC(Icrules) yang tersedia pada menu bar Checking

Gambar 8.6. Pengecekan DRC Pada Menu Bar

2. Menggunakan Check yang tersedia pada menu ICrules pada IC Palette, seperti yang

ditunjukan pada gambar7. Cara mengeceknya adalah dengan melakukan drag-mouse pada

area yang ingin dilakukan DRC.

Gambar 8.7.Pengecekan DRC dengan IC Palette D. Kegiatan :

Page 59: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 59

D.1 Latihan dasar Rules

A. Buatlah Layout Metal1 posisi Vertikal dengan panjang 8 µm dan Metal1 dengan panjang 8

µm.! Gunakan aturan berikut

1. Percobaan a Jarak antar metal tersebut 0.45µm. dan percobaan b 0.25µm.

Percobaan A Percobaan B

Gambar:

Hasil DRC:

Gambar:

Hasil DRC:

B. Buatlah NMOS dengan W = 2 µm dan L = 0,35 µm, PMOS dengan nilai yang sama dengan

NMOS. Kemudian letakkan sejajar keduanya dan beri jarak antara kedua transistor 1,5 µm.

Gambar :

Page 60: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 60

4.2. Simulasi Layout A. Tujuan : Mempelajari langkah-langkah simulasi layout

Menguji kinerja layout

B. Kemampuan : Mampu melakukan simulasi layout dan menguji kinerja layout

C. Teori :

1. Simulasi Layout

Simulasi layout ditujukan untuk menguji apakah layout yang dibuat sudah benar sesuai

dengan disain IC yang diharapkan. Layout tidak bisa secaralangsung disimulasikan sehingga

diperlukan proses transformasi bentuk dari layout menjadi suatu library cell. Transformasi

ini dapat dilakukan dengan membuat symbol baru yang mewakili fungsi dan mekanisme

kerja dari layout yang dibuat. Selanjutnya symbol ini diaktifkan di dalam Design Architect

IC yang akan dapat dengan mudah dijadikan object yang disimulasikan.

D. Kegiatan :

D.1. Simulasi Layout

Berikut ini langkah-langkah melakukan simulasi layout

1. Ekstraksi Netlist dari Layout

Sebelum melakukan simulasi Layout, perlu dilakukan ekstraksi Netlistyang terbentuk dari

layout yang telah dijelaskan pada bab sebelumnya. Hasilekstraksi ini merupakan deskripsi Spice

dari layout yang bersangkutan.Untuk melakukan ekstraksi, perlu menekan tombol ICTrace (M)

pada palette IC Palettes.Tombol ini tampak pada gambar 8.8. Kemudian menekan tombol Netlist

pada palette ICtrace (M) seperti tampak pada gambar 8.8.

Gambar 8.8. Tombol ICTrace (M)

Page 61: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 61

Kemudian akan tampil window tentang Write Mask Netlist. Window ini tampak pada gambar

10.Penting untuk tidak dilupakan, harus melakukan penekanan tombol Yes pada bagian Write

Database.

Gambar 8.9. Pengisian Parameter Database Mask Netlist

Selanjutnya melakukan pengisian dan pengaktifan tombol radio terhadap parameter yang

terdapat pada window tersebut menggunakan data-data berikut ini:

File Name = maskdb

Enable Location Probing = Yes

Load Database = Yes

Name = Inverter.cir

Format = HSPICE

System Name = Layout

Substitute Slashes = No

Specify Schematic Source = No

Back Annotate Device Properties = No

Jika sudah lengkap terisi maka selanjutnya menekan tombol OK pada window tersebut. Perlu

diperhatikan pada window log, jika masih terjadi kesalahan maka diperlukan pengulangan

langkah-langkah pengisian parameter agar benar dan sesuai dengan disain yang diinginkan.

Page 62: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 62

Hasil ekstraksi ini tersimpan di dalam file Inverter.cir yang terletak di direktori kerja IC

Station, dalam hal ini dapat dilihat dengan cara menekan menu MGC, memilih dan menekan

pointer Notepad, memilih dan menekan pointer Open, memilih dan menekan Edit.Cara ini juga

ditampilkan pada gambar 8.10.

Gambar 8.10 Menu Editor Notepad dari IC Station

Pada window pesan Select file to edit, perlu penekanan tombol Navigator untuk merujuk ke

file Inverter.cir yang terletak di $TECH_C35B4/default.group/layout.views/Inverter. Window ini

tampak pada gambar 8.11.

Gambar 8.11 Pengisian Lokasi File .cir

Page 63: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 63

Gambar 8.12. Editor Notepad untuk Inverter.cir

Dari gambar 8.12 dapat diketahui bahwa Netlist tersebut dibangun dari rangkaian yang

bernama Inverter yang sesuai dengan nama Layout yang dibuat. Rangkaian ini didefinisikan

diantara pernyataan .subckt dan.ends.Rangkaian ini mengandung 2 transistor m0 dan m1 serta

beberapa nilai kapasitansi parasitik yang dimiliki Layout.Agar dapat melakukan simulasi netlist

ini, diperlu memodifikasi file ini terhadap semua nilai pmos4 menjadi MODP dan nmos4 menjadi

MODN. Disamping itu, perlu juga mengubah nama rangkaian (dalam hal ini Inverter) pada baris

.subckt dan .ends. Misalnya, Inverter diubah menjadi sInverter, huruf ”s”didepannya

menunjukkan bahwa komponen ini adalah suatu symbol.

Ketika dilakukan perbaikan file Inverter.cir dan menyimpannya, dimungkinkan akan

ditampilkan pesan Save Change ...?seperti terlihat pada gambar 8.13. Jika yakin bahwa

pembaharuan isinya sudah benar maka cukup menekan tombol Yes.

Gambar 8.13. Pesan Penyimpanan Perubahan File Inverter.cir

2. Pembuatan Simbol

Pembuatan symbol sInverter dilakukan menggunakan langkah-langkah sebagai berikut :

1. Pengaktifan IC Studio. Hal ini dilakukan dengan menekan mouse kanan pada window

View untuk Cell Inverter yang telah dibuat sebelumnya. Lalu memilih dan menekan

tombol New View seperti terlihat pada gambar 8.13.Cell name diisi dengan Inverter,

memilih View Type pada Symboldan View Name diisi Symbol. Pengisian ini tampak pada

gambar 8.14. Selanjutnya menekan tombol Finish. Kemudian akan tampil layar Design

Architech-IC

Page 64: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 64

Gambar 8.13. Window Pembuatan View Baru

Gambar 8.14. Pengisian Parameter View untuk Symbol

2. Pembuatan skema gambar symbol seperti tampak pada gambar 8.15 dengan memanfaatkan

tombol Add Rectangle dan Pin pada toolbar sisi kiri. Bilamana perlu, dapat digunakan

juga Add Line.

Gambar 8.15: Symbol Inverter

Perlu diingat bahwa nama yang diberikan untuk Pin harus disesuaikandengan file .cir yang

dibuat sebelumnya. Pada contoh .cir pembahasan pada bab sebelumnya digunakan nama pin

Input, VVdd, VVss dan Output.

3. Pengisian parameter symbol. Hal ini dilakukan dengan memilih object kotak (rectangle)

Page 65: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 65

dan menekan mouse kanan, memilih dan menekanproperties lalu menekan Add.Pada

window Add Multiple Properties, perlu dilengkapi dengan beberapa pasangan data

Property Name dan Property Value sebagai berikut :

• ELEMENT : X

• MODEL : sInverter, disesuaikan dengan nama yang sama dengan baris .subckt pada

file Inverter.cir.

• ASIM_PINORDER : Input, VVdd, VVss, Output, disesuaikandengan input - output

pada file Inverter.cir yang dipisah dengantanda koma.Nilai parameter lain dibiarkan

sama seperti nilai asalnya.

Pengisian ini tampak pada gambar 8.17. Selanjutnya menekan tombol OK jika sudah terisi

dengan benar.

Gambar 8.17. Pengisian Property Symbol Inverter

4. Perlu dipastikan bahwa symbol yang dibuat tidak ada kesalahan. Hal ini dilakukan

menggunakan pengujian dengan menekan menu File,memilih dan menekan Check

Symbol. Contoh hasilnya tampak pada gambar 8.18. Selanjutnya tutup window Check

tersebut jika telah selesai memahaminya.

Page 66: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 66

Gambar 8.18 Hasil Pengecekan Symbol

5. Penyimpanan hasil disain symbol dapat dilakukan dengan menekan tombol Save.

4.3. Pembuatan Skema Rangkaian Uji

Skema rangkaian uji digunakan sebagai bahan simulasi dan digunakanuntuk menguji apakah

layout yang diwakili oleh symbol sudah dibuat dengan benar.Hal ini dilakukan dengan

mendisain skema rangkaian melalui Design Architect-IC.Gambar 8.19 merupakan Skematik

rangkaian uji layout.

Gambar 20.Skema Rangkaian Uji Layout

Proses simulasi rangkaian uji layout (inverter) sama dengan proses simulasi skematik seperti

pada pembahasan skematik. Hanya saja terdapat 1 tahap tambahan yaitu penambahan file .cir

layout ke dalam library simulasi dengan cara sebagai berikut:

Pengecekan dan penambahan Include. Hal ini dilakukan denganmenekan tombol

Lib/Temp/Inc. Menekan Include Files.... Pada window Set Include Paths, ditambahkan

isian Include Pathberdasarkan lokasi file Inverter.cir yang dibuat, dalam contoh disini

adalah $TECH_C35B4/default.group/layout.views/Inverter/Inverter.cir. Contoh ini

Page 67: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 67

diperlihatkan pada gambar 8.20. Selanjutnya menekan tombol OK untuk mengaktifkannya.

Gambar 8.20 Penambahan Include Inverter.cir

Page 68: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 68

Bab 5. Desain Layout Lanjut

5.1. Desain Layout Gerbang Logika

A. Tujuan : Membuat Layout Gerbang logika

B. Kemampuan : Mampu Membuat Layout Gerbang logika

C. Teori :

Pada pertemuan kedua akan membahas pembuatan layout dari beberapa gerbang logika.

Gerbang logika seperti yang telah dipelajari yaitu NOT, NAND, AND, OR, NOR, XNOR, dan

XOR. Untuk membuat layout dari masing-masing gerbang logika tersebut, maka mengacu pada

gambar skematik dari masing-masing gerbang logika.

1. NAND

Gerbang logika NAND merupakan gerbang logika yang dapat membentuk gerbang logika

lainnya.Gambar 9.1 merupakan NAND dalam bentuk Simbol dan gambar 2 merupakan skematik

dari gerbang NAND.Pada gambar 2, NAND dibentuk dari 4 Transistor, yaitu 2 PMOS dan 2

NMOS.

Gambar 9.1. Simbol Gerbang Logika NAND

Gambar 9.2. Skematik Gerbang Logika NAND

Page 69: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 69

2. AND

Gerbang logika AND dapat dibentuk dengan menggunakan 2 buah gerbang logika NAND,

seperti pada gambar 6.

Gambar 9.3. Simbol Gerbang Logika AND

3. OR

Gerbang logika OR dapat dibentuk dari Gerbang logika NAND. Terbentuk dari 3 buah NAND

seperti pada gambar 8.

Gambar 9.4. Simbol Gerbang Logika OR

4. NOR

Gerbang logika NOR dapat dibentuk dari Gerbang NAND. Terbentuk dari 4 buah NAND seperti

pada gambar 10.

Gambar 9.5. Simbol Gerbang Logika NOR

Page 70: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 70

5. XOR

Gerbang logika XOR dapat dibentuk dari Gerbang NAND.Terbentuk dari 4 buah NAND seperti

pada gambar 12.

Gambar 9.6. Simbol Gerbang Logika XOR

6. XNOR

Gerbang logika XNOR dapat dibentuk dari Gerbang NAND.Terbentuk dari 5 buah NAND seperti

pada gambar 15.

Gambar 9.7. Simbol Gerbang Logika XNOR

D. Kegiatan :

D.1. Layout Gerbang Logika

Buatlah layout dari masing-masing gerbang logika di atas.

Page 71: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 71

5.2. Desain Layout Counter

A. Tujuan : membuat Layout Counter

B. Kemampuan : Mampu membuat Layout Counter

C. Teori :

Gambar 9.8. Counter Asinkron

Gambar 9.9. Counter Sinkron

D. Kegiatan :

D.1. Studi kasus Desain Counter

Dalam studi kasus counter, skematik counter telah selesai dilakukan dan output dari skematik

telah sesuai dengan apa yang diharapkan. Langkah selanjutnya adalah pembuatan layout dari

skematik D Flip-Flop dan Latch karena counter yang digunakan dalam kasus ini terdiri dari dua

blok rangkaian tersebut.

Page 72: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 72

Gambar 9.10. Skematik D Flip-Flop

Gambar 9.11. Skematik Latch

Page 73: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 73

Rangkaian D Flip Flop terdiri dari 6 transistor PMOS dan 8 transistor NMOS, dengan

masing-masing ukuran W dan L adalah sebagai berikut:

Tabel 1. Ukuran W dan L transistor NMOS dan PMOS untuk D Flip-Flop

NAMA JENIS

TRANSISTOR UKURAN W/L

M1 PMOS 0.4 / 0.35

M2 PMOS 0.4 / 0.35

M3 NMOS 0.4 / 0.35

M4 PMOS 0.4 / 0.35

M5 NMOS 0.4 / 0.35

M6 NMOS 0.4 / 0.35

M7 PMOS 0.4 / 0.35

M8 NMOS 0.4 / 0.35

M9 NMOS 0.4 / 0.35

M10 PMOS 0.4 / 0.35

M11 NMOS 0.4 / 0.35

M12 PMOS 0.4 / 0.35

M13 NMOS 0.4 / 0.35

M14 NMOS 0.4 / 0.35

Gambar 9.12. Layout PMOS dan Lapisan Penutup

PMOS NPLUS

PPLUS

FIMP NTUB

Page 74: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 74

Gambar 9.13. Layout NMOS dan Lapisan Penutup

Pada layout NMOS dan PMOS, masing-masing memiliki lapisan penutup. PMOS lapisan

penutup terdiri dari PPLUS, NPLUS, FIMP, dan NTUB. Lapisan penutup pada NMOS yaitu

NPLUS. Lapisan NPLUS pada PMOS dan NMOS dilapisi juga dengan NLDD. Untuk layout

counter, PMOS dan NMOS dirangkai sesuai dengan skematiknya, dan untuk menghubungkan

antar PMOS dan NMOS yang satu dengan yang lainnya digunakan lapisan yaitu:

- MET1 (Metal 1)

- MET2 (Metal 2)

- Poly1

Seperti yang ditunjukkan pada gambar 9.14 dan gambar 9.15 adalah rancangan untuk layout

counter dan latch, yang antara PMOS dan NMOS saling terhubung.

Gambar 9.14. Layout D Flip-Flop

NMOS

NPLUS

Page 75: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 75

Yang membedakan antara rangkaian Latch dengan D Flip-Flop adalah tegangan

referensinya. Jika pada D Flip-Flop terdapat tegangan referensi yang diberikan oleh transistor

NMOS M14, maka pada Latch tidak terdapat transistor NMOS M14 sebagai tegangan referensi.

Rangkaian Latch terdiri dari 6 transistor PMOS dan 7 transistor NMOS, dengan masing-masing

ukuran W/L adalah:

Tabel 2. Ukuran W dan L transistor NMOS dan PMOS untuk Latch

NAMA JENIS

TRANSISTOR UKURAN W/L

M1 PMOS 0.4 / 0.35

M2 PMOS 0.4 / 0.35

M3 NMOS 0.4 / 0.35

M4 PMOS 0.4 / 0.35

M5 NMOS 0.4 / 0.35

M6 NMOS 0.4 / 0.35

M7 PMOS 0.4 / 0.35

M8 NMOS 0.4 / 0.35

M9 NMOS 0.4 / 0.35

M10 PMOS 0.4 / 0.35

M11 NMOS 0.4 / 0.35

M12 PMOS 0.4 / 0.35

M13 NMOS 0.4 / 0.35

Gambar 9.15. Layout Latch

Page 76: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 76

Antara lapisan MET1, MET2, dan Poly1 agar saling terhubung harus menggunakan

konektor yaitu GB-Path, GB-Shape, Via-Point, dan Via-Shape. Pilih salah satu konektor dari

keempat konektor tersebut, dan sesuaikan ukurannya. Sebagai contoh, untuk menghubungkan

antara Poly1 dengan Metal1 gunakan konektor GB-Path dan ukurannya 0.8 µm.

Gambar 9.16. Interconnect GP-Path

D.2. Variasi rancangan layout untuk D Flip-Flop!

Gambar

P1M1 P2M2

M1M2 M2M3

M3M4

Page 77: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 77

D.3. Variasi rangcangan layout untuk Latch!

Gambar

5.3. Desain Layout Op-Amp

A. Tujuan : Membuat layout OP-Amp

B. Kemampuan : Mampu Membuat Layout OP-Amp

C.Teori :

Untuk mendesain Layout OpAmp, terlebih dahulu harus dipahami tentang layout PMOS, NMOS

dan Kapasitor. Hal ini disebabkan karena desain OpAmp terdiri atas komponen tersebut. OpAmp

terdiri atas komponen Differensial, sumber arus, arus cermin dan buffer. Blok diagram OpAmp

dua stage diberikan seperti pada gambar dibawah :

Page 78: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 78

Gambar 9.16. Layout Op-AMP

Desain skematik telah dibuat sebelumnya dan sudah disimulasikan, sehingga hasil skematik

OpAmp sudah teruji kebenarannya. Pengujian meliputi pengujian Open Loop Gain, Close Loop

Gain, Voltage Swing, BandWidth dan CMR.

D. Kegiatan :

D.1. Desain Layout Op-Amp

Desainlah layout berdasar pada desain skematik. Dengan metode yang sama dengan desain layout

sebelumnya, sehingga didapatkan hasil layout opamp seperti pada gambar dibawah

Gambar 9.17. Layout Latch

Page 79: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 79

5.4. Desain Layout Komparator

A. Tujuan : Membuat layout Komparator

B. Kemampuann : Mampu membuat layout komparator

C. Teori :

Gambar 9.18. Rangkaian Komparator Dinamis

D. Kegiatan :

D.1. Desain Layout Komparator

Desain layout menggunakan software mentor graphic dengan teknologi AMS 0,35 Proses

CMOS. Untuk membuat layout tergantung pada variasi atau kreativitas masing-masing desainer.

Namun, teknologi ini memiliki beberapa aturan untuk mengurangi kesalahan desainer sehingga

memudahkan untuk proses fabrikasi. Kebutuhan untuk merancang komponen dibutuhkan

beberapa hal. Nilai W dan L yang digunakan untuk merujuk pada tata letak skema transistor.

Berikut adalah langkah-langkah untuk membuat transistor pada tata letak:

1. Aktivasi lapisan tata letak. Hal ini dilakukan dengan menekan LP Tampilkan menu untuk

menampilkan berbagai lapisan yang diperlukan dalam desain tata letak.

Gambar 9.19. Tampilan LP user

Page 80: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 80

2. Penyajian menu tata letak fasilitas manufaktur. Hal ini dilakukan dengan menekan menu

Utilities HIT-Kit kemudian tekan Devices AMS.

Gambar 9.20 AMS Device Menu

3. Penyediaan komponen tata letak dengan menekan MOS PMOS

Gambar 9.21 MOS Tombol

4. Dalam jendela ini, ada komponen PMOS dan NMOS dengan memilih pmos4 dan nmos4. Nilai

diisi pada menu lebar W dan L panjang diisi pada menu.

Gambar 9.22 Isi Parameter MOS

Page 81: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 81

5. Hubungan antara komponen menggunakan MET1 dengan ukuran lebar 0,5 m. MET1

menghubungkan sumber pmos4 ke VDD dan tiriskan nmos4 ke dasar. Hal ini dilakukan

dengan menekan tombol mouse kanan pada area kosong dalam tata letak ruang kerja, dan

kemudian tekan SHAPE ADD.

Gambar 9.22 Tambah Shape menu

6. Jendela dialog muncul di sisi bawah, dilakukan penekanan tombol Options.

Gambar 9.22 Opsi pada PATH ADD

7. Untuk mendapatkan MET1, dapat dilakukan dengan menekan MET1 lalu pilih satu lapisan

dan isi 0,5 lebar untuk mengatur lebar MET1. Sedangkan untuk memilih poli, dengan menekan

dan mengisi poly1 00:35 lebar. Jika menggunakan MET2, mengisi 0,6 lebar.

Gambar 9.23 Lapisan Seleksi Jendela Tata Letak

Page 82: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 82

8. MET1 dan poly1 berhubungan dengan kontak tersebut sehingga keduanya dapat dihubungkan.

Hal ini dilakukan dengan menekan Utilities HIT Kit, maka AMS Interconnect

Gambar 9.24 AMS Interconnect

Menekan GB-Shape, datang jendela berikut. Jika Anda ingin menghubungkan poly1

dengan MET1, dengan memilih p1m1. Jika Anda ingin terhubung dengan MET2 MET1, menekan

m1m2. Untuk menentukan lebar kontak yang dikehendaki, mengisi kotak lebar.

Gambar 9.25: GB-Shape Jendela

Berikut adalah p1m1 tampilan kontak dan m1m2:

Gambar 9.26: (A) Kontak p1m1 (b) Kontak m1m2

Page 83: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 83

Rangkaian komparator dinamis terdiri dari 32 bagian PMOS dan NMOS 34 bagian. Untuk

desain layout komparator dinamis menggunakan PMOS ukuran L = 0.35μm W = 2.1μm, dan

NMOS ukuran L = 0.35μm W = 2.1μm & 6.7μm. Ada tiga pin input sinyal dan dua pin output

sinyal pada unit komparator dinamis. Luas unit komparator dinamis adalah 2492.4μm ², setara

dengan 80.4μm × 31μm

Gambar 9.27: PMOS L=0.35𝜇𝑚 W=2.1𝜇𝑚.

Gambar 9.28: NMOS L=0.35𝜇𝑚 W=2.1𝜇𝑚.

Gambar 9.29 NMOS L=0.35𝜇𝑚 W=6.7𝜇𝑚.

Page 84: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 84

Gambar 9.30 : Dynamic Comparator Layout Area.

Pembuatan layout komparator ini berbasis skematik. Setelah dibuat skematik,selanjutnya

dilakukan pemeriksaan LVS (Layout vs Schematic).Kemudian melihat apakah cocok antara

skematik dan layout. Daerah layout pembanding dinamis adalah 2492.4μm ², setara dengan 80,4

pM × 31 pM.

Gambar 9.31: Layout Result of Dynamic Comparator.

Gambar 9.32:: Dynamic Comparator Layout DRC Rule Check.

Ada 112 kesalahan setelah memeriksa DRC Rule, tapi itu tidak masalah karena kesalahan hanya

peringatan yang dapat ditoleransi. Proses simulasi rangkaian komparator dinamis menggunakan

Mentor Graphics software dengan teknologi CMOS 0.35μm.

Page 85: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 85

Gambar 9.32. INN & INP Force

Simulasi rangkaian komparator dinamis diberikan tegangan input INN sebesar 0V sampai

3.3V dan 1.65V DC tegangan pada input tegangan INP sebagai tegangan referensi komparator.

Tegangan input INN adalah gelombang sinusoidal, diberikan penundaan sebesar -180ns, dan

frekuensi 4166666.667Hz.

Gambar 9.32. Clock Comparator Force.

Dalam simulasi ini komparator dinamis diberikan clock 100MHz dengan tegangan 0V

sampai 3.3V, periode clock1 × 10−8𝑠 dan lebar pulsa clock5 × 10−9𝑠.

Page 86: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 86

Gambar 9.33. Sinyal Rangkaian komparator Dinamis.

Ketika tegangan input INP lebih besar dari tegangan input INN, output high aktif dengan

bentuk output sinyal pulsa sebagai clock, tetapi fase yang berbeda 180 º, sedangkan output low

tidak aktif atau bernilai 0V. Meningkatkan nilai tegangan diterapkan pada INN maka tidak ada

perubahan hasil perbandingan. Ketika nilai tegangan input INP lebih rendah dari tegangan input

INN, output high tidak aktif dengan sinyal 0V. Ketika output rendah, bentuk pulsa mengikuti clock

diberikan pembanding, tetapi fase yang berbeda 180 º. Pada saat perpindahan ini disebut tegangan

set-point, ketika input tegangan INN adalah sama dengan tegangan input INP. Nilai idealnya

terletak di pusat dari tegangan yang diterapkan VDD (3.3V), sehingga nilai tegangan setpoint

adalah 1/2 Vdd = 1.65V. Perpindahan dari konversi atau tegangan set point sesuai di 1.65V dan

tidak ada pergeseran tegangan setpoint. Tegangan setpoint di 1.65V dalam praktek sudah sesuai

dengan teori bahwa setengah VDD.

Page 87: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 87

Bab 6. Verifikasi IC

6.1. Pengenalan Verifikasi IC

A. Tujuan : Melakukan verifikasi IC

B. Kemampuan : Mampu Melakukan verifikasi IC pada layout

C. Teori :

1. Konsep Text

Sebelum memulai melakukan verifikasi IC, diperlukan penambahan teks label yang

berfungsi sebagai label dari masing-masing port yang ada. Berikut ini adalah tabel layer yang

digunakan untuk penamaan port:

Tabel 1. Tabel layer untuk Label

Layer structure that represents the port Label for port recognition on layer

POLY1 P1PIN

MET1 M1PIN

MET2 M2PIN

MET3 M3PIN

MET4 M4PIN

PAD PADPIN

Cara memberikan penamaan pada port adalah dengan menggunakan alat (tool) text dengan

menekan tombol menu Objects→ Add → Text

2. ICrules - Interactive DRC

ICrules - Interactive DRC merupakan kelanjutan dari proses DRC yang terlah dijelaskan pada

pembahasan sebelumnya. ICrules - Interactive DRC ini dapat diakses dengan menekan Icrules-

>Check. Fungsi dari bagian ini masih sama yaitu untuk mengecek desain dari layout dan juga

geometri layout yang disesuaikan dengan aturan teknologi yang digunakan.

Secara default pengecekan DRC berisi pengecekan elektrikal atau disebut dengan Elecetrical

Rule Check(ERC_Check). ERC dapat diabaikan dalam pengecekan karena hanya berupa

informasi peringatan(warning). Oleh karena itu ERC dapat dinon-aktifkan dengan menekan

tombol ICrules->Select->Checks dan memilih kelompok ERC_Check untuk dihapuskan /

dinon-aktifkan dari proses DRC. Tidak hanya ERC_Check saja yang dapat dinon-aktifkan,

terdapat beberapa kelompok yang bisa dinon-aktifkan untuk memperingan proses DRC dan

kelompok-kelompok ini juga dapat diabaikan dalam proses DRC. Berikut ini adalah kelompok-

Page 88: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 88

kelompok tersebut.

Tabel 2. Tabel Kelompok DRC di Non-aktifkan

Kelompok Penjelasan

ERC_CHECKS

Kelompok yang berkaitan dengan semua pengecekan

aturan elektrik(electrical rule checks)

INFO Kelompok yang berisi mengenai informasi dan bukan

merupakan aturan desain (design rule) dari teknologi.

COVERAGE Kelompok yang berisi semua pengecekan untuk

pencakupan (luas area) poly dan metal.

RECOMMENDATIO

N

Kelompok yang berisi semua pengecekan untuk

memberikan rekomendasi.

HOLECHECK_ALL Kelompok yang berisi semua aturan pengecekan

mengenai lubang (terputus/terpotong) metal.

HOLECHECK: Kelompok bagian dari Holecheck_all. Berisi

pengecekan metal yang hilang dalam desain.

GENLAY Kelompok yang berkaitan dengan pengecekan lapisan

pembungkus yang hilang.

SHORTED_PADS: Kelompok yang berisi pengecekan tetangkorsleting

input dan output pads (shorted IO-Pads). Perbaikan label

dibutuhkan untuk pengecekan ini.

ELEMENTS Kelompok yang berisi dengan pengecekan spesial.

LEAK_CHECK Kelompok yang berisi pengecekan khusus untuk

teknologi (H35)

TOP_LEVEL_CHEC

KS

Kelompok yang berisi pengecekan yang hanya

dibutuhkan untuk top level checking.

Pada pengecekan DRC akan didapatkan hasil seperti 'ILL_FLOATING_NET_ERC' dan

'ILL_MET1_NOT_VIA_CONT_ERC'. Hasil tersebut kesalahan di periphery cells untuk metal 1

ring pada bagian tepi luar yang digunakan sebagai guideline untuk scribeline. Kesalahan yang

lainnya berkaitan dengan metal holes pada power pads dari teknologi AMS standard cell libraries

dapat diabaikan. Perlu diingat hasil dari akhir dari DRC adalah pengecekan keseluruhan

Page 89: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 89

Gambar 10.1. Memilih DRC check

3. Mask Layer Generation

Merupakan proses penambahan lapisan pembungkus. Lapisan tersebut adalah NLDD (N-LDD

Implant Layer), NLDD50 (5V N-LDD Implant Layer), FIMP (N-Field Implant Mask), NPLUS

(Arsenic Mask), NBUR (Buried Layer Mask, untuk BiCMOS).Pada teknologi 0,35mm lapisan

pembungkus yang wajib adalah NLDD dan FIMP.Untuk NLDD digunakan untuk membungkus

NMOS dan NPLUS.Sedangkan FIMP untuk membungkus PMOS dan PPLUS. Pada hasil proses

DRC kedua lapisan ini selalu dinyatakan missing, artinya NLDD dan FIMP pada layout belum

ada. Cara menambahkan lapisan ini ada dua cara. Yang pertama adalah cara manual yaitu

menambahkan satu persatu pada setiap area yang ditunjukkan. Yang kedua adalah cara otomatis

yaitu dengan menggunakan menu create mask layer. Caranya adalah Hit-Kit Utilities → Generated

Layers, gambar 10.2 merupakan cara membuat mask layer.

Gambar 10.2 Menambah Lapisan Pembungkus

4. Antenna Rule Check

Merupakan pengecekan spesial dari aturan desain, pengecekan ini tidak bisa diabaikan dan

Page 90: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 90

harus diperbaiki.Biasanya antenna-rule digunakan pada metal 1 yang lebarnya kecil dan panjang.

Solusinya adalah mengganti dengan metal 2 yang lebih lebar dibandingkan metal 1. Untuk

pengecekannya dapat dilakukan dengan caraHit-Kit Utilities→ Antenna Check.

5. LVS (Layout Versus Schematic)

Layout Vesus Schematic merupakan cara menguji dan mencocokan layout dengan skema

rangkaian pada proses skematik. Pencocokan yang dilakukan pada tahap ini adalah

membandingkan jumlah dan hubungan jalur rangkaian serta jumlah komponen transistor. Kondisi

dalam LVS dikenal dengan istilah “Matched” untuk kecocokan dan “unmacthed” untuk

ketidakcocokan. Untuk menggunakan LVS dapat menekan tombol LVS seperti pada gambar 10.3.

Gambar 10.3 IC Trace (M)

Penjelasan Gambar 3sebagai berikut

a. Tombol back, digunakan untuk kembali ke bagian sebelumnya (top).

b. Load Rules, digunakan untuk mengambil file rules yang akan digunakan.

c. LVS, digunakan untuk melakukan LVS.

d. Netlist, digunakan untuk membuat file simulasi (.cir).

e. Cnet

f. Database, Digunakan untuk mengambil kembali database dari proses LVS.

Page 91: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 91

g. logic, digunakan untuk membuka dan menutup file skematik.

h. Viewpoint, digunakan untuk mengambil file view point.

Fungsi scan

a. Discraps, digunakan untuk mengecek bagian yang mengalami perpotongan

b. Nets, digunakan untuk mengecek jalur.

c. Devices, digunakan untuk mengecek device.

d. Show, digunakan untuk menampilkan pada posisi tertentu setelah proses LVS.

e. Unshow, digunakan untuk menghapus hasil tampilan pada posisi tertentu.

f. View, digunakan untuk posisi tertentu.

g. report, digunakan untuk menampilkan / melihat hasil lvs.

h. Setup, digunakan untuk mengatur pengecekan LVS.

D. Kegiatan:

D.1. Tahap-tahap LVS

1. Membuka jendela LVS dengan mengakses melalui IC Pallets →ICTrace(M) → LVS.

Tampilan gambar 4 adalah jendela LVS

2. Mengambil sumber file viewpoint skematik sebagai acuan dalam membandingkan

skematik dengan layout. Untuk mengambil sumber file viewpoint dengan menekan tombol

“browse” dan mengarahkannya ke path viewpoint skematik yang diinginkan seperti pada

gambar 4.

Gambar 10.4 Proses LVS 1

3. Tahap LVS secara sederhana hanya sampai dengan mengambil file viewpoint skematik

kemudian menekan tombol “OK” untuk melakukan LVS seperti pada gambar 10.5

Page 92: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 92

Gambar 10.5. Proses LVS 2

4. Melihat laporan dari hasil LVS (Report) dengan cara menekan report → LVS. Gambar

6 merupakan hasil LVS. Terdapat dua status dalam hasil laporan LVS, pertama adalah

corret dan incorret.

Gambar 10.6. Proses LVS 2

5. Mengecek jalur dengan menggunakan tombol “Nets” untuk mengecek jalur rangkaian.

Gambar 7 merupakan tombol nets.

Gambar 10. 7. Nets

Terdapat tiga kondisi pada pengecekan nets.

Page 93: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 93

a. First, berfungsi untuk mengecek kondisi pertama jalur rangkaian

b. Next, berfungsi untuk mengecek ke kondisi berikutnya

c. Previous, Berfungsi untuk mengecek ke kondisi sebelumnya

6. Mengecek Jumlah komponen yang digunakan dapat menggunakan tombol “Device”

seperti pada gambar 8.

.

Gambar 10. 8. Devices

Terdapat tiga kondisi pada pengecekan device

a. First, berfungsi untuk mengecek kondisi pertama jalur rangkaian

b. Next, berfungsi untuk mengecek ke kondisi berikutnya

c. Previous, Berfungsi untuk mengecek ke kondisi sebelumnya.

7. Penjelasan Hasil Laporan LVS

a. Informasi hasil perbandingan, merupakan kesimpulan hasil dari perbandingan antara

layout dengan skematik. Hasil perbandingan ini dinyatakan dalam status correct dan

incorrect. Jika correct maka layout dinyatakan benar namun jika incorrect layout masih

harus diperbaiki kembali.

b. Jumlah koneksi dan komponen

c. Property Errors, merupakan informasi perbedaan ukuran nilai dari komponen transistor (w

dan l) antara layout dengan skematik. Disajikan dalam persentase, jika nilai persentasenya

kecil artinya mendekati ukuran skematik. Namun jika persentasenya besar (lebih dari 15%)

maka tidak sesuai dengan skematik.

d. Incorrect Substrat Error, merupakan informasi kesalahan koneksi dari substrat (Bulk)

e. LVS parameter, merupakan informasi parameter yang digunakan untuk melakukan LVS

f. Information and warning, berisi informasi dan peringatan yang harus diperhatikan.

D2. Latihan Verifikasi IC

1. Lakukan Verifikasi IC terhadap salah satu Layout yang telah anda buat (Counter, Op-amp,

Comparator, Mixed Signal).

Page 94: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 94

Hasil Verifikasi Sebelum Perbaikan:

Hasil Verifikasi Setelah Perbaikan:

Page 95: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 95

Bab 7. Finishing

7.1 Pengenalan Finisihing IC

A. Tujuan : Membuat PADS IC

B. Kemampuan : Mampu Membuat PADS IC

C. Teori :

1. Floorplan

Proses dari floorplan adalah floorplanning yang merupakan proses dari membuat dan

memperkirakan luas area dari chip yang akan digunakan untuk standart cell / pads pada desain

layout.

2. PADS

Merupakan sekumpulan pin-pin yang akan dijadikan penghubung dari luar IC dengan bagian

dalam IC atau disebut juga kaki-kaki dari IC. Di dalam PADS berisi rangkaian tertentu.Pads terdiri

dari dua jenis, yang pertama adalah PADS untuk Digital.Kemudian yang kedua PADS untuk

Analog dan sinyal campuran (Mixed signal).Tabel 4.1 merupakan PADS yang digunakan dalam

layout dalam bentuk library.

D. Kegiatan :

D.1.Tahap-Tahap Floorplan

Tahap-tahap membuat floorplan adalah sebagai berikut:

1. Menekan tombol “plan & place” pada Icassemble.

2. Menekan tombol “autofp”. Pada layar autofp ini kemudian menekan tombol “External Row

Attributes”. Pada layar seperti gambar 1 mengisi 4 bagian atau 4 sisi IC (bentuk IC persegi).

Mengisikan nilai “site type” pada 4 bagian teserbut. Untuk nilai “site type” mengacu pada table

4.1.

Tabel 4.1 Tabel Library Cell

Nomer site Nama Library 10 IOLIB_3/4M 11 IOLIB_ANA_3/4M 12 IOLIB_3B_3/4M 13 IOLIB_ANA_3B_3/4M 14 IOLIB_HV_3/4M, IOLIB_ANA_HV_3/4M 20 IOLIBC_3/4M 22 IOLIBC_3B_3/4M, IOLIBC_ANA_3B_3/4M

Page 96: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 96

Gambar 11.1 Pengaturan Floorplan

Nilai-nilai pada tabel tersebut adalah nilai untuk bagian digital dan sinyal gabungan (mixed signal). Sebagai

contoh 2 sisi digital dan 2 sisi analog. Maka pengaturannya adalah top = 10, left = 10, bottom = 11, dan

right = 11. Artinya sisi atas dan sisi kiri adalah diperuntukkan layout digital (IOLIB_3B_4M) dan sisi bawah

dan sisi kanan adalah analog (IOLIB_ANA_3B_4M).Untuk orentasi hanyalah masalah posisi saja.

3. Jika sudah, menekan tombol ok. Maka hasil dari autofloorplan adalah seperti pada gambar2 dengan

luas 3 mm x 3mm.

Gambar 11.2. Hasil Autofloorplan

D.2.Komponen PADS

Berikut ini adalah cara komponen PADS.

1. Digital Pads

Page 97: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 97

Untuk digital PADS terdapat tiga jenis library. Yang pertama adalah IOLIB_3B_4M,

IOLIBC_3B_4M dan IOLIB_4M.

2. Analog dan sinyal campuran(Mixed Signal)

Untuk digital PADS terdapat tiga jenis library. Yang pertama adalah IOLIB_ANA_3B_4M,

IOLIBC_ANA_3B_4M dan IOLIB_ANA_4M.

Perlu diingat untuk penggunaan dari keduanya harus sesuai dengan library yang sama. Misalnya pada

Digital menggunakan IOLIB_3B_4M maka pada Analog menggunakan IOLIB_ANA_3B_4M. Jika

Analog menggunakan IOLIB_ANA_4M ukuran dari pads akan berbeda dan menyebabkan terjadinya

kesalahan(error).

Contoh Penggunaan PADS

Berikut ini adalah contoh menggunakan PADSdengan 64 pin (16x4 pin).

1. Sisi atas dan sisi kiri untuk layout Digital, sisi bawah dan sisi kanan untuk analog.

2. Membuat IC dari bentuk PADS. Dengan cara menekan tombol menu Object → Add → cell,

gambar 3 cara mengambil library cell

Gambar 11.3 Mengambil PADS dari Library Cell

Untuk Digital diperlukan PADS IO, Corner, VDD, GND, dan VSS, maka mengambil cell dari

IOLIB_4M. Cell untuk “IO“ yang diambil adalah ITUP_3B, untuk corner diambil adalah

CORNERRP_3B, untuk VDD diambil cell VDD3ALLP_3B, untuk GND diambil cell

GND3ALLP_3B, dan untuk VSS diambil cell VSUBP_3B.

Untuk Digital diperlukan PADS IO, VDD, GND, dan VSS, maka mengambil cell dari

IOLIB_ANA_4M. Cell untuk “IO“ yang diambil adalah APRIOP_3B, untuk VDD diambil

cell AVDD3ALLP_3B, untuk GND diambil cell AGND3ALLP_3B, dan untuk VSS diambil

cell AVSUBP_3B.

3. Merangkai dan membentuk seperti IC. Dalam merangkai terdapat dua cara. Yang pertama adalah

menggunakan jarak antar PADS dengan menggunakan Spasi (PERI_SPACER). Dan yang kedua

Page 98: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 98

tanpa menggunakan Spasi (PERI_SPACER). Untuk merangkai ada baiknya menggunakan fungsi

“flatten”, dikarenakan isi dari PADS adalah rangkaian. Jika rangkaian antara PADS satu dengan

lainnya tidak terhubung terutama jalur VDD dalam PADS akan mengakibatkan PADS tersebut

tidak dapat berfungsi.Gambar 4. adalah penerapan PADS dengan spasi antar PADS dan gambar 5.

penerapan PADS tanpa spasi.

Gambar 11.4.PADS dengan Spasi Gambar 11.5. PADS Tanpa Spasi

4. Gambar11.6. Hasil dari PADS 64 Pin.

Gambar 11.6. Hasil Pembentukan PADS 64 Pin

5. Selanjutnya menyalin (Copy) layout ke dalam SOC dan menghubungkan layout ke masing-masing

kaki-kaki (PADS) sesuai dengan jenisnya. Hasil akhir adalah seperti gambar 7 dengan sudah

ditutup dengan Metal 4 sebagai Lapisan Penutup dari IC.

Page 99: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 99

Gambar 11.7. Hasil Akhir dari SOC

D.3. latihan soc 1. Buatlah SOC dari Layout yang telah anda buat dengan PIN 40.!

SOC 40 Pin

Page 100: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 100

Bab 8. Pabrikasi

8.1. Proses Pabrikasi

A. Tujuan : Memahami dan mengenal proses pabrikasi

B. Kemampuan : Mampu mengenal proses pabrikasi

C. Teori :

Setelah semua tahap-tahap merancang telah dibuat, maka proses selanjutnya adalah Proses

pabrikasi. Proses Pabrikasi merupakan proses akhir dari desain Chip.

D. Kegiatan :

D. Langkah-langkah Pabrikasi

1. Mengubah file layout ke dalam file GDSII(.gds). Cara merubah kedalam bentuk GDSII

dengan menekan tombol pada ICStudio, File → Export → GDSII. Gambar 1 merupakan

cara merubah ke file GDSII. Hasil dari konversi adalah sebuah file berformat

nama_project.gds.

Gambar 12.1. Konversi GDSII

2. Mengisi formulir pengajuan pabrikasi. Untuk mengisi formulir pengajuan pabrikasi seperti

pada gambar.2. Formulir ini disertakan bersamaan dengan pengiriman file. Dalam

pengisian formulir perlu diperhatikan sebagai berikut

kode jadwal pabrikasi (CMP_RUN), untuk melihat kode jadwal pabrikasi dapat

melihatnya di “http://cmp.imag.fr/”. Pada menu Product -> memilih jadwal

(Schedule). Gambar 2 Jadwal tahun 2014 dan kode produksi untuk C35B4C3

Page 101: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 101

Gambar 12.2. Konversi GDSII

Nama file (TOP_CELL), adalah nama dari file GDSII yang telah terbentuk

Proses yang digunakan (PROCESS), adalah tipe proses dari teknologi (misalkan

C35B4C3)

Libray pads yang digunakan (LIBRARY CELL). Jika menggunakan sinyal

campuran maka sertakan library untuk sinyal campuran. Misalkan

IOLIB_ANA_3B_4M.

Bentuk dari Formulir pabrikasi dapat dilihat pada akhir bab ini.

3. Melakukan pengunggahan file GDSII ke website dari pabrikan. Berikut ini adalah tahap-

tahap mengunggah file

Mengakses website “http://cmp.imag.fr/customers/identification.php”. Memasukkan

login dan pasword. Gambar 3 adalah halaman website cmp untuk pelanggannya.

Gambar 12.3. Halaman Web CMP Khusus Untuk Pelanggan

Page 102: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 102

Pada halaman selanjutnya menekan menu “upload” kemudian memasukkan file GDSII

yang akan dikirim. Jika terdapat kondisi seperti gambar Gambar 4. Maka diperlukan

request terlebih dahulu barulah bisa mengunggah kembali. Setelah file GDSII

terunggah maka berikutknya mengunggah formulir pabrikasi.

Gambar 12.4. Halaman Unggah File (Upload) GDSII dan Formulir

Untuk informasi proses pabrikasi dapat melihanya di menu “Myruns” seperti pada

gambar 12.5. Dalam menu tersebut terdapat informasi dari file akan diproses.

Gambar 12.5. Informasi Hasil Pengiriman dan Proses Pabrikasi

Page 103: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 103

Page 104: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 104

Page 105: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 105

D.2. Latihan proses pabrikasi

1. Buatlah file GDSII dari SOC yang telah dibuat!

2. Isilah formulir untuk pabrikasi!

Page 106: TIM PENYUSUNrobby_kurniawan.staff.gunadarma.ac.id/Downloads/files/... · Inverter. Untuk membangun Rangkaian inverter atau dalam simbol gerbang logika dasar disebut dengan gerbang

Pusat Studi Mikroelektronika Dan Pengolahan Citra – Universitas Gunadarma Page 106

DAFTAR PUSTAKA

[1] Kurniawan, R. and Prasetyo, E., 2016. Konsep dan Metodologi Desain Analog CHIP-

Berbasiskan Teknologi disertai Penggunaan Tool.

[2] Wibowo, E.P., Disain Skematik, Layout dan Simulasi dengan Menggunakan Perangkat Lunak

Mentor GraphicsT M.

[3] Harahap, R.K., Prasetyo, E., Heruseto, B. and Afandi, H., 2015, December. Design analog

layout using schematic-driven eda tools. In 2015 International Conference on Electrical,

Electronics and Mechatronics. Atlantis Press.

[4] Bhatti, M.K., Minhas, A.A., Najam-ul-Islam, M., Bhatti, M.A., Haque, Z.U. and Khan, S.A.,

2012, August. Curriculum design using mentor graphics higher education program (hep) for

asic designing from synthesizable hdl to gdsii. In Proceedings of IEEE International

Conference on Teaching, Assessment, and Learning for Engineering (TALE) 2012 (pp. W1D-

1). IEEE.

[5] Baker, R.J., 2010. CMOS: Circuit Design, Layout, and Simulation.

[6] Nelson, V.P., 2015. Computer-Aided Design of ASICs Concept to Silicon.

[7] Wang, L.T., Chang, Y.W. and Cheng, K.T.T. eds., 2009. Electronic design automation:

synthesis, verification, and test. Morgan Kaufmann.

[8] Graphics, M., 2012. Modelsim-advanced simulation and debugging.

[9] Station, I.C. and Station, D.S.P., 2006, Mentor Graphics. San Jose, California.

[10] URL : http://cmosedu.com/cmos1/mentor/mentor.htm., diakses 20 juni 2017