TUGAS TEKNOLOGI FILM TIPIS

STUDI MORFOLOGI PERMUKAAN FILM TIPIS PbzR0,525Ti0,47O3 YANG

DITUMBUHKAN DENGAN METODE DC UNBALANCED MAGNETRON

SPUTTERING

Di sajikan Oleh :

MINAR AMBARITA

117026006

PROGRAM STUDI MAGISTER ILMU FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

UNIVERSITAS SUMATERA UTARA

2012