penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

6
Pertemuall don Perselllasil/miah PPNY-BATAN Yogyakarta, 23-25 April 1996 Bub I 87 PENENTUAN INDEKS BIAS DAN REFLEKTIVIT AS LAPISAN TIPIS DENGAN METODA SERAP AN OPTIK Sigit Hariyanto,Anwar Budianto,Subarkah,Trimarji Atmono PPlvT-BA 7>I.V, JI. Babarsari Po. Box Inos, }'ogyakarta 550/0 ABSTRAK P£.~'ENTUAN INDEKS BIAS DAN REFLEKTIVITAS LAPISAN TIPIS DENGAN METODA SERAPAN OPTIK. Telalr dilakukan penenlllan indeks bias dan rejlektivitas lapisan tipis ASi:H don SiOx dengan metoda ~'erapan optik. Pengukuran dilakukan setelalr menyusun sistem optik yang terdiri dart sumber calraya lampu halogen, monokromator, cuplikan, dan detektor cahaya. Keluaran monokromator menunjukkan balrwa spektrum calrayalampu halogen terukur mulai 470 nm sampai 750 nm. Tegangan lampu maksimal 220 Volt, intensitas keluaran pada panjang gelombang makin besar diperoleh semakin tinggi. pada panjang gelombang 725 nm kecenderungan intensitasnya menurun. Hasil perhitungan indeks bias bervariasi tergantlmgpada panjang gelombang, indeks bias rerata ASi:H adalah nfa 1,753, rejlektivitas total udara-lapisan lipis substrat RTa=O,315. Pada lapisan SiOx diperoleh indeks bias rerata njb2,182 dan refleklivitas total RTb = 0.514. ABSTRACT DETERMINATION OF REFRACTIVE I.VDEXA.\D REFLECT/VITY OF THIN LAYER WITH OPTICAL ABSORPTION METHODE. The refractive index and reflectivity of ASi:H and SiOx thin layer have been observed by optical absorption methode. Measurement has been done after the preparation of optical system which consists of a halogen lamp light source, monocrhomator, sample and light detector. The Monochromator output showed that measured halogen lamp spectrum light is between 470 nm - 750 nm. The maximum ~'oltageof halogen lamp is 220 Volt, the output light increases in intensity while the wave length increases. The inclination of intensity decrease at the wave length of 725 nm. The result of the calculation of refractive index varies in accordance with the wave length. The average refractive index ofASi./-I is nfa = 1.753. The total reflectivity of air-thin layer-substrat is Rta = 0.3J5. The refractive index of SiOx sample is njb2.IS2 and the total reflectivity is RTb=O,5J4. PENDAHULUAN D ewasa ini perhatian para ilmuwan banyak tertuju pada pengembangan bahan unggul lapisan tipis khususnya silikon amorf berhidrogen A Si:H. Pemakaian lapisan tipis pada berbagai keperluan antara lain bidang optik, bidang optoelektronik (solar sel, thin film display), mikro elektronik clan lain sebagainya. Untuk mengetahui sifat-sifat bahan lapisan tip is A Si:H yang berbeda dengan semikonduJ...'tor, maka perro dikaraJ...'terisasi struktur kristal, keadaan pennukaan, sifat tennal, sifat optik, sifat listrik daD sebagainya. Pada makalah ini akan diukur beberapa sifat optik lapisan tipis antara lain retlektivitas, indeks bias dari ASi:H daD SiOx pada berbagai panjang gelombang. Indeks bias lapisan tipis suatu bahan merupakan parameter yang penting, daD sangat mel11pengaruhisifat optiknya. Selain itu dengan mengetahui retlektivitas, indeks bias clan tebal lapisan tip is, l11aka dapat memerikan infol1Tlasi tentang koefisien serapan optik, energi gap, clan kerapatan elektron pada pita valensi. Untuk' keperluan penentuan indeks bias clan retlektivitas lapisan tipis akan dikonstruksi sistem pengukuran serapan optik dengan menggunakan somber cahaya lampu halogen yang ada di pasaran. Penyusunan somber cahaya, sistem optik, tempat cuplikan daD detektor cahaya akan disusun pada makalah ini sebelum melakukan pengukuran. TEORI DASAR Suatu somber cahaya apabila dilewatkan pada suatu lapisan tipis transparan, maka sebagian cahaya tersebut akan ditransmisikan daD sebagian akan diretleksikan kembali oleh lapisan tipis tersebut. Dengan mengukur transmisi clan retleksi cahaya pada lapisan tipis, maka diperoleh infonnas,i tentang band edge, koefisien serapan ISSN 0216-3128 Sigit Haryanto, dkk.

Upload: buitu

Post on 12-Jan-2017

238 views

Category:

Documents


11 download

TRANSCRIPT

Page 1: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

Pertemuall don Perselllasil/miah

PPNY-BATAN Yogyakarta, 23-25 April 1996 Bub I 87

PENENTUAN INDEKS BIAS DAN REFLEKTIVIT ASLAPISAN TIPIS DENGAN METODA SERAP AN OPTIK

Sigit Hariyanto,Anwar Budianto,Subarkah,Trimarji AtmonoPPlvT-BA 7>I.V,JI. Babarsari Po. Box Inos, }'ogyakarta 550/0

ABSTRAK

P£.~'ENTUAN INDEKS BIAS DAN REFLEKTIVITAS LAPISAN TIPIS DENGAN METODA SERAPANOPTIK. Telalr dilakukan penenlllan indeks bias dan rejlektivitas lapisan tipis ASi:H don SiOx denganmetoda ~'erapan optik. Pengukuran dilakukan setelalr menyusun sistem optik yang terdiri dart sumbercalraya lampu halogen, monokromator, cuplikan, dan detektor cahaya. Keluaran monokromatormenunjukkan balrwa spektrum calrayalampu halogen terukur mulai 470 nm sampai 750 nm. Teganganlampu maksimal 220 Volt, intensitas keluaran pada panjang gelombang makin besar diperoleh semakintinggi. pada panjang gelombang 725 nm kecenderungan intensitasnya menurun. Hasil perhitunganindeks bias bervariasi tergantlmgpada panjang gelombang, indeks bias rerata ASi:H adalahnfa1,753, rejlektivitas total udara-lapisan lipis substrat RTa=O,315. Pada lapisan SiOx diperoleh indeksbias rerata njb2,182 dan refleklivitas total RTb = 0.514.

ABSTRACT

DETERMINATION OF REFRACTIVE I.VDEXA.\D REFLECT/VITY OF THIN LAYER WITH OPTICALABSORPTION METHODE. The refractive index and reflectivity of ASi:H and SiOx thin layer have beenobserved by optical absorption methode. Measurement has been done after the preparation of opticalsystem which consists of a halogen lamp light source, monocrhomator, sample and light detector. TheMonochromator output showed that measured halogen lamp spectrum light is between 470 nm -750 nm.The maximum ~'oltageof halogen lamp is 220 Volt, the output light increases in intensity while the wavelength increases. The inclination of intensity decrease at the wave length of 725 nm. The result of thecalculation of refractive index varies in accordance with the wave length. The average refractive indexofASi./-I is nfa = 1.753. The total reflectivity of air-thin layer-substrat is Rta = 0.3J5. The refractive indexof SiOx sample is njb2.IS2 and the total reflectivity is RTb=O,5J4.

PENDAHULUAN

Dewasa ini perhatian para ilmuwan banyaktertuju pada pengembangan bahan unggul

lapisan tipis khususnya silikon amorf berhidrogenA Si:H. Pemakaian lapisan tipis pada berbagaikeperluan antara lain bidang optik, bidangoptoelektronik (solar sel, thin film display), mikroelektronik clan lain sebagainya. Untuk mengetahuisifat-sifat bahan lapisan tipis A Si:H yang berbedadengan semikonduJ...'tor,maka perro dikaraJ...'terisasistruktur kristal, keadaan pennukaan, sifat tennal,sifat optik, sifat listrik daD sebagainya.

Pada makalah ini akan diukur beberapa sifatoptik lapisan tipis antara lain retlektivitas, indeksbias dari ASi:H daD SiOx pada berbagai panjanggelombang. Indeks bias lapisan tipis suatu bahanmerupakan parameter yang penting, daD sangatmel11pengaruhisifat optiknya. Selain itu denganmengetahui retlektivitas, indeks bias clan tebal

lapisan tipis, l11aka dapat memerikan infol1Tlasitentang koefisien serapan optik, energi gap, clankerapatan elektron pada pita valensi.

Untuk' keperluan penentuan indeks bias clanretlektivitas lapisan tipis akan dikonstruksi sistempengukuran serapan optik dengan menggunakansomber cahaya lampu halogen yang ada di pasaran.Penyusunan somber cahaya, sistem optik, tempatcuplikan daD detektor cahaya akan disusun padamakalah ini sebelum melakukanpengukuran.

TEORI DASAR

Suatu somber cahaya apabila dilewatkanpada suatu lapisan tipis transparan, maka sebagiancahaya tersebut akan ditransmisikan daD sebagianakan diretleksikan kembali oleh lapisan tipistersebut. Dengan mengukur transmisi clan retleksicahaya pada lapisan tipis, maka diperolehinfonnas,i tentang band edge, koefisien serapan

ISSN 0216-3128 Sigit Haryanto, dkk.

Page 2: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

88 Buku/Prosiding Pertemuon don Presentasi /Imioh

PPNY-BATAN Yogyalcorto.23-2J April/996

optik, energi gap daDsebagainya. Transmisi cahayamelalui suatu permukaan udara lapisan tipissubstrat diberikan oleh BRODSKY(l) :

T (I+R1XI-~XI-R3)!-a'= 2 2a1(/)(1-~R3)[I-{R1~ +R,R3(I-R2)}e- ]

dengan kostanta RI, R2, daD R3 masing-masingmenyatakan ret1ektivitas udara-Iapisan tipis,lapisan tipis-gelas, daDgelas-udara, d adalah teballapisan tipis, T adalah transmisivitas yaituperbandingan intensitas cahaya transmisi denganintensitas cahaya yang datang pacta lapisan tipis.Hubungan antara ret1ektivitas daD indeks biaslapisan tipis diberikan oleh BAHL'S(2,3),

R Jnj -1)21-

(n) + 1)2

(nf-n )2

R- ..I(nf + nJ2

R1=(n, - 1)2(n, + 1)2

dengamn os. no, nf masing-masing menyatakanindeks bias substrat, udara daD lapisan tipis.Sedangkan hubungan antara ret1ektivitas total RTudara-Iapisan tipis-substrat dengan indeks biasdinyatakan oleh NUSSBAUM(4,3):

,nj - non.,

Rr- 2nl + non,

(5)

Indeks bias lapisan tipis umumnyaditentukan atau dihitung dari transmisi cahayamaksimum daD minimum pacta daerah serapanmenurut BRODSKY(I), akan tetapi tanggap dariphoto-diode sebagai detektor cahaya menghasilkannilai maksimum daD minimum yang sulitdibedakan. Karena itu CRUDER daD A.R.DANKER(3) mengukur indeks bias dengan tekniksecara langsung dengan susunan peralatanditunjukkan pactagambar I.

#:-III

DErtnOI

I.

111 ,ifr

Gambar 1. Teknik pengukl/ran indeks bias.

(2)

Seberkas cahaya dilewatkan pada cerminpemecah berkas, sebagian akan dibelokkan daDscbagian akan' diteruskan menuju arab normallapisan tipis sebesar 10. Intensitas cabaya yangdipantulkan oleh lapisan IRI kembali melewatipemecah berkas, sebagian diteruskan daD sebagiandipantulkan sebesar IR2 menuju detektor.Hubungan amara intesitas cahaya yang mengenailapisan tipis daD detektor dinyatakan olehpersamaan(6).

(3) IR] =R~5 IRJ (6)

(4)

dengan R45 menyatakan ret1ektivitas pemecahberkas pacta sudut 45°. Dari persamaan (5) akandiperoleh ret1ektivitas total RTantara udara lapisantipis-substrat,

Rr = JR, /Jo = JR] flu R45 (7)

TATA KERJA DAN PERCOBAAN

Peralatan yang digunakan pacta pengukuranret1ektivitasdaDindeks bias lapisan tipis terdiri darisumber cahaya lampu halogen, monokromator, daDsistem optik, yang terdiri dari lensa positif

II1dI.L«DI

ISIJAJOI

Gambar 2. Sistem penyambllng /ampl/ denganmonokromator

Sigit Haryanto. dkk. ISSN 0216-312S

Page 3: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

Perten/llan don Persentas; IImtah

PPNY-BATAN Yogyalwrta. 23-25 Apri//996 Bulat/ 89

clancennin pemecah berkas serra detektor cahaya.Somber eahaya yang digunakan adalah lampuhalogen 500 Watt dengan dimensi reflektor 13 x17,5 em. Lampu halogen dipilih sebagai sombercahaya karena memiliki spektrum panjanggelombang yang lebar seperti ditunjukkan padagambar 3. Supaya dapat dihubungkan denganmonokromator clancahaya dapat terarah masuk kelubang masukan berbentuk silinder (d = 2,5cm),maka dibuatkan sistem penyambung dibuat dariplat besi clan diisolasi dengan batu tahan api,bagan lengkap ditunjukkan pada gambar 2.

..I::, ...

~i ~~

.'s .-ih :-.i I

) ::.t H5i ::f::

~ =I" -. -~ ::. ..

"..AYOUManc 'UNG.I-II

Gambar 3. Spektrum panjang gelombang lampuhalogen.

Monokromator ripe H25 buatan Yobin Yvonterdiri dari sebuah kisi cermin (grating) besertapemutamya clan empat buah eennin pemantul.Sumber cahaya lampu halogen masuk ke dalammonokromator pantulkan ulang oleh cennin ke kisicermin sehingga terjadi dispersi eahaya. Cahayayang terdispersi dipantulkan oleh cennin keluarmonokromator dengan panjang gelombang tunggal.Untuk memperolehsumbercahayamonokromatispada berbagai panjang gelombang, telah disediakanpemutar kisi cennin monokromator.

Pada penelitian ini diawali dengan mengukurintensitas keluaran lampu halogen dengan berbagaitegangan, clansusunan pereobaan pengukuran spek-trumcahayalampuditunjukkanpada gambar4.

Sistem optik yang digunakan untukmengukur indeks bias terdiri dari lensa positif clancennin pemeeah berkas, clan tempat euplikanditempatkanpadatempattertutupuntukmengurangiderau cahaya dari luar. Susunan lengkap percobaanpengukuran reflektivitas clan indeks bias denganmetoda serapan optik ditunjukkan pada gambar 5.Lensa positif pada keluaran monokromatordimaksudkan untuk mengarahkan eahaya kecuplikan. Tegangan lampu halogen dapat diaturpada 0 -220 Volt.

p

Gambar 4. Susunan percobaan pengukuran spek-trum lampu halogen. L = lampuhalogen, C = cermin pemantul,Gr =kisi cermin, P = pemutar kisi.

PIIIYMaICPItIIQfIII-

lAPIIWIf!Pml1OlIO_TOR

IAIIPUIw.oc:IIt

Gambar 5. Susunan percobaan serapan optikuntuk mengukur reflektivitas danindeks bias.

Besamya tegangan lampu yang diberikantergantung pada kemampuan intensitas eahayasampai ke detektor clan spektrumeahaya yangdikehendaki. Keluaran eahaya pada monokromatorsudah mempunyai panjang gelombang tertentu,nilainya dapat dilihat pada skala pemutar kisicennin. Cahaya tersebut dilewatkan pada eenninpemecah berkas, sehingga sebagian dibelokkanclan sebagian diteruskan ke arab cuplikan lapisantipis. Cahaya sebelum mengenai cuplikan diukurintensitasnya, clan setelah dipantulkan olehcuplikan dibelokkan oleh cennin pemecah berkaske detektor diukur lagi intensitasnya. Untukmenentukan reflektivitas pemecah berkas dapatdilakukan dengan mengukur perbandingan antaraintensitas cahaya yang dipantulkan oleh pemecahberkas dengan intensitas cahaya yang datangpada permukaannya. Pengukuran intensitas clanreflektivitas dilakukan pada panjang gelombangyang berbeda-beda dengan tara memutar gratingpada monokromator.

ISSN 0216-3128 Sigit Haryanto, dIck.

Page 4: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

90 Buku/Prosiding Perlemuan don Presentasi IImiah

PPNY-BATAN Yogyakarla. 23-25 April /996

HASIL DAN PEMBAHASAN

Penelitian ini diawali dengan mengamatikarakteristik sumber cahaya lampu halogen yangmerupakan sumber polykromatik. Untukmemperoleh cahaya monokromatis pacta berbagaipanjang gelombang, cahaya lampu halogen harusdilewatkan monokromator. Hasil pengukuranspektrum cahaya pacta berbagai tegangan lampumulai dari 140 Volt sampai 200 Volt ditunjukkanpacta gambar 6. Spektrum cahaya lampu halogen500W yang diperoleh dari pasaran dapat diukurmulai dari 430nm sampai 750nm. Dari basilpengukuran intensitas cahaya pada berbagaipanjang gelombang terlihat bahwa makin besartegangan lampu maka intensitas yang dihasilkanlebih besar. Intensitas cahaya lampu cenderungsemakin besar untuk panjang gelombang semakinbesar. Pactapanjang gelombang 725 nm intensitascahaya mempunyai kecenderungan untukmenurun. Dari basil percobaan pacta tegangansemakin tinggi suhu sekeliling reflektor clanpenyambung semakin tinggi, oleh karena itupemilihan tegangan untuk pengukuran cuplikanlapisan tipis disesuaikan dengan kemampuandetektor agar dapat menerima pantulan daricuplikan.

.

.~~

NI

IC~.IZI~Z.

III

Alet.III

. let.lal

0 let.III

. let..1

Gambar 6. Inlensila keluaran lampu halogen padaberbagai legangan sebagai lungsipanjang gelombang.

Penentuan reflektivitas pemecah berkas R45dilakukan dengan menghitung perbandinganintensitas antara cahaya yang dipantulkan olehpemecah berkas clan cahaya yang datang pactapemecah berkas. Ternyata dari basil perhitungannilai R45 untuk berbagai panjang gelombang

bervariasi antara 0,199 sampai 0,498. Hal inidisebabkan oleh pengaruh ketebalan lapisan padapermukaan pcmccah berkas clan panjanggelombang yang mengenainya. Hasil lengkapreflektivitas pemecah berkas pacta sudut 45° pactaberbagai panjang gelombang ditunjukkan padagambar 7.

II .I.:

j...

Gambar 7. RejIeklivitas pemecah berkas pada ber-bagai panjang gelombang.

Dengan menggunakan susunan percobaanpacta gambar 5 dapat diukur intensitas cahayasebelum mengenai lapisan tipis 10, kemudiansetelah dipasang cuplikan ASi:H maupun SiOxdapat diukur intensitas pantulan cahaya kedetektor IR2. Untuk memperoleh nilai indeks biaslapisan tipis clan reflektivitasnya dihitung denganmenggunakan program Turbo Basic pacta panjanggelombang 470 nm sampai 750 om, dengan setiapacta perubahan panjang gelombang 40nm.

Nilai reflektivitas total RT diperoleh denganmemasukkan 10,1R2clan R45 kedalam persamaan(7). Besamya indeks bias lapisan tipis of,reflektivitas udara-Iapisan tipis R1, reflektivitaslapisan tipis-substrat R2 diperoleh denganmemasukkan nilai indeks bias masing-masing kepersamaan (2) clan (3). Pada perhitungan ini,indeks bias udara no = 1 clan indeks bias substrat ns= 1,5. HasH lengkap perhitungan indeks bias clanreflektivitas lapisan tipis ASi:H clan SiOx pactaberbagai panjang gelombang ditunjukkan pactagambar 8 clan gambar 9. Pacta gambar 8 terlihatbahwa indeks bias lapisan ASi:H maupun SiOxsemakin kecil pacta panjang gelombang semakinbesar sampai pacta batas tertentu, clan mulaimembesar sehingga membentuk hiperbolik. Polaini sesuai dengan basil yang diperoleh oleh M.R.MuhammadclanA.R.Danker (3,5).

Sigit Haryanto. dkk. ISSN0216-3128

Page 5: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

Perlemuan don Persentasi /lmiah

PP!\T-BArAN Yogyakarla. 23-25 April 1996 Hukill 91

).

. 1101

Gambar 8. Hubungan antm"a indeks bias don pan-long ge/ombang

Gambar 9. Hubzmgan antara Refletivitas total danpanjang ge/ombang.

KESIMPULAN DAN SARAN

Dari nasil pengukuran retlektivitas clanindeks iapisan tipis dengan metoda serapan optikdapat disimpulkan sebagai berikut:

I. Telan dikonstruksi clan telan berfungsi sistempengukuran serapan optik untuk mengukurindeks bias clan retlektivi tas lapisan tipisASi:H clanSiOx.

2. Sumber canaya lampu halogen 500 watttelan terukur spektrum panjang gelombangmulai dari 470nm sampai 750 om pactaberbagai tegangan clan retlektivitas pemecahberkas R45 sistem optik 0,199 - 0.498.

3. Pacta bahan lapisan !iris ASi:H, telahdiperoleh secara perhitungan nilai rerataindeks bias nfa'"1,753 clan retlektivitas totalRTa=O,315.

4. Pada bahan lapisan tipis SiOx, diperolen hargarerata indeks bias nfb"'2,182 clan retlektivitastotal RTb=514.

5. Sumber cahaya perlu diganti dengan daya lebihbesar, agar pantulan intensitas cahaya daricuplikan yang bermacan-macam dapatterdeteksi.

UCAPAN TERIMAKASIH

Penulis mengucapkan terimakasih kepadapara teknisi Litkayasa, Saudara Sumaji, SlametRiyadi, Sayono yang telan membantu pelak-sanaanpenelitian ini.

DAFTAR PUSTAKA

I. BRODKY M.H., TITLE R.S., WEISER K.,"Physical Review B", I, No.6, P 2633, (I 970).

2. BAHL S.K., BHAGAT S.M., "J. of Non-Cryt.Solids", 17, p418, (1975).

3. ANSELM RAYMUND DANKER, "A GlowDischarge For The Fabri cation of ASi:H", TesisDoctor, August, 1985.

4. NUSSBAUM A., PHILLIPS R.A., Contem-porary Optics for Scientists and Engineers,Prentice-Hall, p186, (I 976).

5. M.R.MUHAMAD, W.H.A. NAJID, "OpticalTransition Charac teristic Energies ofAmorphous and Polycrystalline Tin OxideFilms", International Conferene On Thin FilmPhysics And Applications (1991).

TANYAJAWAB

Agus Purwadi-Apakah indeks bias clan retlektivitas yang. ditentukan hanya dari cuplikan yang dapat

memantulkan sinar ?- Bagaimana kalau lapisan tipis tersebut acta pacta

cuplikan bahan logamlbahan tak memantulkansinar ? Apakah juga dapat ditentukan indeksbiasnya.

Sigit Hariyanto- Berdasarkan mekanisme pengukuran indeks bias

atoll reflektivitas . hanya cuplikan yangmemantu/kan cahaya yang digunakan.

- Ka/au /apisan tipis pada bahan /ogamlbahan takmemantu/kan masih dapat untuk menentukanindeks bias, asa/ masih ado cahaya yang

ISSNO216-3128 SigitHaryanto,dkk.

.1

.

:.1

:.1).I .f; .1I .I. iii m lit II. 1tI 7\1 ..

Page 6: penentuan indeks bias dan reflektivit as lapisan tipis dengan

92 BIIIoIIProsiding Pertemuan don Presentasl I/mlah

PPNY-BATAN Yogyakarta. 23-25 April /996

dipanlulkan oleh permukaan anlara lapisan lipis

-subslral bahan logam lersebul.

Djoko Slamet Pujoraharjo- Mengapa dipergunakan lampu halogen. bukan

sinar laser, padahal diperlukan sumber cahayayang monokromatis ? (Kalau sinar laser sudahjelas monokromatis).

Sigit Hariyanto- Karena lampu halogen mempunyai spelrum

cukup lebar (450 nm - 750 nm) selelahdi/ewalkan monokromalor, Sehingga data indeks

bias yang diperoleh merupakan fungsi panjangdapal diperoleh

- Sinor laser mempunyai sifal yang

mengunlungkan. lelapi data indeks biasmerupakun fllngsi panjang ge/ombang yangdigunakan (pada laser yang mempunyai saWpanjang gelombang diperoleh saW data indeksbias). Te/api kalau kilo mempunyai laser dyeyang dapal dia/ur panjang gelombangnya akandiperoleh hasi/ yang lebih baik

SigH Haryanto, dkk. ISSN 0216-3128