perbaikan kinerja probe 4 titik melalui pelapisan perak...

THE 5TH URECOL PROCEEDING 18 February 2017 UAD, Yogyakarta

ii

Prosiding The 5th University Research ColloquiumCinta NegerikuYogyakarta, 18 Februari 2017© 2017 Universitas Ahmad DahlanEditor:Agus Ulinuha, Universitas Muhammadiyah Surakarta, SurakartaWidodo, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaHilman Latief, Universitas Muhammadiyah Yogyakarta, YogyakartaDjoko Sigit Sayoga, Universitas Muhammadiyah Malang, MalangHeru Supriyono, Universitas Muhammadiyah Surakarta, SurakartaAnton Yudhana, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaRully Charitas Indra Prahmana, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaSuyatno, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaJazaul Ikhsan, Universitas Muhammadiyah Yogyakarta, YogyakartaSudarisman, Universitas Muhammadiyah Yogyakarta, YogyakartaIhyaul Ulum, Universitas Muhammadiyah Malang, MalangKoordinator:Bidang MIPA : Moh. Toifur, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Kesehatan : Nurkhasanah, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Pendidikan : Dwi Sulisworo, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Humaniora : Rina Ratih Sri Sudaryani, Universitas Ahmad DahlanBidang Agama : Rika Astari, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Sosial Ekonomi : Aftoni Susanto, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Psikologi : Triantoro Safaria, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaBidang Teknik & Rekayasa : Rusydi Umar, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaStaff IT:Fradika Indrawan, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaCover:Fariz Setyawan, Universitas Ahmad Dahlan, YogyakartaDiterbitkan oleh:Universitas Ahmad Dahlan (UAD) PressJl. Gondosuli No.1, Semaki, Umbulharjo, Kota Yogyakarta, Daerah Istimewa Yogyakarta 55165,email: [email protected] online di:http://lpp.uad.ac.id/prosiding-urecol-2017- Seluruh isi dan konten setiap artikel menjadi tanggung jawab masing-masing penulis -


iii

KATA PENGANTAR

BISSMILLAAHIRRAHMANIRRAHIM

ASSALAMU’ALAIKUM WR.WB.

Puji syukur kami panjatkan kehadirat Ilahi Robbi, karena hanya dengan taufiq-Nya, kami dapat menyelesaikan penyusunan prossiding makalah-makalah yangdisampaikan pada Seminar University Research Colloqium (URECOL) ke-5 “CintaNegeriku”. Kami menyadari bahwa penerbitan prossiding ini sangat dinantikan olehpara pemakalah yang sangat bergairah dalam mengikuti kegiatan Seminar UniversityResearch Colloqium (URECOL) ke-5 pada tanggal 18 Februari 2017 di Kampus 1Universitas Ahmad Dahlan Yogyakarta.

Kami juga bersyukur bahwa kegiatan seminar ini mendapat dukungansepenuhnya dari Universitas, para narasumber utama dan seluruh pemakalah, sertapeserta kegiatan ini. Prosiding ini memuat 307 makalah penelitian dan pengabdiandalam bidang MIPA, kesehatan, pendidikan, humaniora, agama, sosial ekonomi,psikologi, teknik dan rekayasa.

Akhirnya kami menyampaikan terima kasih kepada semua pihak yang telahberjasa pada kegiatan seminar dan penyusunan prossiding. Demikian, semoga dengansampainya prossiding ini ditangan para pemakalah dan pembaca pada umumnyaselesai pula tanggung jawab kami dalam menyelenggarakan Seminar UniversityResearch Colloqium (URECOL) ke-5 dengan segala keterbatasannya. Akhirnyahanya kepada Allah SWT kita memohon pertolongan.

WABILLAHITT TAUFIQ WAL HIDAYAH

WASSALAMU’ALAIKUM WR.WB.

Yogyakarta, 18 Februari 2017

Ketua Pelaksana

Dr. Surahma Asti Mulasari, S.Si.,M.Kes.

vi

DAFTAR ISI

COVER ................................ ................................ ................................ ........ iTIM PROSIDING ............................................................................................................. iiKATA PENGANTAR ................................ ................................ ................. iiiDAFTAR ISI ................................ ................................ ............................... iv

DAFTAR MAKALAH

PENGARUH KELAS ASI TERHADAP PENGETAHUAN DAN SIKAP KADERKESEHATAN DI DUSUN KARANGBENDO, BANGUNTAPANLina Handayani, Aprilia Rahmadani, Azidanti Saufi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

DIVERSIFIKASI PRODUK MAKANAN BERBAHAN DASAR NATA: KERUPUKNATAAsep Rustiawan ............................................................................................................................. .................. 9

EFISIENSI DAYA SAING UNTUK SEKTOR UNGGULAN JAWA TENGAHDaryono Soebagyo, Erma Setyowati, Maulidyah Indira Hasmarini ................................................................13

PENINGKATAN DAYA JUAL PERINSANG SEBAGAI PRODUK KHASKABUPATEN LOMBOKIfta Firdausa Nuzula, Hafizatun Asnaini ....................................................................................................... . 26

ANALISIS KELAYAKAN SISTEM TERHADAP SISTEM SURVEILANS TB-HIVSPASIAL ONLINENoor Alis Setiyadi, Dahroni, M. Amin Sunarhadi, Bhisma Murti, Endang Sutisna Sulaeman ...................... 31

ANALISIS POTENSI DAN KERAWANAN BANJIR DI DAS BENGAWAN SOLOHULU DAN TENGAHAlif Noor Anna, Kuswaji Dwi Priyono, Suharjo, Yuli Priyana ...................................................................... 39

AKTIVITAS ANTIINFLAMASI DARI KOMBINASI IKAN GABUS (Channa striata)DAN EKSTRAK ETANOL BUAH PARE (Momordica charantia L.) TERHADAPTIKUS WISTAR JANTAN YANG DIINDUKSI KARAGINANMuhtadi, Lita Windy Ariyati ......................................................................................................................... . 50

FRASA NOMINA PADA SISTIM BAHASA ANTAR SISWA SMAMUHAMMADIYAH II SURAKARTAEndang Fauziati ............................................................................................................................. ................. 59

vii

ANALISIS KEPUASAN PELAYANAN KEPERAWATAN PADA PASIEN PESERTAJAMINAN KESEHATAN NASIONAL (JKN) DI RSUD PANDAN ARANG BOYOLALIEsri Rusminingsih, Chori Elsera .................................................................................................................... . 69

MODEL EKONOMETRIK KEPEMIMPINAN SPIRITUAL DI LEMBAGAKEUANGAN MIKRO SYARIAH (STUDI KASUS DI SUKOHARJO, JAWA TENGAH)Sri Padmantyo, Ahmad Shilbi Sulton, Muhammad Sholahuddin ................................................................... 78

PENGEMBANGAN APLIKASI WEB GIS UNTUK PENGELOLAAN DATABASEBANGUNAN DI KOTA SURAKARTAYuli Priyana, Priyono, Alif Noor Anna, Agus Anggoro Sigit, Jumadi ........................................................... 89

THE EFFECTIVENESS OF AUDIO-VISUAL AIDS IN TEACHINGPRONUNCIATIONSuci Maharani ............................................................................................................................. .................... 96

PEMBERDAYAAN UMKM KELOMPOK USAHA KERUPUK KULIT IKAN PARI DIKABUPATEN CIREBON UNTUK MENINGKATKAN NILAI EKONOMI PRODUKSusilawati, Dianasari, Widia Nur Jannah .................................................................................................... . 103

PENYULUHAN DENGAN MEDIA AUDIO VISUAL MENINGKATKAN PERILAKUHIDUP BERSIH SEHAT ANAK USIA SEKOLAHAnita Dyah Listyarini, Sri Hindriyastuti ...................................................................................................... . 112

METODE VARIABLE COSTING SEBAGAI DASAR PENENTUAN HARGA JUALPRODUKNur Kabib, Alfiati Nurrokhmini, Tri Hastutik ............................................................................................. . 118

SIFAT FISIK DAN DAYA TERIMA BISKUIT DARI CAMPURAN TEPUNGSINGKONG DAN TEPUNG TERIGURusdin Rauf, Nurdiana, Rahmatika Nur Aini, Miftakhul Istinganah ........................................................... 124

DESKRIPSI ANALISIS IMPLEMENTASI MODEL PROBLEM BASEDINSTRUCTION TERHADAP REGULASI DIRI MAHASISWANurhidayati, Itsna Iftayani, Umi Pratiwi ..................................................................................................... . 130

IDENTIFIKASI VARIASI POLA WACANA OBITUARIUM SURAT KABARINDONESIAAdyana Sunanda, Atiqa Sabardila, Agus Buidi Wahyudi, Yunus Sulistyono .............................................. 136

viii

UJI ANTIINFLAMASI KOMBINASI SERBUK IKAN GABUS (Channa striata) DANEKSTRAK KULIT BUAH RAMBUTAN (Nephelium lappaceum L.) TERHADAPUDEM TELAPAK KAKI TIKUS YANG DIINDUKSI KARAGINANWidia Ristiana, Muhtadi ............................................................................................................................. .. 142

AKTIVITAS ANTIINFLAMASI KOMBINASI EKSTRAK ETANOL LEMPUYANGGAJAH DAN SERBUK IKAN GABUS TERHADAP UDEM TELAPAK KAKI TIKUSPUTIH JANTAN GALUR WISTARNurul Maharani, Muhtadi ............................................................................................................................ . 152

PENGEMBANGAN APLIKASI (SISTEM INFORMASI GEOGRAFIS) SIGBERBASIS WEB UNTUK MENDUKUNG KEGIATAN PEMANTAUANPENCEMARAN SUNGAI DI KOTA SURAKARTASri Darnoto, Dwi Astuti, Alif Noor Anna, Jumadi, Rudiyanto ..................................................................... 161

IMPLEMENTASI PENERAPAN SEKOLAH RAMAH ANAK PADAPENYELENGGARAAN PENDIDIKAN SEKOLAH DASARRatnasari Diah Utami, Mulat Kurnianingsih Dwi Saputri, Farida Nur Kartikasari ...................................... 170

MOBILITAS PEKERJA KE MALAYSIA:(STRATEGI MASYARAKAT DESA JAWA TENGAH MENGATASI KEMISKINANDAN BIAYA PENDIDIKAN)Tjipto Subadi, Sofyan Anif .......................................................................................................................... . 177

PENGOLAHAN LIMBAH PADAT MEDIS DAN PENGOLAHAN LIMBAH BAHANBERBAHAYA DAN BERACUN DI RS SWASTA KOTA JOGJAMuchsin Maulana, Hari Kusnanto, Agus Suwarni ...................................................................................... . 184

PEMETAAN KEMAMPUAN GURU DALAM PENULISAN KARYA ILMIAHBambang Sumardjoko ............................................................................................................................. ..... 191

ANALISIS KEBUTUHAN PENGEMBANGAN MODEL PEMBELAJARANKOOPERATIF TEACHING GAME TEAM BERBASIS GUIDED INQUIRYKarima Kusuma Wardani, Suparman .......................................................................................................... . 199

PEMANFAATAN LIMBAH ORGANIK PASAR SEBAGAI BAHAN PUPUKKOMPOS UNTUK PENGHIJAUAN DI LINGKUNGAN MASYARAKAT KOTACIREBONDewi Nurdiyanti, Arie Susetio Utami, Norma Bastian, Johan ..................................................................... 204

PEMBERIAN KACANG HIJAU SEBAGAI UPAYA PENINGKATAN KADARHEMOGLOBIN PADA REMAJA PUTRIUmi Faridah, Verani Indraswari .................................................................................................................. . 215

ix

DESAIN DAN SIMULASI KINEMATIKA PADA SISTEM KEMUDI DENGAN SUDUT90o

Agus Dwi Anggono, Joko Sedyono, Bana Handaga ................................................................................... . 223

ESTIMASI PARAMETER REGRESI LOGISTIK DENGAN METODE BOOTSTRAPDAN JACKKNIFE UNTUK SAMPEL KECILDinda Tri Wisudawati, Deden Istiawan ....................................................................................................... . 230

PEMODELAN REGRESI SPASIAL PADA KASUS DEMAM BERDARAH DENGUE(DBD)Putri Ayu Setiyowati, Safaat Yulianto ......................................................................................................... . 241

PERAMALAN JUMLAH TAMU HOTEL MEGA BINTANG SWEET KABUPATENBLORA DENGAN PENDEKATAN ARIMAIrfana Maulana Ismail, Wellie Sulistijanti ................................................................................................... . 248

PENGARUH WAKTU PENGERINGAN DAN JENIS LIMBAH ORGANIKTERHADAP KUALITAS TISUHerry Purnama, Aprilia Noor Aini .............................................................................................................. . 253

PENGABDIAN MASYARAKAT MELALUI PROGRAM PELATIHAN DANPENDAMPINGAN PENGOLAHAN LIMBAH KOTORAN SAPI DI DESADUKUHBADAGFitri Dian Perwitasari, Devi Yuliananda, Bastoni, Arie Susetio Utami, Arif Nurudin ................................. 261

ANALISIS KINERJA EKSPOR 5 KOMODITAS PERKEBUNAN UNGGULANINDONESIA TAHUN 2012-2016Murjoko ............................................................................................................................. ........................... 268

ANALISIS SOSIAL EKONOMI PENGOLAHAN LIMBAH KOTORAN SAPI DI DESADUKUHBADAG KECAMATAN CIBINGBIN KABUPATEN KUNINGANFitri Dian Perwitasari, Devi Yuliananda, Bastoni ....................................................................................... . 274

ANALISIS KOMUNIKASI GENDER DALAM PENYUSUNAN DOKUMEN RENCANAKERJA PEMBANGUNAN DI DESA KLANGENAN KECAMATAN KLANGENANKABUPATEN CIREBONAhmad Yusron, Rizki Budhi Suhara ........................................................................................................... . 280

METODE CASE BASED LEARNING SEBAGAI UPAYA MENINGKATKANPEMAHAMAN MAHASISWA TENTANG DENVER DEVELOPMENT SCREENINGTEST IIIka Tristanti ............................................................................................................................. ..................... 290

x

THE IMPROVING COMPETENCE OF NURSING STUDENTS’ ABILITY ONWRITING NURSING REPORT: CASE STUDY ON THE FIFTH SEMESTER OF S1NURSING STUDENTS OF STIKES MUHAMMADIYAH KUDUSAhmad Nur Syafiq ............................................................................................................................. ........... 300

MODIFICATION OF SUFFERING QUESTIONARE FOR PATIENT FRACTUREWHO UNDERWENT SURGERYFirman Faradisi, Bumphenchit Sngchart, Nuniek Nizmh F ......................................................................... . 305

POLA KOMUNIKASI KOMUNITAS RUMAH HEBAT INDONESIA DALAMMEMBERDAYAKAN ANAK-ANAK REJOSARI, SURAKARTAWahyu Dwi Prasetyo, Palupi ....................................................................................................................... . 314

UNSUR-UNSUR PIDANA DALAM TINDAK PIDANA PENCEMARAN NAMA BAIKMELALUI MEDIA ONLINE (KAJIAN PUTUSAN PERKARA DENGAN TERDAKWAFLORENCE SAULINA SIHOMBING)Yulia Kurniaty, Agna Susila, Heni Hendrawati ........................................................................................... . 328

PENGARUH ATRIBUT PRODUK TERHADAP KEPUTUSAN PEMILIHAN PRODUKANTANGIN JRG® TABLETZaenal Fanani ............................................................................................................................. .................. 335

ANALISIS ANTRIAN PADA PELAYANAN PENDAFTARAN DAN OPTIMALISASIDI RSUD KRT SUTJONEGROROCahya Indria Setyowati, Taswati Nova Wijayaningrum ............................................................................. . 345

ANALISIS CLUSTER PADA DESA/KELURAHAN DI KABUPATEN WONOSOBOBERDASARKAN DATA POTENSI DESA TAHUN 2015Yahya Barul Alam, Atika Nurani Ambarwati ............................................................................................. . 351

PENILAIAN AUTENTIK DALAM PEMBELAJARAN MATEMATIKA BERBASISLESSON STUDY DI SMP MUHAMMADIYAH KABUPATEN SUKOHARJO JAWATENGAHSumardi ............................................................................................................................. ............................ 359

PENGARUH TERAPI PROGRESSIVE MUSCLE RELAXATION TERHADAPPENURUNAN TEKANAN DARAH PADA PESERTA PROLANISRusnoto, Ika Alviana ............................................................................................................................. ....... 367

PENGARUH PSIKOEDUKASI KELUARGA TERHADAP KEMAMPUANPERAWATAN DIRI TOILETING PADA ANAK RETARDASI MENTAL DI SDLBPURWOSARI KUDUS TAHUN 2015Anny Rosiana, Riska Arini .......................................................................................................................... . 373

xi

APLIKASI PEMBERIAN KURMA SEBAGAI UPAYA PENINGKATAN KADARHEMOGLOBIN PADA REMAJA PUTRI YANG MENGALAMI ANEMIANoor Cholifah, Elva Amalia ........................................................................................................................ . 381

DETEKSI RESISTENSI PADA AEDES AEGYPTI DENGAN PENGUJIAN ENZIMESTERASE NON SPESIFIKFardhiasih Dwi Astuti, Indriyanti Hastuti .................................................................................................... . 388

PERILAKU TERMAL PEMANAS AIR TENAGA SURYA YANG BERISI PCM PADAUNIT TANGKIMuhammad Nadjib, Tito Hadji Agung Santosa .......................................................................................... . 392

HUBUNGAN PEMBERIAN SUSU FORMULA DENGAN KEJADIAN DIARE PADABAYI 0-6 BULAN DI WILAYAH KERJA PUSKESMAS TEGALREJO KABUPATENMAGELANG PROVINSI JAWA TENGAHFatimah Sari, Tri Budi Rahayu .................................................................................................................... . 400

KARAKTERISTIK GEOFISIK LAHAN PESISIR DI KABUPATEN BREBESBERBASIS TEKNOLOGI SISTEM INFORMASI GEOGRAFI UNTUKPENGEMBANGAN BUDIDAYA TAMBAK UDANGSuwarsito, Anang Widhi Nirwansyah ......................................................................................................... . 406

KORELASI ADVERSITY QUOTIENT DAN PRESTASI AKADEMIK MAHASISWANurhidayati, Wharyanti Ika P ...................................................................................................................... . 416

EVALUASI PENGGUNAAN PARASETAMOL INTRAVENA PADA PASIEN ANAKRAWAT INAP DI RSUD MAS AMSYAR KASONGAN KALIMANTAN TENGAHDita Nururiyanie, Lukman Hakim, Agung Endro Nugroho ........................................................................ . 422

PENGARUH PENGGUNAAN TERAPI SEVELAMER TERHADAP KUALITASHIDUP PASIEN HEMODIALISIS YANG DINILAI MENGGUNAKAN KDQOL SF-36Melisa, Tri Murti Andayani, Fredie Irijanto ................................................................................................ . 427

PROTEIN PROFILES OF FIVE MEAT TYPES BASED ON SDS-PAGE (IMMERSEDWITH PINEAPPLE)Sri Darmawati, Endang Tri Wahyuni Maharani, Sarah Ariska .................................................................... 440

HARGA DIRI, KECERDASAN EMOSI DAN INTENSI PROSOSIAL: KORELASIPADA MAHASISWA PBI UM PURWOREJOItsna Iftayani, Wanodya Kusumastuti .......................................................................................................... . 444

PERSENTASE KEJADIAN ANEMIA PADA PETANI TERPAPAR PESTISIDA DIKELOMPOK TANI KARANG REJO, DUSUN KRINJING LOR, DESA JATISARONO,KECAMATAN NANGGULAN, KABUPATEN KULON PROGOYuliana Prasetyaningsih, Desto Arisandi, dan Puri Dwi Retnosetiowati ..................................................... 452

xii

AGIHAN TANAMAN BAMBU DAN IMPLIKASINNYA TERHADAP POTENSI AIRTANAH DAERAH KABUPATEN KLATEN JAWA TENGAHSuharjo, Muhammad Musiyam, Miftahul Arozaq ....................................................................................... . 458

ADOPSI E-BANKING: RISIKO DAN TANTANGANEdy Purwo Saputro ............................................................................................................................. .......... 464

MEREDUKSI LIMBAH, MEMBANGUN DAYA SAINGMoechamad Nasir, Edy Purwo Saputro ....................................................................................................... . 469

PENERAPAN TEORI FUNGSIONALISME PADA PENERJEMAHAN ISTILAH-ISTILAH TEKNOLOGI INFORMASIZainal Arifin .................................................................................................................................................. 475

KORELASI ANTARA IKLIM KELAS DAN KEMANDIRIAN BELAJAR DENGANKEMAMPUAN BERPIKIR KREATIF PADA MAHASISWA MATEMATIKAUNIVERSITAS MUHAMMADIYAH PURWOREJOWidyaning Hapsari, Muh Ibnu Sina ............................................................................................................ . 482

DEFINISI DAN MAKNA COACHING BISNIS SYARIAHMuhammad Sholahuddin, Sri Murwanti ..................................................................................................... . 489

HUBUNGAN ANTARA KESIAPAN KEHAMILAN DENGAN ANEMIA PADA IBUHAMIL DI WILAYAH KERJA PUSKESMAS JATI KABUPATEN KUDUSDewi Hartinah, Noor Eswantii .................................................................................................................... . 496

ANALISIS ASPEK K3 SERTA PERANCANGAN ULANG TATA LETAK INDUSTRITAHU DI KABUPATEN PACITANRana Faridah, Rois Fatoni, Ichsan Suryo Wicaksono .................................................................................. . 503

MENGAJAR “SUKSES” (SUKA PROSES) MELATIH SISWA BERSIKAP ILMIAHAnatri Desstya, Widya Perwira, Annisa Nurul Halimah ............................................................................. . 517

PENINGKATAN AKTIFITAS POSYANDU LANSIA CEMPAKA SEHATSURAKARTAYuli Kusumawati, Yulisna Mutia Sari, Siti Zulaekah ................................................................................. . 524

STRATEGI PELIBATAN DALAM KONSER TARLING CERBONANMuhammad Kamaluddin ............................................................................................................................. . 534

KESANTUNAN BERBAHASA MAHASISWA DALAM BERINTERAKSI DENGANDOSEN DI UNIVERSITAS AHMAD DAHLAN: ANALISIS PRAGMATIKTri Rina Budiwati ............................................................................................................................. ............ 540

xiii

KONSEP KEBEBASAN DAN TOLERANSI BERAGAMA DALAM ISLAMAri Mulyono, Muhammad Rasyied Awwabien ........................................................................................... . 555

PENGARUH PENGGUNAAN KOMPRES KAYU MANIS (Cinnamomum Burmani)TERHADAP PENURUNAN NYERI PENDERITA ARTHITIS GOUTSri Margowati, Sigit Priyanto ...................................................................................................................... . 562

EFEK KAPSUL EKSTRAK ETANOL AKAR PASAK BUMI TERHADAP FUNGSIHATI SUKARELAWAN SEHATLukita Wiguna, Laela Hayu Nurani, Akrom ............................................................................................... . 572

PEMBUATAN MODEL TATA SURYA SEBAGAI MEDIA AKTIVITAS BERBAGIPENGETAHUAN ASTRONOMI DI SURABAYA ASTRONOMY CLUBAnnisa Mahmuda, Yudhiakto Pramudya , Galuh Purwasih ......................................................................... . 580

PENGARUH KONSELING FARMASIS TERHADAP KEPATUHAN PENGGUNAANOBAT SERTA HASIL TERAPI PASIEN DIABETES MELITUS TIPE 2 DIPUSKESMASHusna Nadia, Andayani Tri Murti,Wiedyaningsih Chairun ........................................................................ . 587

DESAIN DAN ANALISIS KINERJA PEMOTONG RUMPUT PORTABLE DANRECHARGEABLEAgus Ulinuha, Rahardian Krisna Aditya ..................................................................................................... . 595

INTEGRASI PENDIDIKAN KARAKTER DALAM LAYANAN BIMBINGANKELOMPOK DI SEKOLAHSiti Muyana ............................................................................................................................. ..................... 601

KOPING MENGHADAPI STRES PADA ANAK JALANAN DIKUDUSYulisetyaningrum1, Tri Suwarto .................................................................................................................. . 608

UJARAN MOTIVASI GURU BAGI SISWA: PERSPEKTIF BIMBINGAN DANKONSELING ISLAMRanita1, Muhammad Guruh Nuary, Badi’uzzaman Sa’id Haqi .................................................................... 618

ANALISIS KEPEMILIKAN KENDARAAN TERHADAP TINGKATKESEJAHTERAAN PADA SOPIR ANGKOT DI KOTA SALATIGARahmanita Lestari, Nurul Hidayah .............................................................................................................. . 625

FAKTOR- FAKTOR YANG MEMPENGARUHI KEJADIAN ENEURISIS PADAANAK PRA SEKOLAHNoor Azizah, Subiwati ............................................................................................................................. .... 630

MENGURAI TINDAK KEKERASAN GURU TERHADAP SISWA DI SMP KOTAPEKALONGANTrianah Sofiani ............................................................................................................................. ................ 634

xiv

PENGELOLAAN PUBLICNESS DI TENGAH DOMINASI EKONOMI: SEBUAHKONTESTASI ANTARA NILAI PUBLICNESS DAN PRIVATENESS DIBALIK KAWASAN MALIOBORO-AHMAD YANIFadlurrahman ............................................................................................................................. ................... 646

POLA PERUBAHAN KATEGORI SATUAN LINGUAL YANG MENGANDUNGPRONOMINA PERSONAMarkhamah, Abdul Ngalim, Muhammad Muinuddinilah Basri, Bahrudin Adinugroho, Naimul Faizah .... 659

AFFINE-HILL-LU CIPHER WITH MATLAB IMPLEMENTATIONJoko Eliyanto ............................................................................................................................. ................... 670

PENGARUH EKSTRAK ETANOL BIJI DELIMA (PUNICA GRANATUM L)TERHADAP HAMBATAN PERTUMBUHAN BAKTERI STREPTOCOCCUSMUTANSMahmud Kholifa ............................................................................................................................. .............. 676

ASSOCIATION BETWEEN PARENT’S SOCIAL ECONOMIC STATUSES,CULTURES AND HEALTH BEHAVIOUR WITH CHILDREN ORAL HEALTHCONDITION AGE 6-12 IN SUKOHARJO, MIDDLE JAVA, INDONESIAMorita Sari ............................................................................................................................. ....................... 682

BENTUK KETIDAKSANTUNAN PENGGUNAAN KATA SAPAAN DALAM BUKUAJAR BAHASA INDONESIA BAGI PENUTUR ASINGLaili Etika Rahmawati, Yunus Sulistyono, Siti Kholifatul Hasanah, Anggraeni Dewi Sulistyowati ........... 688

HUBUNGAN ANTARA POLA MAKAN DENGAN PENYAKIT GOUTIda Untari, Titin Wijayanti .......................................................................................................................... . 694

ILLOCUTIONARY ACTS IN MOVIE SUBTITLING: THE ACCURACY OF THEIRPRAGMATIC TRANSLATIONMohammad Ali Yafi, Agus Wijayanto ........................................................................................................ . 700

AKTIVITAS PENGHAMBATAN ENZIM Α-GLUKOSIDASE OLEH EKSTRAKETANOL UBI JALAR UNGU (IPOMOEA BATATAS L.)Rahmi Elmaniar, Muhtadi ........................................................................................................................... . 709

STUDENTS’ PERCEPTION ON TEACHING TECHNIQUES APPLIED BYENGLISH TEACHER IN THE SPEAKING CLASSMuamaroh ............................................................................................................................. ........................ 716

PENGARUH PEMBERIAN JAHE MERAH TERHADAP PERUBAHAN NYERIDISMINOREDiah Andriani Kusumastuti, Dewi Hartinah ................................................................................................ . 721

xv

VIDEO GAME, TEKNOLOGI DAN ANAK: SURVEI DEMOGRAFIEndah Sudarmilah, Umi Fadlilah, Heru Supriyono, Azizah Fatmawati ....................................................... 730

PEMANFAATAN APLIKASI SOFTWARE OPEN SOURCE SPASIAL QUANTUM GISUNTUK VISUALISASI DATA KEPENDUDUKAN BERBASIS WEB GISPriyono, Choirul Amin, Rudiyanto .............................................................................................................. . 736

STUDY KOMPARASI KEPATUHAN PENDERITA HIPERTENSI DEWASA DANLANSIA PADA PENGOBATAN ANTI HIPERTENSI DI DESA CUKIL WILAYAHKERJA PUSKESMAS TENGARAN KABUPATEN SEMARANGIstianna Nurhidayati, Parmono .................................................................................................................... . 744

STUDI UNJUK KERJA PENDINGINAN EVAPORASI MODEL VENTILASIVERTIKAL PADA RUMAH TINGGAL DENGAN CFDSarjito, Tri Widodo Besar Riyadi, Agus Dwi Anggono, Rizky Yogananda ................................................. 753

KOMPETENSI DAN MODEL PEMBELAJARAN YANG DIINGINKAN MAHASISWADALAM PERKULIAHAN KETERAMPILAN MENULISKhabib Sholeh ............................................................................................................................. ................. 761

SITOTOKSISITAS EKSTRAK METANOL DAUN SUKUN (ARTOCARPUS ALTILIS),NANGKA (ARTOCARPUS HETEROPHYLLUS) DAN KLUWIH (ARTOCARPUSCAMANSI) TERHADAP SEL KANKER PAYUDARA MCF-7Pratiwi Widowati, Haryoto .......................................................................................................................... . 767

PENGARUH TEBU TERHADAP KEBUDAYAAN MASYARAKAT CIREBON DANBREBES: PERSPEKTIF HISTORIS DAN BIOLOGISAhmad Yusuf Bahtiyar, Deni Dzulfaqori Nasrullah, Intan Sholihat ............................................................ 772

PERANAN PEMBELAJARAN KESELAMATAN DAN KESEHATAN KERJAMENGGUNAKAN MEDIA AUDIO VISUAL BAGI PENGETAHUAN GURU DI SMKNX WONOSARISubhan Zul Ardi ............................................................................................................................. .............. 783

IBM CIPTA MULYA DAN CAHAYA BALIMohammad Yunies Edward, Tohir Diman .................................................................................................. . 786

PERBANDINGAN PERTUMBUHAN TOMAT MERAH (LYCOPERSICUMESCULENTUM L. VAR COMMUNE) DAN TOMAT UNGU (LYCOPERSICUMESCULENTUM L. VAR INDIGO ROSE) YANG DITANAM DENGAN TEKNIKHIDROPONIK METODE DRIP IRRIGATION (IRIGASI TETES)Risanti Dhaniaputri ............................................................................................................................. .......... 790

xvi

THE CAUSALITY AVAILABILITY OF FOOD AND ECONOMIC GROWTH INCENTRAL JAVAJuli Biantoro, Didit Purnomo ....................................................................................................................... . 798

IDENTIFIKASI SENYAWA AKTIF FRAKSI ETANOL DAUN SIRSAK (ANNONAMURICATA LINN.) SEBAGAI INHIBITOR Α-AMYLASEEko Mugiyanto, Partomuan Simanjuntak, Siswa Setyahadi ........................................................................ . 805

PEMBERDAYAAN PEMUDA PUTUS SEKOLAH MELALUI KEWIRAUSAHAANOLAHAN LIMBAH BONGGOL PISANG DI INDRAMAYUHera Wijaya, Andhika Budi Prasetyo, Khairunnisa Asri Nurokhmah .......................................................... 813

AKTIVITAS DAN KINETIKA INHIBISI ASETILKOLINESTERASE OLEHFRAKSI ETANOL DAUN SIRSAK (ANNONA MURICATA LINN.)Antonius Padua Ratu, Siswa Setyahadi, Partomuan Simanjuntak ................................................................ 819

AKTIVITAS PENGHAMBATAN ENZIM α-GLUKOSIDASE OLEH EKSTRAKETANOL UBI JALAR UNGU (Ipomoea batatas L.)Rahmi Elmaniar, Muhtadi ............................................................................................................................. 825

PROFIL DAN PENTINGNYA SEXUAL ABSTINENCE PADA REMAJA UNTUKMEMBENTUK GENERASI YANG BERMORALDian Ari Widyastuti ....................................................................................................................................... 832

PENULISAN MATERI PEMBELAJARAN DALAM RENCANA PELAKSANAANPEMBELAJARAN (RPP) BAHASA INGGRIS SMPRini Fatmawati .............................................................................................................................................. 840

APLIKASI KALENDER UNTUK PENGELOLAAN JADWAL KEGIATAN KAMPUSDENGAN GOOGLE APPLICATION APISuyadi, Gunawan Ariyanto ........................................................................................................................... 846

PEMANFAATAN ALAT PERAGA EDUKATIF SEBAGAI MEDIAPEMBELAJARAN BAHASA INGRRIS SEKOLAH DASARHonest Ummi Kaltsum .................................................................................................................................. 856

IDENTIFIKASI SENYAWA AKTIF FRAKSI ETANOL DAUN SIRSAK (Annonamuricata Linn.) SEBAGAI PENGHAMBAT SIKLOOKSIGENASE-2Erayadi Soekaryo, Siswa Setyahadi, Partomuan Simanjuntak ..................................................................... 862

PERBANDINGAN PERUBAHAN DIMENSI DENTAL STONE SETELAH PROSESDESINFEKSI MENGGUNAKAN DAYA ENERGI MICROWAVE BERBEDANoor Hafida Widyastuti, Hazrina Larasati .................................................................................................... 868

ANALISIS KARAKTERISTIK DAN MOBILITAS PENGEMIS DI KOTA SALATIGAChoirul Amin, Priyono, Umrotun, Nurul Hidayah, Bagus Mia Syahputra .................................................... 874

xvii

ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA AKTIF FRAKSI ETANOL DAUNSIRSAK (Annona muricata Linn) SEBAGAI PENGHAMBAT XANTHINE OKSIDASESlamet, Siswa setyahadi, Partomuan simanjuntak ......................................................................................... 880

MODEL PENGUATAN EKONOMI MASYARAKAT MARJINAL BERBASISKOMUNITAS RANTING MUHAMMADIYAHFatchan Achyani, Imron Rosyadi, Daryono Soebagyo .................................................................................. 888

INSTAGRAM, WISATA FOTO DAN DAMPAKNYA TERHADAP PENINGKATANJUMLAH WISATAWAN DI YOGYAKARTAListiono .......................................................................................................................................................... 903

INOVASI PRODUK PENGHIMPUNAN DANA PERBANKAN SYARIAH (STUDIKASUS TABUNGAN ARISAN BPRS MADINA)Satria Utama, Putri Ega Handini ................................................................................................................... 908

ANALISIS KEBUTUHAN PENGEMBANGAN BUKU PANDUAN GURUIMPLEMENTASI LESSON STUDY PADA PEMBELAJARAN MATEMATIKASEKOLAH DASARHindun Yafa Chotijah, Suparman .................................................................................................................. 920

ANALISIS KEBUTUHAN TERHADAP BAHAN AJAR MATEMATIKA SISWASESUAI MODEL PEMBELAJARAN STADHernawan Priyantoro, Suparman, Agung Rizki ........................................................................................... 926

KETIMPANGAN PEREKONOMIAN DI PROVINSI BENGKULUSepta Sunanda, Deavid Ricard Pramesha Saputro , Ir. Maulidyah Indira ,M.S ............................................ 931

ANALISIS KEPUASAN KERJA SEBAGAI UPAYA PENINGKATAN KINERJAORGANISASI PADA PDAM TIRTA BUMI SENTOSA KEBUMENSidiq Permono Nugroho ................................................................................................................................ 937

ANALISIS KANDUNGAN BAKTERI PADA PETIS DI PASAR LOSARIKABUPATEN CIREBONOkta Efriyadi, Devi Ayu Novita, Ibrahim Guntur Nuary .............................................................................. 950

PENGARUH ABDOMINAL STRETCHING EXERCISE TERHADAP PENURUNANDISMENORE PADA SISWI REMAJA DI MADRASAHALIYAH HASYIM ASY’ARIBANGSRI KABUPATEN JEPARANoor Hidayah, Rusnoto, Ika Fatma .............................................................................................................. 954

IPTEKS BAGI MASYARAKAT KELOMPOK PENGOLAH GULA SEMUTTri Widodo Besar Riyadi, Nugroho Tri Atmoko, Tri Tjahjono ..................................................................... 964

PENGARUH LINGKUNGAN TERHADAP PERKEMBANGAN BAHASA ANAKAnika Candrasari, Dista Eka Faulam Putri, Warraihan, Virgi Parisa ............................................................ 972

MODEL PERGURUAN TINGGI AGAMA ISLAM BERKEMAJUAN (STUDI KRITISPADA IAIN SYEKH NURJATI CIREBON)Syuaeb Kurdie ............................................................................................................................................... 979

xviii

TELAAH TERHADAP PEMIKIRAN KI HADJAR DEWANTARA TENTANGPENDIDIKAN PONDOK ASRAMA TAMANSISWAWaharjani ...................................................................................................................................................... 989

KAJIAN KETELADANAN DALAM MEMPERKUAT PENDIDIKAN INDONESIAFazli Rachman & Muhamad Hijran ............................................................................................................... 998

SIKAP SOSIAL PERSPEKTIF MULTIKULTURAL DALAM BIMBINGANKELOMPOKDevi Trianasari, Nurlatifah Alauddin, Anhar , dan Ledyana Dwi Mei Situngkir .......................................... 1004

MOTIVASI WIRAUSAHA BATIK SRAGENAflit Nuryulia Praswati, Soepatini, Ihwan Susila .......................................................................................... 1008

MODEL KEBIJAKAN DISTRIBUSI BAWANG MERAH DAN PUTIH DI WILAYAHEKS KARESIDENAN SURAKARTA DENGAN SUPPLY CHAIN MANAGEMENTSoepatini, Imronudin Muhammad, Setyawan Anton, Nugroho Sidiq ............................................................ 1013

REFLEKSI SISWA TENTANG CARA MEMUPUK SIKAP TOLERANSIPASCAKEGIATAN APRESIASI CERPEN BERMUATAN TOLERANSIMain Sufanti dan Nuraini Fatimah ................................................................................................................ 1026

PERAN AYAH DALAM PENANAMAN NILAI-NILAI SPIRITUAL PADA ANAKNur Syariful Amin, Nisa Rachmah Nur Anganti ........................................................................................... 1034

PELATIHAN PENYUSUNAN CERITA ANAK YANG KREATIF DENGAN MEDIASTORYBIRD DI SD MUHAMMADIYAH PROGRAM KHUSUS SURAKARTAFitri Puji Rahmawati, Kukuh Sandy Sudrajat , Rizki Widyawulandari ........................................................ 1048

PELAKSANAAN DIVERSI TERHADAP ANAK YANG BERHADAPAN DENGANHUKUM (Studi Kasus Terhadap Penetapan di Wilayah Pengadilan Negeri Surakarta)Budi Santoso .................................................................................................................................................. 1053

ANALISIS KADAR GULA, KADAR PROTEIN DAN ORGANOLEPTIK BOLUKUKUS SUBSITUSI TEPUNG KEDELAI (Glycine L. Merr)Retno Dewi Noviyanti, Indah Kurniawati, Mughni Efendi ........................................................................... 1066

PENGARUH PEMBERIAN SUPLEMEN Zn TERHADAP SKOR Z BB/U DAN TB/UPADA BALITA STUNTINGDewi Pertiwi Dyah Kusudaryati, Ratih Prananingrum .................................................................................. 1074

LEGENDA CANDI PRAMBANAN DAN GUNUNG KUNCI: KAJIAN SASTRAMASKULINMiftakhul Huda ............................................................................................................................................. 1080

EVALUASI NILAI IKE MELALUI AUDIT ENERGI AWAL KAMPUS 3UNIVERSITAS AHMAD DAHLANRiky Dwi Puriyanto, Sunardi, Ahmad Azhari ............................................................................................... 1086

KARAKTERISTIK MAHASISWA WIRAUSAHAAhmad Mardalis, SE, M.B.A & Imron Rosyadi, SE, M.Si. .......................................................................... 1092

xix

ANALISIS WACANA DAN EDUKASI: SEMIOTIK MULTIMODAL KARTUNINDONESIA “ADIT SOPO JARWO EPISODE BAKSO HILANG” VS KARTUNMALAYSIA “UPIN-IPIN EPISODE EKOSISTEM”Adisti Primi Wulan ........................................................................................................................................ 1104

PENGARUH PENAMBAHAN BUNGA ROSELLA TERHADAP MUTU SEDIAANTEH OOLONG KOMBUCHASt. Rhmatullah, Urmatul Waznah ................................................................................................................. 1118

PENAMBAHAN BORAKS DALAM BAKSO DI KOTA PEKALONGAN (TINJAUANPENGETAHUAN DAN PRAKTIK)Yulian Wahyu Permadi, St. Rahmatullah ..................................................................................................... 1125

ANALISIS KADAR MALONDIALDEHID DAN PROFIL DARAH TEPIBERDASARKAN BODY MASS INDEX (BMI), KEBIASAAN MINUM JAMU DANTINGKAT PAPARAN ASAP ROKOK RELAWAN SEHATAdnan, Haafizah Dania .................................................................................................................................. 1131

REVIEW : RAPID PROTOTYPING TECHNOLOGY UNTUK APLIKASIPEMBUATAN IMPLAN TULANG DAN GIGIDini Cahyandari ............................................................................................................................................. 1136

EFEK ESKTRAK ALKOHOL 70% DAUN JATI BELANDA (GUAZUMAULMIFOLIA LAM) TERHADAP PENURUNKAN KADAR GLUKOSA DARAH(STUDI PRA KLINIS)Maryati, EM Sutrisna, Devi Usdiana, Ika Trisharyanti Dian Kusumowati, Suprapto & Irhamadi malik ...... 1141

PRAKTIK PERAWATAN TALI PUSAT OLEH IBU DENGAN KEJADIAN INFEKSITALI PUSAT BAYI BARU LAHIR DI SEMARANGSri Rejeki , Machmudah, Juwarningsih ......................................................................................................... 1145

ANALISIS PENAMBAHAN EKSTRAK BAWANG PUTIH (ALLIUM SATIVUM L.)TERHADAP MUTU PRODUK MIE BASAH MATANGWirasti, Eko Mugiyanto ................................................................................................................................ 1153

KEAMANAN PANGAN ANAK SEKOLAH DASAR DI KELURAHANPEKAJANGAN KECAMATAN KEDUNGWUNI TERHADAP PERSEPSI ORANGTUA DAN GURUWulan Agustin Ningrum, Urmatul Waznah ................................................................................................. 1162

IMPLEMENTASI LOGIKA KABUR UNTUK SELEKSI CALON PENERIMABEASISWA DALAM SISTEM BERBASIS WEBHeru Supriyono Muhammad Fikri Khaidir, Ahmad Kurnianto, Sujalwo ..................................................... 1171

BEREKONOMI DAN INVESTASI DALAM BINGKAI SYARIAH (Studi terhadapEsai “Emasku Pencerah Mimpiku”)Muthoifin ....................................................................................................................................................... 1179

ANALISIS KEBUTUHAN BUKU AJAR MATEMATIKA BERBASIS MODELPEMBELAJARAN GUIDED DISCOVERYWan Tiara Tianisa , Suparman ...................................................................................................................... 1186

xx

KOMPETENSI AKADEMIK MAHASISWA BIMBINGAN DAN KONSELINGUNIVERSITAS AHMAD DAHLAN YOGYAKARTACaraka Putra Bhakti, Ariadi Nugraha, Hartono ............................................................................................ 1190

PENGARUH VARIASI KANDUNGAN CaCO3 TERHADAP KUAT TARIKPOLYPROPYLENEMuhammad Luqman Saiful fikri, Iman Kurnia Sentosa, Harini Sosiati, Cahyo Budiyantoro ....................... 1195

INTERAKSI 4R06-NATIVE DENGAN ISOFORM GAMMA DARI RESEPTORPEROXISOME PROLIFERATOR-ACTIVATED MENGGUNAKAN PyRxFatimah Nur Aini, dan Broto Santoso .......................................................................................................... 1200

ANALISIS KEBUTUHAN BUKU AJAR MATEMATIKA BERORIENTASIPENDEKATAN REALISTIK MENGGUNAKAN MODEL PEMBELAJARANKOOPERATIFRahmi Purwitaningrum. Suparman ................................................................................................................ 1205

ANALISIS KEBUTUHAN BUKU AJAR MATEMATIKA BERBASIS PENEMUANTERBIMBING SISWA KELAS XTatik Susilowati Utami, Suparman ................................................................................................................ 1211

MEDIA PEMBELAJARAN BERBASIS WEB UNTUK MATA PELAJARAN ILMUPENGETAHUAN ALAM SESUAI DENGAN GAYA BELAJAR SISWASujalwo, Hernawan Sulistyanto ..................................................................................................................... 1214

APLIKASI PENCARIAN KAMAR DALAM SISTEM RESERVASI HOTELDENGAN ANTARMUKA BAHASA ALAMIHernawan Sulistyanto, Nurgiyatna ................................................................................................................ 1220

ANALISIS KEBUTUHAN MODUL MATEMATIKA K-13 BERBASIS PROBLEMBASED LEARNING UNTUK SISWA SMP KELAS VII SEMESTER IIHertyas Tri Novintya,S.Pd ............................................................................................................................. 1228

KAJIAN POTENSI MANUSIA SESUAI DENGAN HAKIKATNYA DALAMPENDIDIKAN HOLISTIKZalik Nuryana ................................................................................................................................................ 1232

PENGARUH DOSIS RAGI DAN WAKTU FERMENTASI KULIT MANGGA(Mangifera indica) TERHADAP KADAR BIOETANOL HASIL FERMENTASITrianik Widyaningrum .................................................................................................................................. 1239

PEMAHAMAN MAHASISWA CALON GURU BIOLOGI DENGAN INDIKATORUNDERSTANDING BY DESIGN (UbD) PADA TOPIK FISIOLOGI TUMBUHANRia Yulia Gloria, Sudarmin, Wiyanto, Dyah Rini Indriyanti ........................................................................ 1248

PROFIL SEBARAN HASIL idock UNTUK KELOMPOK SENYAWA AKTIF,DECOYS, DAN ZINC-INDUSER TERHADAP PROTEIN PPAR-GammaBroto Santoso ................................................................................................................................................ 1254

MODEL RESEARCH BASED LEARNING ETNOZOOLOGI UNTUKMENINGKATKAN KETERAMPILAN GENERIK SAINS DAN SIKAP ILMIAHMAHASISWA GURU BIOLOGIEka Fitriah ..................................................................................................................................................... 1261

xxi

KLASIFIKASI CITRA FORMULIR MENGGUNAKAN METODE SUPPORTVECTOR MACHINE (SVM) PADA PROSES DIGITALISASI FORMULIRDewi Pramudi Ismi, Ardiansyah ................................................................................................................... 1274

PERBAIKAN KINERJA PROBE 4 TITIK MELALUI PELAPISAN PERAKDENGAN METODE ELECTROPLATING PADA VARIASI WAKTU DEPOSISIMoh. Toifur, Didik Asmiarto ......................................................................................................................... 1280

PENGARUH UKURAN BAHAN BAKAR TERHADAP HASIL GAS REAKTORBUBBLING FLUIDIZED BED GASIFIERNur Aklis, Ary Descessar Prasetya Wibawa, Fery Rudiyanto ....................................................................... 1287

APLIKASI EXTREME LEARNING MACHINE UNTUK PERAMALAN DATA TIMESERIES (STUDI KASUS: SAHAM BANK BRI)Virgania Sari .................................................................................................................................................. 1294

TODLER TEMPER TANTRUMIndanah, Sri Karyati ....................................................................................................................................... 1300

PENINGKATAN SIKAP SISWA DALAM MENGOLAH SAMPAH DI SMK 3MUHAMMADIYAH YOGYAKARTAMusfirah ........................................................................................................................................................ 1312

LANGUAGE AWARENESS ON GRAMMAR DIFFERENCES ACCORDING TOMEDIUM: CONCEPT, ANALYSIS AND REFLECTIONSusiati ............................................................................................................................................................ 1319

ANALISIS PENGARUH PERUBAHAN SIRKULASI TRANSPORTASI TERHADAPKONDISI SOSIAL EKONOMI SEKITAR BADAN JALAN SEKUNDER diWILAYAH KELURAHAN BARON dan JONGKE KECAMATAN LAWEYAN KOTASURAKARTABruce Maldy Pratama, Mukhlis Akbar dan Nurul Hidayah .......................................................................... 1327

PEMANFAATAN CITRONELLA DAN MINYAK KENANGA (Cananga odorata)SEBAGAI REPELAN TINTA ANTI NYAMUKKun Harismah, Yanur Hendra Aryanto, Esti Rahayu, Denny Vitasari .......................................................... 1333

EFECT OF FILLER SIZE AND CONTENT ON THE IZOD IMPACT TOUGHNESSOF PEANUT SHELL/EPOXY COMPOSITESSudarisman, Muhammad Budi Nur Rahman, Saepuloh ............................................................................... 1339

AKTIVITAS ANTIOKSIDAN EKSTRAK ETANOL DAN FRAKSI KULIT BATANGKEPEL (Stelechocarpus burahol Blume Hook & Thomson) MENGGUNAKANMETODE DPPH DAN CUPRACBroto Santoso, Radhita Dwi Noor Anggraeni, Putri Mustika Ratna Aulia, Andi Suhendi, Dedi Hanwar, Haryoto,dan Wahyu Utami .......................................................................................................................................... 1345

PENGARUH TINGKAT AKTIVITAS FISIK DAN INDEKS MASSA TUBUHTERHADAP HIPERTENSI PADA LANSIA DI POSYANDU MEKAR SARIEndang Sawitri, Endang Wahyuningsih ............................................................................................................... 1349

xxii

PENERAPAN REPRESENTASI PENGETAHUAN BERBASIS ATURAN DALAMPENGEMBANGAN SISTEM PENENTUAN OBAT BAGI FARMASISImam Riadi, Sri Winiarti , Herman Yuliansyah ............................................................................................ 1361

GAMBARAN PENGETAHUAN IBU TENTANG PERTOLONGAN PERTAMAINFEKSI SALURAN PERNAFASAN AKUT( ISPA ) PADA BALITASugihartiningsih dan Lis Hartanti .................................................................................................................. 1369

PERBANDINGAN PENGUKURAN SUHU TUBUH ANTARA TERMOMETER AIRRAKSA DAN TERMOMETER MEMBRAN TIMPANI ANAK USIA 1-3 TAHUNDI RS KHUSUS ANAK EMPAT LIMA YOGYAKARTARobiul Fitri Masithoh .................................................................................................................................... 1374

STUDI KOMPARATIF KONSEP PENDIDIKAN ISLAM AHMAD DAHLAN DANFAZLUR RAHMANErni Sari Dwi Devi Lubis, Ma’arif Jamuin .................................................................................................... 1378

PERBEDAAN KUALITAS HIDUP TERAPI KOMBINASI GLIKLAZID-METFORMIN DIBANDINGKAN GLIKLAZID-AKARBOSE PADA PASIENDIABETES MELITUS TIPE 2 RAWAT JALANAji Tetuko, Diesty Anita Nugraheni .............................................................................................................. 1392

INKLUSIVITAS VS EKSKLUSIVITAS: PENTINGNYA PENGEMBANGANWAWASAN KEBANGSAAN DALAM MEWUJUDKAN KEDAMAIAN YANGHAKIKI BAGI MASYARAKAT INDONESIAMuya Barida .................................................................................................................................................. 1403

KOPING MALADAPTIF SAAT DITINGGALKAN KELUARGA SEBAGAIFAKTOR RISIKO PENURUNAN KUALITAS HIDUP LANJUT USIASri Handayani, Nur Wulan Agustina ............................................................................................................. 1410

LINGKUNGAN SOSIAL, TEMAN SEBAYA, SPIRITUALITAS DAN PERILAKUSEKSUAL PRANIKAH REMAJA ANAK JALANANSri Karyati ..................................................................................................................................................... 1418

PENGUATAN PERAN PANTI ASUHAN SEBAGAI SARANA DAKWAHPERSYARIKATAN MELALUI KURIKULUM PONDOK PESANTREN (STUDIKASUS PANTI ASUHAN YATIM PUTRI AISYIYAH SERANGAN)Dyah Pikanthi Diwanti,SE,MM ..................................................................................................................... 1426

MODIFIKASI TEHNIK TRANSFORMASI AFFINE DALAM KRIPTOGRAFIMODIFICATION OF AFFINE TRANSFORMATION TECHNIQUEDian Eka Wijayanti ....................................................................................................................................... 1435

TINJAUAN KANDUNGAN BOD5 (BIOLOGYCAL OXYGEN DEMAND), FOSFATDAN AMONIA DI LAGUNA TRISIKElga Luthfianna Dwitasari, Surahma Asti Mulasari ...................................................................................... 1439

PENGARUH EDUKASI OLEH APOTEKER TERHADAP KEPATUHAN OBATANTIRETROVIRAL (ARV) PADA PASIEN HIV/AIDSReny Anggraini , Djoko Wahyono, Fita Rahmawati, Carta Gunawan ........................................................... 1450

xxiii

EFEKTIVITAS SEDIAAN ORAL NANOENKAPSULASI KOMBINASI EKSTRAKDAUN PEGAGAN (Centella asiatica) DAN RIMPANG JAHE (Zingiber officinalle)TERHADAP SELULIT DAN KOMPOSISI LEMAK BAWAH KULITAni Kristiyani, Zullies Ikawati, Reza Yuridian Purwoko .............................................................................. 1456

PERFORMA TERMAL PADA DESAIN RUANG RAWAT INAP RUMAH SAKITSTIKES AISYAH KLATENEny Dwi Wardani, Yayi Arsandrie ............................................................................................................... 1468

MEKANISME PENGEMBANGAN KURIKULUM PENDIDIKAN DASARINDONESIA DALAM GLOBALISASI EKONOMI ASEANDadang Sahroni, Ade Ruslan Hidayat, Edward Pradita Rayhardi ................................................................. 1480

MODEL PEMBELAJARAN GREEN BEHAVIOR DI SEKOLAH DASARKABUPATEN SUKABUMIAeni Latifah, Irma Muti, Isep Ali Sandi ........................................................................................................ 1489

SITOTOKSITAS EKSTRAK ETANOL DAN TIGA FRAKSINYA HERBA KITOLOD(Isotoma longiflora (L.) C. Presl.) TERHADAP SEL MCF-7Haryoto, Atikah Hapsari .......................................................................................................................... 1502

MODEL MANAJEMEN BUSINESS CENTER BERBASIS ENTRENEURSHIP PADASMK BIDANG KEAHLIAN BISNIS MANAJEMENTri Kuat ......................................................................................................................................................... 1514

PERANCANGAN FASILITAS PENGUPAS KACANG METE UNTUKMENGURANGI KECACATAN PRODUKIsana Arum Primasari, Vierky Rizky Tamyiz ................................................................................................ 1521

MEDIA DALAM LAYANAN BIMBINGAN DAN KONSELINGHardi Prasetiawan .......................................................................................................................................... 1529

RISIKO BENCANA LONGSORLAHAN DI SUB DAS LOGAWA KABUPATENBANYUMASSuwarno, Sutomo ........................................................................................................................................... 1537

ANALISIS KEBUTUHAN BUKU AJAR MATEMATIKA BERBASIS MODELPEMBELAJARAN NUMBER HEAD TOGETHER UNTUK SISWA SMP KELAS VIIIka Putri Astriyana Sari, Suparman ............................................................................................................... 1544

ANALISIS KEBUTUHAN PENGEMBANGAN DESAIN PEMBELAJARANMATEMATIKA SMP KELAS VII MENGGUNAKAN STAD BERBASISPENEMUANAlia Lulu’ Khusniati , Suparman ................................................................................................................... 1549

BUKU CERITA BERGAMBAR “YUK, KE TOILET SENDIRI!” PENGEMBANGANMEDIA PEMBELAJARAN BUKU UNTUK PENDIDIKAN SEKS PADA ANAK USIA2 – 4 TAHUNAvanti Vera Risti P., Ega Asnatasia M. ......................................................................................................... 1544

xxiv

HUBUNGAN RELAKSASI PERNAPASAN DAN DUKUNGAN KELUARGADENGAN PENURUNAN TINGKAT KECEMASAN PADA PASIEN ASMABRONKHIALE DI RUANG BOUGENVILLE 2 RSUD KUDUSRizka Himawan,Diyah Krisnawati ................................................................................................................ 1563

A SEMANTIC ANALYSIS OF METAPHOR FOUND IN SELECTED LYRICS OF“THE SCRIPT”, “KATY PERRY”, AND “MICHAEL BUBLÉ”Rifki maulana, Malikatul Laila ...................................................................................................................... 1568

HUBUNGAN DUKUNGAN SUAMI DENGAN KECUKUPAN AIR SUSU IBU (ASI)DI WILAYAH KERJA PUSKESMAS KAJORAN IUmi Amimah, Heni Setyowati Esti Rahayu, Kartika Wijayanti. ................................................................... 1575

PENGARUH ANEMIA DAN PERDARAHAN POST PARTUM TERHADAPPERUBAHAN TEKANAN DARAH PADA IBU POST PASTUMIndah Risnawati ............................................................................................................................................. 1583

HUBUNGAN ASUPAN VITAMIN B6 DAN KALSIUM DENGAN KEJADIANSINDROM PREMENSTRUASI PADA SISWI DI SMA N COLOMADUElida Soviana, Aprina Ria Putri .................................................................................................................... 1588

ASPEK NILAI MORAL DALAM AKUN FACEBOOK JOKOWIJoko Santoso, Atiqa Sabardila, Agus Budi Wahyudi, Dwi Haryanti ............................................................. 1595

PENGEMBANGAN AUTOMATIC WATER LEVEL RECORDER(AWLR) UNTUKFLOOD EARLY WARNING SYSTEM(FEWS)Yusro Al Hakim ............................................................................................................................................. 1601

PENINGKATAN KOMPETENSI GURU SMA/ SMK MUHAMMADIYAHKARTASURA DALAM MERUMUSKAN INDIKATOR PENCAPAIANKOMPETENSI DASARDini Restiyanti Pratiwi, Fitri Puji Rahmawati, Aimanun Salim, Klara Sukma Pujiati .................................. 1602

HUBUNGAN KEBIJAKAN SEKOLAH DENGAN UPAYA MEWUJUDKANSEKOLAH YANG BERBASIS KEBERSIHAN LINGKUNGAN

DAMPAK PEMBERIAN ASI EKSKLUSIF TERHADAP KEJADIAN SAKITPADA BAYI USIA 6-12 BULAN DI KABUPATEN KLATEN

Ahmad Faizal Rangkuti ................................................................................................................................. 1607

KEBERTERIMAAN TERJEMAHAN TUTURAN DIREKTIF BAHASA INGGRIS KE BAHASA INDONESIA

Anna Uswatun Qoyyimah, Wiwin Rohmawati ............................................................................................... 1611

Dwi Haryanti, Siti Fatimah ............................................................................................................................. 1617


1280

PERBAIKAN KINERJA PROBE 4 TITIK MELALUI PELAPISAN PERAKDENGAN METODE ELECTROPLATING PADA VARIASI WAKTU DEPOSISI

Moh. Toifur, Didik AsmiartoProgram Studi Fisika, FMIPA Universitas Ahmad Dahlan Yogyakarta

Email: [email protected] 1 Girimulyo, Kulonprogo Yogyakarta

Email: [email protected]

Abstract

Pada penelitian ini telah dilakukan perbaikan kinerja alat probe 4 titik yang terbuat dari tembagadilapisi perak menggunakan teknik electroplating. Untuk menentukan waktu deposisi terbaikdilakukan percobaan pelopor deposisi perak pada pelat tembaga dengan waktu divariasi dari 30s – 180 s. Sebagai larutan elektrolit digunakan larutan kalium sianida dengan konsentrasi 27,6g/L yang dipanasi pada suhu 70C. Hasil deposisi menunjukkan bahwa waktu 90 s paling baikuntuk pembentukan lapisan perak berstruktur kristal homogenitas lapisan serta resistivitas (Rs)keping terendah yaitu (1,52 0,20) /sq. Selanjutnya parameter-parameter proses yang telahdiperoleh diaplikasikan pada pelapisan perak pada kaki-kaki probe 4 titik. Kinerja probe yangterlapisi perak diujikan pada lapisan NiFe yang sebelumnya telah diukur (36,41 4,29) /sq.Hasilnya diperoleh resistivitas keping (33,92 0,74) /sq sehingga deposisi Ag pada probe-probe Cu dapat memperbaiki kinerja probe 4 titik yaitu menurunkan resistivitas keping sebesar6,84%.

Keywords: Probe empat titik, electroplating, perak, tembaga.

1. PENDAHULUAN

Alat ukur probe empat titik adalah alatyang digunakan untuk mengukur nilairesistivitas (kerintangan) bahan dalambentuk lapisan tipis (thin film). Resistivitasmerupakan salah satu parameter yangsangat penting dalam kelistrikan. Untukkomponen elektronika seperti transistor,diode, dan sel surya, lapisan tipis padasambungan antara bahan yang bertipe Ndan P (P-N junction), nilai resistivitasmenentukan kemudahan proses migrasimuatan listrik (elektron atau hole) daribahan bertipe N ke bahan bertipe P dansebaliknya [1, 2 ]. Alat ukur ini terdiri dari4 probe dengan 2 probe terluar berfungsisebagai penghantar arus listrik, dan 2 probedalam untuk mengukur tegangan listrikketika keempat probe dikenakan padasampel (konduktor dan semikonduktor)yang akan diukur. Penggunaan alat inidisukai karena tidak membutuhkanpenyiapan sampel yang rumit sebelumdiukur dan hasilnya sangat akurat [3].

Perkembangan alat ini sangat pesat baikpada teori maupun produksi di industri,untuk penelitian dan untuk komersial.Huang dan Ladbrooke telahmengembangkan alat probe 4 titik khususuntuk lapisan jenis epitaxy, lapisan hasilimplantasi, dan lapisan hasil difusi.Pembeda masing-masing terletak padakekuatan penetrasi pada permukaan lapisan[4].

Pengembangan lain adalah pemendekanjarak antar kaki probe hingga 0,1 mm.Pemendekan ini bertujuan untukmeningkatkan validitas hasil ukur [5]. Lieet.al juga melakukan pengembangan baikdari teori maupun praktis sehingga menjadimicro four point probe dengan jarak antarprobe 1,5 m [3] sehingga dapat digunakanpada sampel non homogen [6]. Perbaikanhasil ukur lain adalah adanya faktor koreksiterhadap nilai resistivitas keping yangberbeda antara sampel yang berbentuk segiempat dengan sampel yang berbentuklingkaran [7].

Kinerja alat probe empat titik sangatbergantung diantaranya pada kemampuan


1281

probe menghantarkan arus listrik,kesempurnaan kontak antara sampel denganprobe [6, 8], jarak antar probe, dan luaspermukaan probe yang kontak dengansampel. Hantaran arus listrik tergantungpada jenis bahan serta keadaan bahan. Jenisbahan yang baik untuk probe diantaranyayang tidak mudah korosi seperti emas,perak, dan tungsten. Selain itu untukmembuat probe selalu baik dibutuhkanperawatan seperti pembersihan probe secararutin untuk membebaskan probe daripengotor akibat korosi, oksidasi, danpelemakan. Tindakan melapisi kaki-kakiprobe dengan lapisan konduktif (tipis) jugadapat memperbaiki kinerja probe 4 titik.Jika beberapa hal tersebut tidakdiperhatikan maka menjadikan kinerjaprobe 4 titik terganggu, yang berakibat nilairesistivitas keping menjadi tidak valid.

Lab. Fisika Univeristas Ahmad Dahlanmemiliki 3 unit probe 4 titik buatan sendiri.Alat ini biasa digunakan untuk mengukurresistivitas keping lapisan hasil deposisidengan teknik electroplating untuk untukmendukung matakuliah praktikum fisikamaterial serta penelitian dosen. Probe-probealat berbahan tembaga (Cu). Pada tahun2012 alat ini dipakai untuk mengukurlapisan NiFe hasil deposisi di atas substratkaca dengan teknik sputtering DC. Nilaiyang diperoleh (36,36 4.29) ohm/sq.Sampai sekarang tidak diketahui apakahnilai tersebut valid atau tidak. Demikianjuga tidak diketahui sejauh mana ketepatandan ketelitian alat tersebut. Oleh karena ituuntuk mengecek validitas kinerjanya padapenelitian ini dilakukan perbaikan kondisipemukaan kaki-kaki probe dengan melapisilapisan tipis konduktif Ag. Jika setelahdiperbaharui resistivitas keping lapisanmasih sama dengan sebelumnya makaperalatan masih bagus, namun jika setelahdiperbaiki resistivitas keping lapisan lebihkecil dari sebelumnya maka kinerja alattersebut kurang baik sehingga pelapisanpada alat ini dapat memperbaiki kinerjaalat.Metode pelapisan yang digunakan adalahelectroplating yang menggunakan peraksebagai bahan yang dilapiskan dan kalium

sianida (KCN) sebagai larutan elektrolit.Metode ini memiliki kelebihan antara lainlapisan hasil memiliki karakteristik yangserupa dengan target [9], dapatmeningkatkan ketahanan terhadap korosi,permukaan lapisan lebih homogen [10].Dipilihnya perak sebagai bahan yangdilapiskan karena nilai konduktivitas perakcukup besar yaitu σ = 6,25 × 107 Ω-1m-1,relatif murah, dan mudah didapat. Selain itujika perak dilapiskan ke tembaga makaadhesivitas perak terhadap tembaga kecilsehingga hantaran arus listrik lebihdidominasi oleh perak [11]. Demikian pulasecara mikroskopis tidak ada kesesuaianantara arah kristal tembaga dengan perak.

Pada electroplating ada beberapaparameter penting yang dapat diaturdiantaranya adalah arus listrik, waktudeposisi, suhu dan konsetrasi larutan[12],dan PH larutan [13]. Pada penelitian inidilakukan variasi waktu deposisi dari 30 ssampai 150 s untuk memperoleh waktuoptimum yang menghasilkan lapisandengan daya hantar listrik terbaik. Waktudeposisi berpengaruh pada tebal lapisan,namun ketebalan tidak selalu sebandingdengan waktu. Jika proses pelapisan sudahjenuh maka penambahan waktu tidakmempengaruhi penambahan ketebalan. Adawaktu optimum yang dapat menghasilkanlapisan yang memiliki daya hantar listrikpaling baik.

2. METODE PENELITIAN

A. Bahan

Bahan yang digunakan pada penelitianini terdiri dari :1. Probe 4 titik berbahan tembaga

berbentuk batang dengan ukuranpanjang 4 cm, diameter 1 mm (gambar1).

2. Pelat tembaga berukuran 3×1 cm2, tebal0,2 mm sebanyak 5 buah. Pelat inidigunakan untuk substrat pada


1282

percobaan pelopor yang akan dilapisiAg pada variasi waktu untukmenghasilkan parameter prosesdeposisi terbaik.

Gambar 1. Probe 4 titik sebelum dideposisdengan Ag.

3. Logam perak 1 gram sebagai bahanpelapis.

4. Larutan kalium sianida konsentrasi27,6 g/liter sebagai larutanelektrolit.

5. Lapisan tipis NiFe, sebagai bahanuji yang akan diukur resistivitaskepingnya.

B. Alat

Alat yang digunakan padapenelitian ini terdiri dari:1. Gelas kimia 400 ml untuk proses

electroplating.2. Dua buah elektroda yaitu pelat

perak sebagai anoda dan pelattembaga sebagai katoda untukpercobaan pelopor. Pada percobaansesungguhnya sebagai katodadigunakan 4 buah probe.

3. Regulator DC keluaran KukusuiElectronics Japan dengan batasmaksimal arus 1,2 A dan tegangan20 volt digunakan sebagai sumbertegangan.

4. Pengatur suhu tipe TEW IL-80ENdengan batas ukur 400 oC, untukmengatur suhu larutan elektrolitpada 70 oC.

5. Beberapa alat pendukung yaituprobe sensor tegangan dan probesensor arus yang dihubungkandengan Labquest sebagai interface,serta software loggerpro untukmenampilkan secara langsungtegangan dan arus melalui layarkomputer.

Semua alat ini dirangkai menggunakankabel penghubung seperti terlihat padagambar 2.

Gambar 2. Rangkaian alat pada proseselectroplating

C. Alat Karakterisasi

Alat yang digunakan untukkarakterisasi meliputi:

1. SEM untuk mengetahui tebal lapisanperak.

2. XRD merk Shimadsu tipe lab-X XRD-6000 untuk mengetahui struktur kristallapisan Ag/Cu.

3. Probe 4 titik untuk menentukanresistivitas keping lapisan NiFe.

D. Prosedur Penelitian

Beberapa tahapan yang dilakukan padaeksperimen ini meliputi:1. Penyiapan substrat. Dalam menyiapkan

substrat, lempeng tembaga setebal 0,2mm dipotong dengan ukuran 3×1 cm2.Selanjutnya pelat dicuci denganmenggunakan lerak dan dibilasmenggunakan air sampai bersih danmengkilat. Setelah proses pembersihanselesai, substrat Cu dikeringkanmenggunakan kertas tissue.

PengaturSuhu

Regulator DC

Pemanas

Gelas untuk prosesdeposisi


1283

2. Proses electroplating. Pada proseselectroplating disiapkan larutan KCNdengan konsentrasi 30,2 g/litersebanyak 500 ml. Selanjutnya peralatandirangkai seperti pada gambar 2.Larutan tersebut dipanaskanmenggunakan kompor listrik sampaisuhu mencapai 70 oC dengan mengaturknop pengatur suhu ke posisi 70 oCagar suhu larutan terjaga. Proseselectroplating dilakukan pada tegangan3 volt selama 30 s. Proseselectroplating diulangi dengan lamawaktu divariasi 60 s, 90 s, 120 s, dan180 s.

Menentukan tebal lapisan, struktur mikrolapisan, dan resistivitas keping lapisan,serta menentukan parameter proses terbaikdari semua sampel. Untuk menentukanresistivitas keping Rs digunakan metoderegresi linier antara arus dan tegangansehingga rumus untuk Rs [7, 14] :

I

VRs 2ln

(1)

Pada pengolahan data mengikuti regresilinier antara V dan I diperoleh

IRV s2ln

(2)

Jika ln2/. Rs dimisalkan slope grafik a,maka resistivitas keping

aRs 2ln

(3)

6. Melakukan deposisi 4 probe sesuaidengan parameter proses terbaik.Setelah selesai probe dipasangkansedemikian rupa sehingga menjadi alatprobe 4 titik.

7. Mengukur resistivitas keping lapisanNiFe dan membandingkan dengan nilairesistivitas keping lapisan NIFe hasilpengukuran pada tahun 2012.

3. HASIL DAN PEMBAHASAN

Pada gambar 3 ditampilkan foto tampangpermukaan lapisan perak yang

dideposisikan pada pelat tembaga,sedangkan gambar 4 menampilkan fototampang lintang Ag1/Cu/Ag2. Disini Ag1

adalah lapisan Ag hasil deposisi yangberhadapan dengan anoda Ag, sedangkanAg2 adalah lapisan Ag yang membelakangianoda Ag. Oleh karena itu Ag1 lebih tebaldari Ag2. Hasil pada gambar 3 miripdengan hasil yang diperoleh Cheng dkk.yang membuat lapisan Ag/Cu/Ru [15].Pada keadaan demikian Cheng menyatakanbahwa lapisan perak telah melekat padalapisan Cu. Merujuk pada ungkapan Chengmaka pada deposisi ini telah diperolehlapsian perak yang melekat pada pelat Cu.

Gambar 3. Foto tampang permukaan pelattembaga setelah dideposisi dengan perak

menjadi Ag/CuDari pengukuran menggunakan SEMtampang lintang di 5 tempat diketahuibahwa tebal rata-rata Cu (14,5 1,23) m.Hasil ini cukup teliti mengingat simpanganbaku kurang dari 10% sehingga dapatdikatakan bahwa lapisan yang tebentukcukup homogen.


1284

Gambar 4. Foto tampang lintang lapisanAg/Cu

Pada gambar 5 ditampilkan pola difraksisinar X untuk lapisan Ag/Cu hasil deposisiselama 90 s. Pada sampel tersebut keduaunsur telah menampakkan struktur kristal.Diharapkan dengan susunan kristalin iniakan berdampak secara signifikan terhadapsifat listriknya.

Gambar 5. pola difraksi sinar X padalapisan Ag/Cu.

Hasil akuisisi data tegangan dan arus olehsoftware loggerpro untuk masing-masingsample jika digambar kurva tegangan-arusmaka diperoleh grafik sebagaimanaditampilkan pada gambar 6. Data difittingmenurut garis lurus sesuai dengan pers. (1).

0,00

0,05

0,10

0,15

0,20

0,25

0,30

0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7

Kuat arus (ampere)

Tega

ngan

(vol

t)

30 detik

60 detik

90 detik120 detik

180 detik

Gambar 6. Kurva tegangan-arus untuksample hasil deposisi selama 30 s – 180 s .

Dari slope grafik dari masing-masing kurvajika diolah sesuai dengan pers. (2) makadiperoleh resistivitas keping masing-masingsampel. Pada gambar 7 ditampilkanresistivitas keping masing-masing sampel.

1,40

1,50

1,60

1,70

1,80

1,90

0 30 60 90 120 150 180 210

Waktu deposisi (detik)

Tega

ngan

(vol

t)

Gambar 7. Resistivitas keping lapisanAg/Cu hasil electroplating pada variasi

waktu deposisiSesuai dengan tujuan semula yaitumemperoleh lapisan konduktif yang terbaik,maka sampel terbaik adalah yang memilikikonduktivitas terbesar atau resistivitasterkecil sehingga lebih mudahmenghantarkan arus listrik. Dari gambar inidiperoleh resistivitas keping terkecilbersesuaian dengan waktu deposisi 90 s.

Selanjutnya parameter deposisi inidigunakan untuk melakukan deposisi Agpada probe-probe Cu pada alat probe 4 titik.Hasil probe yang telah dideposisisebagaimana ditunjukkan pada gambar 8.

CuCu Cu

Ag[111] Ag

200]

Ag[220]

Ag[214]

Lapisan perakdepan Ag1

Pelat tembaga

Lapisan perakbelakang, Ag2


1285

Gambar 8. Foto kaki probe setelahdideposisi dengan Ag.

Selanjutnya setelah probe-probe yang telahdeposisi ini dipasang pada alat probe 4 titikdigunakan untuk mengukur resistivitassampel uji lapisan tipis NiFe. Nilairesistivitas keping lapisan tipis NiFe yangditentukan menggunakan probe 4 titiksetelah probe dilapisi dengan Ag sebesar Rs

= (33,92 ± 0,74) Ω/sq.Pada tabel 1 ditampilkan nilai Rs

lapisan NiFe yang diukur menggunakanprobe 4 titik sebelum dan setelah dideposisi.

Tabel 1. Pembandingan nilai resistivitaskeping lapisan nife diukur dengan probe 4

titik sebelum dan setelah di deposisi.

Rs lapisan NiFesebelum

electroplating

Rs lapisan NiFesetelah

electroplating

RalatRelatif

(36,41 ± 4,29)Ω/sq

(33,92 ±0,74)Ω/sq

6,8%

Dengan berkuranya nilai resistivitas kepinglisan NiFe setelah diukur menggunakanprobe berlapisn Ag menunjukkan bahwadeposisi lapisan Ag selama 90 s pada kaki-kaki probe menjadikan kaki-kaki probelebih mudah menghantarkan arus listrik.Perbaikan kinerja alat probe 4 titikmeningkat sebesar 6,8%.

4. KESIMPULAN

Dari pembahasan diatas telah berhasildilakukan proses deposisi Ag pada substratpelat Cu dan pada kaki-kaki probe alat

probe 4 titik. Selanjutnya dari hasil-hasilyang diperoleh dapat disimpulkan:1. Lama deposisi yang paling baik untuk

menghasilkan lapisan Ag/Cu adalah 90s .

2. Pada deposisi kaki-kai probe 4 titikdalam waktu 90 s ini mampumemperbaiki kinerja probe 4 titikdalam bentuk penurunan resistivitaskeping lapisan sebesar 6,84% dariresistivitas keping semula.

UCAPAN TERIMAKASIH

Peneliti mengucapkan terimakasih yangsebesar-besarnya kepada LembagaPenelitian dan Pengembangan UniversitasAhmad Dahlan Yogyakarta yang telahmendanai penelitian ini melalui kontrakpenelitian No. PF-159/LPP-UAD/III/2016.

5. DAFTAR PUSTAKA

[1]A.P. Schuetze, W. Lewis, C. Brown,and W. J. Geerts, ”A Laboratoryon The Four-Point ProbeTechnique”, Am. J. Phys. 72(2),February 2004, pp. 149 – 153.

[2]R. Kinder, M. Mikol asek, D. Donoval,J. Kovac, M. Tlaczala,“Measurement System WithHall and A Four Point Probesfor Characterization ofSemiconductors” Journal ofElectrical Engineering, Vol. 64,NO. 2, 2013, 106–111.

[3]J.C. Li, Y. Wang, and D.C. Ba.“Characterization ofSemiconductor SurfaceConductivity by UsingMicroscopic Four-Point ProbeTechnique”, Physics Procedia32 ( 2012 ) pp. 347 – 355

[4] R.S. Huang, P.H. Ladbrooke , “The Use ofA Four-Point Probe for ProfilingSub-Micron Layers”, Solid-StateElectronics , Volume 21, Issue 9,September 1978, Pages 1123-112.


1286

[5]Y. Sato, T.Ogiwara, M. Suzuki, T.Kikuchi, and S. Kiyota,“Development of Fine-PitchFour Point Probe for HighSpatial Resolution SheetResistance Measurement”,Journal of Surface Analysis, vol.11. no. 2 (2004) pp. 58-61.

[6]F.Wang, D.H. Petersen, F.W. Osterberg,O. Hansen, “Accuracy of MicroFour-Point Probe Measurementson Inhomogeneous Samples: AProbe Spacing DependenceStudy”, 2009 17th InternationalConference on Advanced ThermalProcessing of Semiconductors,Sept. 29 2009-Oct. 2 2009, pp.1-6. ISSN. 1944-0251.

[7] F.M. Smith, “Measurement of SheetResistivities with the Four-PointProbe”, Bell Lab Technical Journal,29 Juli 2013 (version record online), pp 1538-7305.

[8]D.H. Petersen, R. Lin, T.M. Hansen, E.Rosseel, W. Vandervorst, C.Markvardsen, D. Kjær, and P. F.Nielsen, “Comparative Study ofSize Dependent Four PointProbe Sheet ResistanceMeasurement on LaserAnnealed Ultra-ShallowJunctions, 2008, J. Vac. Sci.Technol. B 26, 362.

[9]R.E. Smallman, Metalurgie FisikModern, Edidi ke-4, GramediaPustaka Utama.

[10] S. Strehle, S. Menzel, J.W. Bartha,K. Wetzig, “Electroplating ofCu(Ag) Thin Films forInterconnect Applications”,Microelectronic EngineeringVolume 87, Issue 2, February2010, Pages 180–186

[11] N. Okamoto, F. Wang, and T.Watanabe, “Adhesion ofElectrodeposited Copper, Nickeland Silver Films on Copper,Nickel and Silver Substrates”,

Materials Transactions, Vol. 45,No. 12 (2004) pp. 3330 – 3333.

[12] H.H. Lou and Y. Huang,Electroplating, Encyclopedia ofChemical Processing.

[13] M. Schlesinger and M. Paunovic,Modern Electroplating, FifthEdition, 2010, John Wiley &Sons, Inc.

[14] M. Toifur, “Memahami ResistivitasBerbagai Jenis Probe Arus-Tegangan”, ProsidingPertemuan Ilmiah XXVIII HFIJateng & DIY, Yogyakarta, 26April 2016.

[15] C. Cheng, T. Arunagiri, and O.Chyan, “Electrodeposition ofSilver and Copper/SilverMultilayer on RutheniumSubstrate as a Potential NewMetal Interconnect forIntegrated Circuits”, AmericanJournal of UndergraduateResearch, Vol. 2 no. 1 (2003),pp 11-18.

perbaikan kinerja probe 4 titik melalui pelapisan perak...

Documents