BAB I

PENDAHULUAN

A. Latar Belakang Masalah

Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat pesat. Hal ini dapat dilihat

dari banyaknya alat teknologi yang diciptakan untuk mempermudah pekerjaan manusia.

Dalam pengkarakteristikan bahan ditemukannya alat seperti mikroskop, XRD, SEM, dan lain

sebagainya. Salah satu alat yang akan dibahas dalam makalah ini adalah SEM (Scanning

Electrone Microcopy) yakni Mikroskop Pemindai Elektron.

Mikroskop Pemindai Elektron Merupakan Mikroskop yang menggunakan hamburan

elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom-atom yang

membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang topografi permukaan

sampel, komposisi dan sifat-sifat lain seperti konduktivitas listrik. Sehinga sangat cocok

untuk mengkarakteristikan suatu bahan.

Mikroskop Pemindai Elektron memiliki beberapa komponen yang lebih kompleks

jika dibandingkan dengan mikroskop pada umumnya dimana memiliki tata cara penggunaan

yang berbeda serta perlakuan sampel yang agak berbeda pula sebelum dilakukan pemindaian

menggunakan mikroskop ini.

B. Tujuan

Adapun tujuan dari penulisan makalah ini yaitu untuk mengetahui dan memahami

salah satu pengkarakteristikan bahan, dalam kasus ini menggunakan Scanning Elektron

Microscopy (SEM), meliputi Komponen komponen, tata cara penggunaannya dan perlakuan

untuk menggunakan mikroskop ini.

C. Metode Penulisan

Penulis mempergunakan metode observasi dan kepustakaan. Cara-cara yang

digunakan pada penelitian ini adalah :

Studi Pustaka

Dalam metode ini penulis membaca buku-buku yang berkaitan denga penulisan makalah ini

yang diperoleh dari internet dan sumber literature lainya.

BAB II

1

PEMBAHASAN

Mikroskop Pemindai Elektron

Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah jenis mikroskop elektron yang gambar

permukaan sampel dipindai dengan menggunakan sinar elektron berenergi tinggi dalam pola

pemindai pixel. Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah microscope yang menggunakan

hamburan elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom-atom

yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi informasi tentang topografi

permukaan sampel, komposisi dan sifat-sifat lain seperti konduktivitas listrik.

Alat ini memiliki banyak keuntungannya jika dibandingkan dengan menggunakan

mikroskop cahaya. SEM menghasilkan bayangan dengan resolusi yang tinggi, yang

maksudnya adalah pada jarak yang sangat dekat tetap dapat menghasilkan perbesaran yang

maksimal tanpa memecahkan gambar. Persiapan sampel relatif mudah. Kombinasi dari

perbesaran kedalaman jarak focus, resolusi yang bagus, dan persiapan yang mudah, membuat

SEM merupakan satu dari alat-alat yang sangat penting untuk digunakan dalam penelitian

saat ini.

Beberapa persoalan yang dibahas dalam memahami tata cara penggunaan

Mikroskop Pemindai Elektron (SEM) adalah sebagai berikut;

A. Sumber Elektron

Elektron disemburkan dari sebuah filamen, yang dibuat dari bermacam-macam

material, salah satunya adalah Tungsten hair pin gun. Filamen ini adalah sebuah loop

tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Sebuah tegangan di berikan kepada loop, yang

menyebabkan loop menjadi panas.

Sebuah anode, yang bermuatan lebih positif daripada filament, dipasang sedemikian

rupa, sehingga keadaan demikian membuat elektron memiliki gaya yang sangat kuat. Hal ini

akan mengakibatkan elektron dipercepat menuju anoda. Sebagian elektron yang dipercepat

menerobos lubang pada anoda sebagai pancaran elektron (electron beam). Beberapa contoh

filamen antara lain : Lanthanum Hexaboride filaments and field emission guns.

2

Gambar 3 : Sumber elektron dibangkitkan dengan sumber tegangan tinggi

B. Daya Dalam Lensa Silinder Magnetik

Sesudah "Analisis Material Berkas Cahaya elektron ", MH Loretto

3

C. Jalan Berkas Cahaya Yang Melewati Kolom

Suatu berkas elektron dihasilkan dalam senapan elektron, yang terletak di bagian

atas kolom, yang digambarkan disebelah kiri. Berkas ini tertarik melalui anoda,

dikodensasikan dengan lensa kondensor, dan terfokus sebagai titik yang sangat tepat pada

sampel oleh lensa objektif. Kumparan pemindai diberi energi (dengan memvariasikan

tegangan yang dihasilkan oleh generator pemindai) dan menciptakan medan magnet yang

membelokkan berkas bolak-balik dalam pola terkontrol. Tegangan yang berbeda-beda juga

diterapkan pada kumparan di sekeliling leher tabung sinar katoda (CRT) yang menghasilkan

cahaya yang dibelokkan dengan pola bolak-balik di permukaan CRT. Pola defleksi dari

berkas elektron adalah sama dengan pola defleksi dari titik terang di CRT.

Berkas elektron yang mengenai sampel, menghasilkan elektron sekunder. Elektron ini dikumpulkan oleh detektor sekunder atau backscatter detektor, dikonversi ke tegangan, dan diperkuat. Tegangan yang diperkuat diterapkan pada grid dari CRT dan menyebabkan intensitas cahaya berubah ubah. Gambar yang terbentuk terdiri dari ribuan titik-titik dengan berbagai intensitas pada permukaan CRT yang sesuai dengan topografi sampel.

D. Diagram Cahaya SEM

Skema ini menunjukkan lintasan cahaya untuk kondisi pemfokusan oleh dua probe-

forming lens:

1. Jarak kerja kecil (kiri), dan

2. Jarak kerja besar (kanan).

4

Kedua kondisi memiliki lensa-lensa kondensor dan tingkatan numerik yang sama.

Jika, sampel dipindah lebih jauh dari lensa, hal yang akan terjadi adalah:

1. Jarak kerja S di tambah

2. Perbesaran berkurang

3. Ukuran titik bertambah

4. Sudut hamburan alpha berkurang

Gambar 4 : Pencahayaan mikroskop electron

Pengurangan perbesaran didapati ketika pergerakan lensa dikurangi, yang gilirannya

menambah jarak lensa f dari lensa. Resolusi spesimen dikurangi dengan menambahkan jarak

kerja, sebab ukuran titik diperbesar. Sebaliknya, kedalaman medan ditingkatkan dengan

menambah jarak kerja, sebab penyebaran sudut diperkecil, lihat gambar 4.

E. Interaksi

5

Walaupun semua sinyal ini terdapat pada SEM, tidak semua dari mereka yang terdeteksi dan digunakan untuk mendapatkan informasi. Sinyal yang paling umum digunakan adalah Elektron Sekunder, yakni Backscattered Elektron dan X-ray.

F. Menggunakan Ruang Hampa

Ketika SEM digunakan, kolom harus selalu berada di ruang hampa. Ada banyak

alasan untuk ini. Jika sampel berada dalam lingkungan yang penuh gas, sebuah berkas

elektron tidak dapat dihasilkan atau dipertahankan karena ketidakstabilan yang tinggi dalam

berkas. Gas dapat bereaksi dengan sumber elektron, menyebabkannya terbakar, atau

menyebabkan elektron dalam berkas terionisasi, yang menghasilkan kotoran secara acak dan

menyebabkan ketidakstabilan dalam berkas. Pengiriman berkas melalui kolom optik elektron

juga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya. Molekul lain yang bisa datang dari

sampel atau mikroskop itu sendiri, bisa membentuk senyawa dan mengembun pada sampel.

Ini akan menurunkan kontras dan mengaburkan detail dalam gambar.

Sebuah lingkungan vakum juga diperlukan dalam bagian dari persiapan sampel.

Salah satu contoh adalah coater menggerutu. Jika tidak di ruang vakum sebelum sampel

dilapisi, molekul gas akan mendapat jalan argon dan emas. Hal ini bisa mengakibatkan

lapisan yang tidak rata, atau tidak ada lapisan sama sekali.

G. Konstruksi SEM

Bagan terpenting dari SEM adalah apa yang disebut sebagai kolom elektron

(electron column) yang memiliki piranti-piranti sebagai berikut:

6

1. Pembangkit elektron (electron gun) dengan filamen sebagai pengemisi elektron atau

disebut juga sumber iluminasi.

2. Sebuah sistem lensa elektromagnet yang dapat dimuati untuk dapat memfokuskan

atau mereduksi berkas elektron yang dihasilkan filamen ke diameter yang sangat

kecil.

3. Sebuah sistim. perambah (scan) untuk menggerakan berkas elektron terfokus tadi

pada permukaan sampel.

4. Satu atau lebih system deteksi untuk mengumpulkan hasil interaksi antara berkas

elektron dengan sampel dan merubahnya ke signal listrik.

5. Sebuah konektor ke pompa vakum.

Gambar 52 : Diagram antara ruang hampa dan sistem pendeteksian : 1. Ruang sampel; 2. Pemegang sampel; 3. Bagian pendeteksi ruang vacum; 4. Lensa Obyektif; 5. Pompa pemutar; 6. photo-multiplier blok; 7. Pengukur tekanan vacum; 8. Klep penutup; 9. Klep pintu

Sebagai tambahan, SEM memiliki beberapa piranti untuk memungkinkan konversi

signal listrik yang datang dari detector ke bentuk bayangan pada layar TV, foto, spektrum,

dll. Pada gambar 4 dapat kita lihat bahwa elektron dari filamen difokuskan dengan lensa

Kondensor sehingga bila berkas elektron ini menumbuk sampel berkas elektron tadi memiliki

diameter sekitar 2-20 nanometer. Berkas elektron ini dibuat bergerak merambah seluruh

permukaan sampel dengan rambahan zigzag oleh koil defleksi yang di dalamnya terdapat

lensa-lensa obyektif. Ukuran dari lokasi yang dirambah dapat diubah dengan cara mengatur

perbesaran (magnifikasi) yang merupakan perbandingan antara ukuran lokasi yang dirambah

yang terlihat di monitor terhadap lokasi pada sampel. Akibatnya, semakin kecil lokasi yang

7

dirambah pada sampel semakin besar perbesaran gambar pada monitor. Terakhir, gambar 5

juga menunjukkan skema detektor secara keseluruhan berdasarkan blok-blok fungsi.

H. Elektron Sekunder

Elektron primer, yaitu elektron pengeksitasi (exciting electron) dapat berinteraksi

dengan elektron lain dalam sampel, misalnya menolaknya dengan sejumlah energi kinetik.

Jika elektron yang tertolak ini berasal dari ikatan yang lemah dan dapat ditolak atau

dikeluarkan dengan hanya beberapa eV disebut sebagai elektron sekunder. (Singkatnya,

sebuah elektron yang ditolak atau dikeluarkan dari sebuah atom dalam sampel adalah

elektron sekunder, berapapun energinya). Karena elektron sekunder ini memiliki energi kecil,

mereka dapat terlepas dari sampel dan hanya dapat dideteksi bila mereka diproduksi di

permukaan. Untuk alasan yang sama, makanya elektron sekunder ini sensitive terhadap

topografi sampel.

Oleh karena elektron sekunder memiliki kerapatan yang tinggi sebelum mereka

memperoleh kesempatan untuk menyebar, maka elektron sekunder ini memiliki resolusi

ruang (spatial) yang tinggi dibandingkan dengan signal yang lain yang mungkin timbul akibat

interaksi berkas elektron ini dengan sampel. Elektron sekunder membawa hanya sedikit

informasi tentang komposisi unsur dari sampel; namun bagaimanapun, sensitivitas topografi

dan resolusi ruang yang tinggi mereka menyebabkan elektron sekunder ini dipakai untuk

memperoleh bayangan mikroskopik.

Gambar 6 : Contoh bayangan dan energi elektron sekunder yang terpantul

8

Gambar 7 : Grafik energi elektron sekunder yang terpantul

Karena alasan sensitivitas topografi inilah maka bayangan yang dihasilkan dari

elektron sekunder sangat mudah diinterpretasikan secara visual karena gambar yang

dihasilkan sama dengan lokasinya. Bayangan dari perbesaran 50.000 kali yang dihasilkan

dengan elektron sekunder sebanding dengan partikel emas pada grafit pada pusat gambar

yang pada gambar 6 dan gambar 7.

I. Elektron Terpantul

Jika elektron primer (elektron dari berkas yang datang) berinteraksi dengan inti atom

atau satu elektron dari atom sampel, elektron primer ini dapat dipantulkan ke suatu arah

dengan mengalami sedikit kehilangan energi. Sebagian dari beberapa elektron terpantul ini

dapat saja mengarah keluar sampel sehingga, setelah beberapa kali pantulan, sehingga

mereka dapat dideteksi. Elektron terpantul ini lebih energik dibandingkan dengan elektron

sekunder sehingga dapat saja masih dapat dipantulkan meskipun sudah terpendam dalam di

dalam sampel. Karena itu bila dibandingkan dengan elektron sekunder, signal elektron

terpantul tidak dapat memberikan informasi tentang topografi sampel dan juga resolusi ruang

pada sampel. Namun bagaimanapun terdapat keuntungan sebagai kompensasi antara satu

sama yang lain. Jika nomor atom dalam sampel semakin besar maka besar gaya pantulan inti

positifnya lebih besar sehingga elektron terpantul ini dapat memberikan juga informasi

tentang komposisi sampel.

9

Gambar 8 : (a) Hasil elektron sekunder; (b) Hasil elktron terpantul

Gambar 8 adalah foto area yang sama dari alloy Ag-Cu-Ni. Pada hasil elektron

terpantul, bagian yang terang adalah Ag dan bagian yang gelap adalah Cu-Ni. Kita dapat

membuktikannya dengan prinsip bahwa semakin tingginya nomor atom dari suatu lokasi

semakin tinggi intensitas signalnya.

J. EDX (Energy-dispersive X-ray Spectroscopy)

Bila elektron dengan energi yang cukup besar menumbuk pada sampel, mereka

menyebabkan terjadinya emisi sinar-x yang energinya dan intensitasnya bergantung pada

komposisi elemental sampel. Dengan menggunakan fenomena ini untuk menganalisa

komposisi elemental dari volume-mikro (kasarnya satu sampai beberapa ratus kubik

mikrometer) itulah yang disebut sebagai analisis mikro. Pada EDX di mana sinar-x yang

diemisikan dikonversi dan disimpan secara elektronik dan bukan dengan difraksi kristal.

1. Karakteristik Sinar-X

Bila sebuah elektron ditolak dari kulit dalam atom oleh interaksi dengan berkas

elektron energi tinggi, hasilnya adalah ion tersebut berada pada tingkat eksitasi. Setelah

melalui proses relaksasi atau de-eksitasi, ion tereksitasi ini memancarkan energi untuk dapat

kembali ke tingkat normal yaitu keadaan dasar (ground state). Proses yang paling mungkin

dalam kebanyakan kasus adalah deretan transformasi yang masing-masing sebuah elektron

dari kulit luar "jatuh" ke tempat kosong di dalam kulit terdalam. Seperti yang telah kita lihat, 10

setiap kejatuhan menyebabkan elektron tersebut kehilangan sejumlah energi, katakan saja

beda energi antara kulit di mana elektron berasal dan kulit ke mana elektron jatuh. Energi ini

dibebaskan dalam bentuk radiasi elektromagnetik dalam kasus transisi energi tinggi yang

melibatkan kulit terdalam. Energi yang diradiasikan ini secara unik mengindikasikan atom

dari mana radiasi berasal, makanya disebut sebagai sinar-x karakteristik.

2. Nomenclature

Garis-garis ini biasanya dinamakan sesuai dengan kulit atom ke mana elektron jatuh

dan kulit dari mana elektron berasal. Misalnya, jika kulit yang kosong (tujuan) adalah kulit K

dan kulit dari mana elektron berasal adalah kulit L, maka sinar-x Kα diradiasikan. Jika

elektron jatuh dari kulit M yang berada dua tingkat di atas kulit K, maka sinar-x yang

diradiasikan dinamakan sinar-x Kβ. Dalam EDX ini umumnya berhubungan dengan sinar-x

deret K, L, dan M.

Gambar 9 : Kulit atom dan tingkat-tingkat transisi

3. Intensitas Sinar-x Karakteristik

Intensitas sinar-x karakteristik yang terdeteksi tergantung pada 3 faktor. Pertama,

nomor atom dari atom teradiasi dan juga atom lingkungannya. Kedua, probabilitas

terabsorpsinya sinar-x sebelum terlepas keluar dari sampel. Ketiga, fluoresen sekunder yang

juga merupakan salah satu akibat terabsorpsinya sinar-x tersebut. Sebagai contoh, suatu sinar-

x karakteristik energi tinggi dari unsure A mungkin diabsorpsi oleh atom unsur B, karenanya

merangsang sebuah emisi karakteristik dari unsur kedua dari energi yang lebih rendah.

Terdapatnya unsur A dan B dalam sampel yang sama akan menaikkan intensitas dari emisi

karakteristik dari unsur B dan mengurangi emisi karakteristik dari unsur A. Inilah yang

disebut sebagai efek matriks (matrix effect), yaitu sebuah efek yang tergantung pada matriks

sampel, yang karenanya membutuhkan perlakuan khusus selama analisa kuantitatif.

11

Gambar 10 : Element mikro-volume yang berinteraksi dengan berkas electron

4. Resolusi Ruang Sinar-X

Sinar-x berjalan di dalam sampel dengan jarak yang jauh lebih jauh dibandingkan

dengan elektron dan karenanya terlepas dari kedalaman di mana elektron primer telah

tersebar secara luas. Konsekuensinya, signal sinar-x memiliki keterbatasan resolusi ruang

dibandingkan dengan signal elektron sekunder dan terpantul. Tegangan pemercepat elektron

dari kolom elektron dan nomor atom rata-rata Z dari volume sampel yang dianalisa

mempengaruhi resolusi ruang dari signal sinar-x. Gambar 10 memperlihatkan secara

kualitatif efek dari keduanya yaitu ukuran dan bentuk dari volume interaksi.

5. Analisis

Seperti kita lihat pada Gambar 11, sebuah spektrum energi dispersi biasanya

dilukiskan sebagai histogram, dengan sumbu horizontal menyatakan satuan energi dan sumbu

vertical adalah jumlah counts atau intensitas. Gambar 8 ini menunjukan sebuah spektrum

sinar-x, yang secara jelas menunjukan beberapa sifat khusus. Yang paling jelas adalah sinar-x

karakteristik dari besi, kromium, dan nikel. Untuk setiap dari element ini terlihat kedua peak

K-alpha dan K-beta peak. Ketidakrataan dari spectrum

ini menunjukkan fluktuasi statistik dari channel-ke-channel. Akhirnya, semua

spektrum ini bertumpang tindih dengan spektrum yang berkurang secara perlahan dari kiri ke

kanan.

12

Gambar 11 : Spektrum sinar-x dari beberapa unsur sebagai hasil EDX.

Analisis kualitatif adalah proses indentifikasi unsur-unsur yang ada dalam sampel.

Analisis kuantitatif bertujuan untuk menjawab berapa banyak unsur X, Y dan Z yang ada

dalam sampel. Qualitative analysis is the process of identifying which elements are present in

a sampel. Dalam rumusan yang sederhana, analisis kualitatif dilakukan dengan cara

menentukan energi dari peak yang ada dalam spektrum dan membandingkan dengan table

energi emisi sinar-x dari unsur-unsur yang sudah diketahui. Dalam peralatan modern hal ini

tidak perlu dilakukan karena komputer secara otomatis akan memberikan simbol unsur untuk

setiap peak pada spektrum.

Gambar 12 : Depth profile beberapa unsur untuk ketebalan tertentu suatu sampel

Analisa kuantitatif tidak hanya menjawab unsur apa yang ada dalam sampel tetapi

juga konsentrasi unsur tersebut. Untuk melakukan analisa kuantitatif maka perlu dilakukan

beberapa proses seperti: meniadakan background, dekonvolusi peak yang bertumpang tindih

dan menghitung konsentrasi unsur.

13

Kelebihan dari SEM adalah bahwa tidak diperlukan penyiapan sampel secara

khusus. Tebal sampel tidak masalah bagi SEM seperti halnya pada TEM. Makanya sampel

tebal dapat juga dianalisa dengan SEM asalkan dapat ditaruh di atas tatakan sampelnya.

Hampir semua bahan non-konduktor yang dianalisa dengan SEM perlu dilapisi dengan

lapisan tipis pada permukaannya dengan bahan konduktor. Lapisan ini penting untuk

meniadakan atau mereduksi muatan listrik yang tertumpuk secara cepat dibahan non-

konduktor pada saat disinari dengan berkas elektron energi tinggi. Bahan pelapisan yang

biasa dipakai adalah emas atau karbon. Bila lapisan ini tidak ada maka pada sampel non-

konduktor akan menghasilkan distorsi, kerusakan thermal dan radiasi yang dapat merusak

material sampel. Pada situasi yang ekstrim, sampel dapat memperoleh muatan yang cukup

untuk melawan berkas elektron yang jatuh padanya sehingga sampel ini bertindak sebagai

cermin.

Gambar 13 : Pelapisan permukaan sampel non-konduktor dengan emas.

K. Preparasi Sampel

1. Teknik Pelapisan dengan Emas

Jika tujuan analisa bukan untuk memperoleh spektrum sinar-x, emas adalah bahan

pelapis yang sering digunakan untuk melapisi sampel non- konduktor. Gambar 13

memperlihatkan secara skematik apa yang disebut sebagai sputtering. Alat ini terdiri dari

power supply D.C yang diatur antara 1 sampai 3 kv, dihubungkan seperti pada gambar 13,

kutub positif ke lempengan emas dan kutub negatif ke sampel. Semua system ini ditaruh di

ruang vakum yang dihubungkan dengan pompa vakum. Bila kita masukan ke dalam vakum

gas seperti argon, atom argon ini akan menumbuk lempengan emas dan karenanya atom emas

terlepas dari lempengannya dan ditarik menuju sampel oleh medan listrik. Dengan demikian

sampel terlapisi dengan emas.

2. Teknik Pelapisan dengan Karbon

14

Pelapisan dengan emas dalam banyak kasus tidak mengijinkan kita untuk

memperoleh juga spektrum sinar-x dari sampel karena lapisan emas dapat mengabsorpsi

signal sinar-x yang keluar dari sampel. Bila kita inginkan spektrum sinar-x dari sampel non-

konduktor maka haruslah digunakan material pelapisan yang transparan terhadap sinar-x.

Gambar 14 : Teknik pelapisan dengan Karbon untuk sampel non-konduktor.

Dalam kasus ini, karbon adalah material yang sering dipakai. Gambar 14

menunjukkan secara skematik alat pelapisan dengan karbon. Alat ini terdiri dari 2 elektroda

yang dihubungkan dengan sumber tegangan A.C tegangan rendah dan intensitas tinggi di

mana batangan karbon diarahkan antara 2 elektroda tersebut. Oleh karena intensitas arus yang

tinggi maka ujung yang tajam dari batangan karbon ini secepatnya terevaporasi dan dengan

demikian sampel terlapisi dengan karbon. Batangan karbon ini dipadukan dengan sebuah

per/pegas yang selalu membuat kontak antara dua elektroda tetap terjaga. Seluruh sistem ini

juga berada dalam ruang vakum yang dihubungkan dengan pompa vakum.

L. Beberapa Contoh Hasil SEM

Pada tabel 1 ditampilkan beberapa sampel yang telah diamati dengan menggunakan

Scanning Electron Microscopy (SEM).

Tabel 1 : Beberapa contoh hasil SEM dengan berbagai resolusi3

15

16

BAB III

PENUTUP

A. Kesimpulan

Berdasarkan uraian diatas maka diperoleh kesimpulan sebagai berikut :

1. Landasan teori bertumpu pada konsep sumber elektron

2. Spesimen mudah diperoleh, terutama yang berhubungan dengan persiapan untuk

melakukan uji sampel.

3. Diperlukan keahlian khusus untuk dapat mengoperasikan SEM, namun demikian

prinsip-prinsip dasar dari mikroskop sangatlah mendasar dan perlu dikuasainya

pengertian-pengertian dasar tentang elektron.

4. Diperlukan keterampilan khusus untuk melakukan percobaan dan diperlukan

keahlian tersendiri untuk mampu membaca makna dari hasil pemeriksaan di layar

monitor atau print out.

5. Hanya bisa dilakukan di tempat-tempat khusus, sebab alat ini terlalu mahal artinya

perlakuan penelitian dapat dilakukan di laboratorium-laboratorium khusus.

B. Saran

Referensi :17

1. http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope

2. Dr.rer.nat. Kebamoto, Prinsip dan Pemakaian SEM dan EDX, Slide presentasi

3. http://www.chem.qmul.ac.uk/surfaces/scc/scat7_2.htm

4. http://wtm.ite.pwr.wroc.pl/zue/tssede/

5. http://www.hkbu.edu.hk

6. http://mse.iastate.edu/microscopy/college.html

18