adln-perpustakaan universitas airlangga · 2019. 9. 4. · diffraction menunjukkan babwa lapisan...
TRANSCRIPT
T11 .A F',. )U t .. \
(t\ E1(./':1 l~ ! Ie. A ....... , "
PEMBENTUKAN LAPISAN TIPIS TITANIUM KARBIDA PADA PERMUKAAN BESI DENGAN TEKNIK SPUTTERING
Kt jb'lPf, 3(g 3SKRIPSI
A~l ' p- -
MILl&. PERPUSTAK.AAN \'
1JN1~ERSITAI Allt1.ANOOA
SUkAUAYA .J
LUTHFI APRIANTO
JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS AIRLANGGA
SURABAYA
1999
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi
LEMBAR PENGESAHAN SKRIPSI
Judul : Pembentukan Lapisan Tipis Titanium Karbida Pada Permukaan
Scsi Dengan Tcknik Sputtering
Penyusun : Luthfi Aprianto
NIM : 089411213
Pembimbing 1 : Drs. Adri Supardi M.S
Pembimbing II : Drs. Agus Purwadi
Disctujui Oleh :
Pembimbing 1, Pembimbing [I,
Drs~& Drs. Aflus Purwadi NIP. 13 J 569 373 NIP. TIO 001 930
Mcngetahui,
Dekan Fakultas MIP A Universitas Airlangga,
~ Dr~-,JiaIjana, M.Sc. NIP. 130355 371
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi
Luthfi Aprianto, 1999. Pemhentukan Lapisan Tipis Titanium Karbida Pada Permukaan Besi Dengan Teknik Sputtering. Skripsi di bawah bimbingan Drs. Adri Supardi, MS. dan Drs. Agus Purwadi. Jurusan Fisika FMIPA Universitas
A BSTRAK
Aplikasi teknolob>1 Iapisan tipis telah menjangkau hampir semua bidang dan semakin menarik untuk diteliti. Aplikasi teknologi lapisan tipis di bidang mekapik bertujuan untuk meningkatkan kualitas sifat mekanik suatu bahan seperti kekerasan ( hardness ), ketahanan terhadap keausan .
Telah dibuat lapisan tipis titanium karbida pada pennukaan besi dengan teknik sputtering dengan gas pen-sputter argon. Pada pembentukan lapisan tipis titanium karbida dilakukan dengan memvariasi waktu dan daya. Lapisan yang dihasilkan berwama kuning keemasan bercampur sedikit merah dan biru, hingga biro kehitam-hitaman tergantung besamya daya dan lamanya waktu pendeposisian.
Dari hasil uji kekerasan menunjukkan peningkatan angka kekerasan hingga 125,21 % yang teljadi pada substrat besi yang dideposisi selama 15 menit dan daya yang diberikan sebesar 140 watt Karak1erisasi dengan meng!:,'1lnakan XRay Diffraction menunjukkan babwa lapisan tipis titanium karbida mempunyai struktur kristal berbentuk face centered cubic ( fcc ) dengan arab bidang kristal <111>, <002>, <022> .....
Kata kunei : Lapisan tipis, Sputtering, Uji kekerasan
III
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi