Akurasi merupakan ukuran yang menunjukkan kedekatan hasil analisis terhadap nilai yang sebenarnya. Sedangkan yang dimaksud dengan presisi adalah ukuran yang menunjukkan penyebaran data yang diperoleh jika pengukuran dilakukan secara berulang. Semakin menyebar data maka semakin rendah tingkat presisi dari metode/instrumen tersebut.

Akurasi ditetapkan melalui uji rekoveri. Uji rekoveri dilakukan dengan men-spike (menambahkan) analat target pada konsentrasi tertentu ke dalam sampel. Semakin tinggi tingkat presisi dari suatu metode, maka semakin besar nilai rekoveri yang diperoleh.

Tingkat presisi dapat diperoleh dari nilai RSD (relative standard deviasion) hasil pengukuran sampel pada beberapa seri pengulangan. Semakin tinggi tingkat presisi dari suatu metode/instrumen maka semakin rendah nilai RSD-nya.

Selektivitas atau spesifisitassuatu metode adalah kemampuannyayang hanya mengukur zat tertentusaja secara cermat dan seksamadengan adanya komponen lain yangmungkin ada dalam matriks sampel.Selektivitas seringkali dapat dinyatakan sebagai derajat penyimpangan(degree of bias) metode yang dilakukanterhadap sampel yang mengandungbahan yang ditambahkan berupacemaran, hasil urai, senyawa sejenis,senyawa asing lainnya, dan dibandingkan terhadap hasil analisis sampel yang tidak mengandung bahanlain yang ditambahkan.

Batas deteksi adalah jumlah terkecil analit dalam sampel yang dapatdideteksi yang masih memberikanrespon signifikan dibandingkandengan blangko. Batas deteksi merupakan parameter uji batas. Bataskuantitasi merupakan parameterpada analisis renik dan diartikansebagai kuantitas terkecil analit dalam sampel yang masih dapat memenuhi kriteria cermat dan seksama.