III. METODOLOGI PERCOBAAN

1. Alat dan bahan. PMMA sebagai coater, toluene sebagai pelarut. substrat kaca sebagai media untuk di pelapisan. sendok timbang dan lertas timbang, serta neraca sebagai alat untuk mengatur kosnentrasi. Botol kaca dan pipet tip, sebagai media larutan dan alat meneteskan larutan. Staining jar sebagai alat meletakan substrat. Megnetik stirer sebagai pengaduk larutan. Ultasonnic bath sebagai alat membersihkan substrat. Spin coater sebagai pemutar substrat. Oven vakum sebagai alat menguapkan pelarut. Spektrometer sebagai alat mengkarakterisasi film tipis2. Prosedur PercobaanA. Persiapan Larutan1. Menentukan konsentrasi larutan (3%, 5%, dan 7%)2. Menghitung volume pelarut dan massa PMMA3. Mencampur PMMA dengan zat pelarut toluene sesuai konsentrasinya4. Mengaduk larutan dengan magnetic stirer (proses stiring) selama 12 jamB. Persiapan Substrat1. Menggores kaca dengan alat penggores kaca dengan ukuran 2,5 cm x 2,5cm2. Meletakkan kaca diatas kaca lain (yang tidak digunakan) kemudian ditekan hingga patah sesuai goresan yang telah dibuat.3. Membuat substart kaca dengan cara yang sama hingga terdapat G substart kaca.4. Mencuci keenam substart dengan teepol agar menghilangkan lemak pada substart.5. Memasukkan substart ke dalam staining jar dan menuangkan aquades ke dalam staining jar.6. Staining jar berisi substart dan aquades diletakkan kedalam ultrasonic bath dan mengatur parameter:Time : 10 menitTemperatur : 27CPower : 5 WattFrequency : High7. Setelah selesai, temperatur menunjukkan nilai 47C, staining jar dikeluarkan dari ultrasonic bath dan aquades dibuang.8. Staining jar diisi kembali menggunakan aceton dan di letakkan kembali kedalam ultrasonic bath dengan parameter yang sama.9. Setelah selesai, substart yang telah dicuci diletakkan pada tempat yang aman.

C. Proses Pelapisan1. Mengambil substart dari staining jar.2. Menetesi substart dengan larutan PMMA dengan konsentrasi 3% hingga merata menggunakan pipet.3. Meletakkan substart yang terdapat larutan PMMA diatas spin coater.4. Menyalakan pompa vacuum.5. Menekan tombol start pada spin coater.6. Mengatur kecepatan 1000 rpm.7. Mengatur waktu 60s.8. Ketika spin coater berhenti, mengambil hasil film tipis.9. Meletakkan film tipis diatas hot plating dengan suhu 60C.10. Meletakkan lapisan tipis yang sudah selesai dibuat diatas tissue.11. mengulang prosedur 6-10 dengan kecepatan 1500 rpm.12. Mengulangi prosedur 2-11 dengan konsentrasi 5%-7%.

D. Mengkarakterisasi ketebalan dengan spektrometer UV-Vis1. Menyalakan komputer dan spektometer UV-Vis.2. Membuka software UV Win.3. Memasukkan kain hitam pada spektrometer, kemudian klik measure: dark current correction.4. Mengeluarkan kain hitam setelah selesai.5. Melakukam baseline udara dengan cara mengklik measure lalu pilih baseline correction.6. Memasukkan sampel (film tipis) ke spektrometer, klik start pada program, tunggu hingga selesai.7. Klik full view, zoom kurva hingga dapat spektrum interferensi.8. Menyimpan data dengan type SPD.9. Mengexport data: klik exportdata, klik file yang akan diexport, export type: ubah jadi TXT, klik OK.10. Mengulangi prosedur untuk semua flm tipis.